4 工 ! 艺
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4】.1 一般规【定
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4.1》.,4、4.1.5 】 根:据对国内《一些发光二极—管生产工《厂的生产环境要求】、工艺动《。力品质(气体、【水)要?求的调研数据通【过,汇总和比较》在附:录,A给出了主要工【序生产环境要—求举例在附录B给】出了:工,艺动力品质要求举】例在工艺设》计时业?主或发包《方未:提出要求或暂时未】提出要求时可参【。照本:规范:附录A、附》录B的?要求确定
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】附录A对《于空气洁净度等级只!给出一?定的范围供参考比】如对于?。。烤盘、吹盘间属于】设备:维,护用房间可以放到非!净化:。区内但由于本规【范所调研厂家出【于设备维护方便方面!的考:虑将其放置在与M】OCVD《间相邻的《房间:内因:此对烤盘、吹盘间】。也采取?了净化措施与—此,类似的还《有MOCVD辅助】间该房间用》于放置尾气处理设】备、气体《纯化等辅《助设备这些设—备本身不需要净化】环境:只是从易《于调试及使用方面】考虑多数《发光:。二极管生产工厂将其!放置在?与M:OCVD《间相邻的房间内也对!该房间采取了净【化措施
! : :。附录B给出了工【艺动力品质(气、】水):要求举例根》据选:取,的工艺?设备不同《其对于动力品质【的要求会有差别对于!研磨、切割用—。纯水所调研发光【二极:管生产工厂》采用的纯水的电阻】率为4?MΩ·cm此水质可!以满足工艺》生产要求
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4?.1:.6 ? 本:条主要考虑发光二极!管生产工厂》的生产多为大—批量生?产从节约能源方面】考,虑,主要生产车》间的生产设》备,宜采用连续运—转,。的方式其他》辅,助,生产车?间(如原辅材料【库等:)可以根《据生产的要求配套
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