4 — 工 艺
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4.1 一般规!定
!4.1.《4、4.1.5【 根据对》国内:一些发光二》极管生产工厂的生产!环境要求、工—艺动力?。品质(气《体、水)要》求的调研数据—通过汇?总和比?较在附录A给出了】主,要工序生《。产环境要《求举例在附录B给】出了工艺动》力,。品质:。要求举例在工艺设计!时业主或发包方未】提出要求或暂时【未提出要求时—可,参照本规范附录A】、附录B的》要求确定《
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, 《附,录A对于空气洁净】。度等级只给出一定】的范围供参考比如】。对于烤盘、吹盘间】属于设备维护用房间!。可以放到非净化区】内但:由于本规范所调研】厂家出于设备维【护方便方面的考虑】将其放置在与—MOC?VD间相邻的房间内!因,此对烤盘《、吹盘?间也采取了净化【措施:与,此类似的还》有,MOCVD辅助间】该房间用于放置【尾气处理设备、气体!纯化等辅助设—。备,这些设备本身不需】要,净化环境《只是从易于调试及使!用方面考虑多—数发光二极管生产工!厂将其放置》在与MOCVD间相!邻的房间《内也:。对该:房间:采取了净化措施【。。
【 附《录B给出了》工艺动力品》质(气?、,水)要求举例根据】选取的工艺设备【不同其对于动力品质!的要求会有差—别对于研磨》、切割用纯水所【调研发光二极管生产!工厂采?用的纯水的电阻率为!4MΩ?。·cm此水质—可以满?足工艺生产要—求
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4.1.6!。 本条《主要考虑《发,光二极管生产工厂的!。生产多为大批—。量生产从节约能源】方面考虑主要生【。产车间的生产设备】宜采用连续运转的方!式其他辅助》。生产车间《(如原辅材料库等】)可以根据生产【的要:求配套
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