4.3  ！。工艺：区划 》 ： ？4，.3.1  发光】。二极管的功》能，。区按工艺流》程一般包括金属有机！化学气相沉积生产】区管芯制《备(光刻、显影、刻！。蚀、薄膜、蒸镀、合！。金、清洗)区减薄、！切割裂片、测试【、，分选区管芯封装【区(装片、金线键合！。。、灌胶、点》胶、固化、切—筋，。、编带、《测试)等工艺—区划一般应》按上述功能区—进行划分相同的工序！宜集中布置 【 4.3.3！  本条主要考【虑，部分生产线为一次】。。规划分期实施为实】现分期实施在—设置工艺设》备，搬，入口时应考虑后期工！艺，设备的搬入方—式在工艺《功能规划时应预留有！后，。期，设备搬入的通道及】搬入口 》 4.—3，.4：  金属有机—化学：气相沉积生产区、】管芯制备《区为发光二极—管生产的《核心区域企业一般不！希望外？来参观者进入此区】域同时又希望—。能够：展示企业的技术【实力：因此在进行工艺区】划时应设置与主【生产区？的，生产环？境相隔离的参观设施！使得参观人员无需更！换洁净服就》可参观 》