《4  工   【 艺 】 4.1 】 一：般，规定： ： ？ 4.1.【4、4.1.5  ！根据对？国内一些发光二极管！生产工？厂的生产环境要求、！工艺动？力品质(气体、【水)要求的调研数据！通过汇总和比较在附！录A给出了主要【工序生产环境要【求举例？在附录B给》出了工艺动力品【质要求举例在工艺】设，计时业主或发包方】未提：出要求或暂时未【。提出要求《时可：。参照本规《范附录A、附录B】的要求确定 【   — ， 附：录A对于《。空气洁净度等级只给！出一定的范》围供参考《比如对于烤盘、吹盘！间属于设备维护用房！间可以放到非—净化：区内但由于》本规范所调研厂家】出，。于设备维护方便【方面的考虑将其放】置在：。与，。MOCVD间相邻的！。房间内？。因此对烤盘》、吹：盘间也？采取了净化措施【与此类？似的还有《MOCVD》辅，助间该房间用—于放置尾气》处理设备、气体【纯化等辅《助设备这些设备【本身不需要净化【环境只是从易于调】试，及使用方面考虑多】数发光二极管生产工！厂将其放置》在与MOC》VD间相邻的—房间内也对该房间采！取了净化措施 ！  《   附录》B给：出了：工艺动力品质(【气、水)要求—举例根据选取—的工：艺设：备，。不同其对《于动：力，品，质的要求会有—差，别对于研磨、切【割用纯水《所调：研发光二极管—生产：工厂采？。用的纯水《的电：。阻，。率为4M《Ω·cm此水质可】以满足？工艺生产要求— ？ 4.1.6】  ：。本，条主要考虑发光【二极管生产》工厂的生产多为大批！量生产？从节约能源》方面考？虑主要生产车间【的生产？设备宜采用连—。续运转的方式—其他：辅助生产《车间(如原辅材【料库：等)可以根据—生产：的，要，求，配套 《