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4》.,3  工艺区划 ! 《 4.3》.1  发光二极】管的功?能区按工艺流程一般!包,括金属有机化—学气相沉《积生产区管芯制备】(光:刻、显影、刻—蚀、薄膜、蒸镀、】。合金、清《洗,)区减薄、切割裂】片、测试、》分选区管芯封—装区(装片》、金:线键合、灌胶、【点胶、固化、切【筋、:。编带、?测试)?等,工艺区划一般应按】上述功能区进行【划分相同的》工序宜集中布置 】 《 4.3.3  】本条主要考虑部【分生产线为一次规划!分期实施为》实,现分期实施》在设:置工:艺设备搬入口—时,应,考虑后期工艺设备】的搬入方式在工艺功!能,规划时?应预留有后期—设,备搬入的《通道及搬《入口 》。 4.3.4 ! 金:属有机化学气—相沉积?生产区、管芯制备】。区为发光二极—管生产的核心区域企!业一般不希望外【来参观者进入—此区:域同时?又,。希望:能够展示企》业的技术实》力因此在进行—工艺区划时应设置与!主生产区《的生:产环境相隔离—的参观设施》使得参观人员—无需更?。换,洁净服就可参观 !