： 4  工 【   艺 》 】 4.1  一般】规定： ， — 4.1.4、4.！1.5？  ：根据对？国内一些《发光二极管生产工厂！的生产？环境要求、工艺动力！品质(气体、水【)，要求的调研数据通过！汇总和比《较在附录A给出了主！要，工序生？产，环境要求举例在附】。录B给出了工—艺动力品质要求举例！在，工艺设计时业主或】发包方？未提出？要求或暂时未—提出：要求：时可参照本规—。范附录A《、附录B的要求确定！ —    附录A对于！。空气洁净度等级只】给出一定的范围供】参考比如对于烤盘】、吹盘间属于设备】维护用房间可以放到！非净化区内但—由于：本规范所调研—厂家：出于：。设备维护方便方面的！考虑将其放置在与M！。OCV？D间相邻《的房间内因此对烤盘！、吹盘间也采取了】净化措施与》此，类似的还有》。。MOCVD辅助间】该房间用于放—置，尾气处理设备—、气体纯化等辅【助设备这些设备本身！不需：要净：化环：境只是从《易于调试及使用方】面考虑？多数发光二》极管生？。。产工厂将其放置在与！MOCVD间相【邻的房间《内也对该房间—采，取了：净化措施 — ？  ：  ： 附录B给出—了工艺动《。。力品质(气、水【)要求举例》根据选取的工艺【设备不同其对于动】力品质的要求会有差！别，对于研磨、切割【用纯水所调研发光二！极管生产《工厂采用的纯水【的电阻率为4MΩ·！cm此水质可以满足！工艺生产要求 【 》。4.1.6 — 本条主要考虑发】光，二极管生产工厂的生！产多为大批量生【产从节约能》源方面考《。虑主要生《产车间的生产设备】宜采用连续运—转的方式其他辅助生！产车间(如原辅材】料库等)《可以根据生》产的要？求配套 》