。 4》.3 ？ 工艺区《划 】 4.？。3.1  发光二】。极管的功能区按【工艺流程一般—包括金属有》机化学气相》沉积：生产：区管芯制备》(光刻、显影、刻蚀！、薄膜、蒸镀—。、合金、清洗)区】。减薄、切割》裂，片、测试《。、分选区管芯封装区！(装片、金》线，键合、灌胶、—点胶、固《。化、切筋、编带、测！试)等工艺区—划一般应按》上述功能《区进行划分相同【的工序宜集中布置】 ： 4.3.】3  本条主—。。要考虑部《分生产？线为一次规划—分期：。实施为实现》分期：实施在设置工艺【设备搬入《口时应考《虑后期工艺》设备的搬入方—式在：工艺功能规》划时应预《留有后期设备搬入】的通道？及搬入口 ！ 4.3.4 【 金属有机化学气相！沉，积生产区、》管芯制备区为发【光二极管生产—的核心区域企业一般！。不希望外来参观者】进入此区《域同时又希望能【够展示企业的技【术实力因此在进行】工艺区？划时应设置与主生】。。产区的生产环境相】隔离的参观设施【使得参观人员无【需更换洁净服就可】。参观 《