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4.?3 :。 工艺区划
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4.3!。。.1 发光二【极,管的功能区》按工艺流程一—般包:括金属有《机,化学:气相沉积生产区管芯!制备(光刻、显影】、刻蚀、薄膜、【蒸镀、合《金、:清洗)?区减薄、切割裂片】、测试、分选区【管芯封?装区:(装片、金线键【合、:灌胶、?点胶、固《化、切筋、编—带、测试)等工艺】区划一般应按上【述,功能区进行划分【。相同的工序宜集中】布置
4!.3.3 本条】主要考虑部分—生产线为《一次规划《分,期实施为实现分期实!施在设置工艺设备搬!。入口时应《考虑后期工艺设【备的搬入方式在工】艺功能规划时—应预留有后期—设备搬入的通—道及搬?入口
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4《.3.?4 ?金属有机化学气相】沉积:生产区、管芯制备】区为发光二极管【生产的?核心区域企》业一般不希望外【来参观者进入此区域!。同时又希望能够【。展示企?业的技术实力因此在!进行工艺区划时应设!置,。与主生产区的生【产,环境相隔离的参观】设施使得参观人【员无需?更换洁净服就可参】。观
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