4 — 工   》 艺 》 《 ？4.：1  一般规定 】 【4.1.4、4.1！.5 ？ ，根据对？国内一些《发光二？极管生产工》厂的生产环境要求、！。工艺动？力品：质(气体、水)【要求的调研数据【通过汇总和比较【在，。附录：A给出了主要—工序生？产环境要求举例【在附录B给》出了：工艺动力品质要求举！例，。在工艺设计时业【主或发？包方：未提出？要，求，或，暂时未提出要求时】。可参照本规范附【录A：、附录B的要求【确定 》 ：。。。     附—录A对于空气洁净】度等级只给出一定的！。范围供参考比如【对于烤盘、吹盘间属！于设备？维护用房《间，可以放到非净化【区内但由于本规范】所，调研：厂家出于设备—维护方便《方面的考虑将其放置！在与：MOCVD间—相邻的房间内因此对！烤盘：、吹盘间也采—取了净化措施与此】类，。似的还有MOCVD！辅助间该房间用【。于放置尾气处理设备！、气：体纯化等辅助设【备这些设《备本身？不需要净化环—境只是从《易于调试及》使，用，。。方面考虑《多数发光二极管生】产工厂将其放置在】。与MOC《VD间？相邻的房间内也【对该房间采取了净】。化措施 】     附录【B给：出了工艺动力—品，质(气、水)要求】举例根据《选取的工艺设备不】同其对于动力—品质的要求会有差】。。别对于研磨、切割用！纯水所调《研发：光二极？管生产？工厂采用的》纯水的电阻》率为4MΩ·c【。m此：水质可以满足工艺】生产：要求 — 4.《1.6？  本条主要考【虑发光二极管生【产工厂的生产—多为大批量生产【从节：约能源方面考虑主】要生产车间的生产设！。备宜采用《连续运转的》方式其他辅助生【产车：间(如原辅材料库】。等)可以根据生【产的要求《配套 ？ ，