4  【工   《 艺 ？ ： 【4.1  一般【。规定 ？ 》 4.1.4【、4.1.》。5  根据对—国内：。一，些，发光二？。极管生产工厂—的生产？环境要求、工艺动】力品质？(，气体、？水)要求的调研数】据通过汇总和比【较在附录A给出【了主要工序生产环】境要求？举例在附录B—给出了工艺动—力品质要求》。举例在工艺设计【时业主或发包方未】提出要求或》。暂时未提出》要求时可参》照本规？范附：录A、附《录B的要求确定 ！  》   附录A—对于空气洁》净度：等级只给出一定的】。范围供？参考比如对于烤盘】、吹盘间属》。于设备维护用房【间可以放到非净化】。区内：但由于本规范所调研！厂家出于设备维护方！。便方面？的考虑将其》放，。置在与MOCVD】间相邻的房》间内因此对烤—盘、吹盘间》也采：取了净化措》。施与此类似的还有】MOCV《D辅：。助间该房《间用于？放置尾气处》理设备、气体纯【化等辅？助设备这《些设备本身不需要净！化环境只是从易于】。调试及使用方面考】虑，多数发光《二极管？生产工厂将其放置】在与MOCVD【间相邻？。的房间内也》对该房间采》。取了净化措施 【 ？     附录B！给出了工艺动—。力品质(气、水)要！求举例根据选取【的工艺设备》不同其对《于动：力品质的要求会有差！。别对于研磨、切【割用纯水所调—研发光二《极管生产工厂—采用的纯水的—电阻：率为4MΩ·—cm此水质可—以满足工《艺生产要求 —。 ： 4.1.【6，  ：本条主要考虑—发光二极《管生：产工厂的生产多为大！批量：生产从节约能源方面！考虑：主要：。生产车间《的生产设备宜采用连！续运转的方式—其他辅助《生产车间(如—原辅材？料库等？)可以根据生产的】要求配套 —