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4 工 ! ?艺
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4》。.1 一般规【定
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4?.,。1.4、《4.1.5 根据!对国内一些发光二】。极管生产工厂—的生产环境》要求、?工艺动力品质—(气体、水)要【求的调?研数据通过汇总和】比较在附录》A给出了《主要工序生产环境要!求举例在附录B【。给出了工艺动力品质!。要求举例在》工艺设计时业—主或发包方未提【出要求或暂时未【提出要求时》可参照本规范附录】。A、附录B的要求确!定
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? 附录A对于【空气:洁净度等级只给出一!定的范?围供参?考比如对《于烤盘?、吹盘间属》于设备维护用—房间:可以:放到非净化区内【。但由于本规范所【调研:厂家出于设备—维护方便《方面的考虑将其【放,置在与MOC—VD:间相邻的房间—内因此?对烤盘、《吹盘间也采取了净】化措施与此》类似的?还有MOCV—D辅助间《。该房间用于放置尾气!处理设备、气—体纯化等辅助设备这!些设备本身不需要净!化环境只是从易于调!试及使用方》面考虑?多数发光二》极,管生产工厂将其放置!在与MOC》VD:间相邻的《房间内也对该—房间采取了净化措】施
【 附》录B给出了工艺动力!品质(气《、水)要求举例根据!选取的?工艺设?备不同其对于动力】品质的要求会有差别!对,。于研磨、切割用纯】水所调研发》光二极管《生产工厂采用的【纯,水的电阻率为4【M,Ω·cm此》水质:可以满足工》艺生产要求
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4.1.6【 本条主要考【虑发光?二极管生产工厂的】生产多为大》批,。。量,生产从节约能—源方面考虑》。主要生产车间的生产!设备宜?采,用连续运《转的方式其他—辅助生产车间—(如原辅材料库等】)可以根据生产的要!求配套
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