4  工 ！ ，。  艺？ 【 4.1  一！般规定 【 4.1.4！、4.1.5 【 根据？对国内一些发光二极！管生产？工厂的生产环—境要求、工艺动力】品质(气体、水)】要求的调研数据通过！汇，总和比较在附—录A给出了主要【工序生？产环：境要求举例在附【录，B给：出了工艺动》力品质要求举例在】工，艺，。设计时业主》或发包方未提出要】求或暂时未提—出要：求时可参照本规范】附录A、附录B的】要求确定 》   【  附录《A对于空气洁—净度等级《。只给出一定的范围】供参考？比如对于烤》盘、吹？盘间属？于设备维《护用房间可以放到非！净化：区内但？由于本规《范所调研厂家出于】设备维护方便方面】的考虑将其放—置在与MOCVD】间相：邻的房间内因此对烤！盘、吹盘间也采取】了净化措施与此类】似的还有MOCVD！辅助间该房间用【于放置尾气处—理设备、气体纯化】等辅：助设备这《些设备？。本身不需要净化【环境只是从易于调试！及使用？方面：考虑多数发光—二极管生产工厂将其！放置：在与：MOC？VD间？相邻的房间内—也对该房间采取了净！化，措施 ？ ：     附】录B给出了工—。艺动力品质(气、水！)要求举例根据【选取的工艺设—。备不同其对于—动力品质的》要求会有差别对于】研磨、切割用—纯水所调研发光【二极管生产工—厂采用的《。纯，。。水的电？阻率为4MΩ—·cm此水质可以满！足工艺生产要求 ！ ， 4.1.【6  本条主要考虑！发光二极管生—产工厂？的生产多为》大批量生产从节约】能源方？面考虑主要生产车】间的生产设备—宜采用连续》运转的方式》其他辅助生产车【间(：如，原辅材料《库等)可以》根据生？产的要求配套 【 ，