4 — 工 ? ?艺
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4.1 【 一般规定
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4.—1.4、4.1【.5: 根据《。对国内一些发光二】极管:。生,产工厂的生产环【境要求、工》艺动力品《质,(气体、水)要【求的:调研数据通过汇【总和比较在附录A给!出,了主要工序生—产环:境要求?举例在附《录,B,给出了工艺》动力:品质要求举例在【工艺设计时》业主或?发包方未《提出要求或》暂时未提出要求【时,可参照本规范附【录A:、附录B的要求【确定
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附录A!对于空气洁》净度等?级只:给出一定的》范围供?参考比如对于烤盘】、吹盘间属于设备】维,护用房间《可以放?到,非净化区内但由于本!规范所调《研厂:家出:于设备维护》方便方面的》考虑:将其放置在》。与MOCVD间相】邻的房间内因此【对,烤盘、吹盘间—也采取了净化措【施与此类似的—还有:MOCVD辅助【间该:房间用于《放置尾气《处理设备《、,气体纯化等辅助设备!这些设备本身—不需:。要净化环境只是从】易,于调试?及使:用方面?考虑多数发光二极】管生产?工厂将?其放置在《。与M:OCVD《间相邻的房间—内,。也对:该房间采取了—。净化措施
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》附录B给出了工艺】动力品质(气—、水)要求》举,例根据选取的工艺设!备不同其对于动力品!质的要求会有差别对!于研磨、切割用【纯水所调研发光【二极管生《产工厂采用的—纯水的电阻率为4M!Ω·cm此》水质可以满足工【。艺生:产要求
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4.1.》6 本条主要考】虑发光二极管生【产工厂?的生:产多为大批量—生产从节约能源方面!考虑:主要生产车》间的生?产设备宜《采用:连续运转的》方式其他辅助生产车!间(如原辅材料库】。等)可以《根据生产的要求配套!
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