4 — 工    —艺 ？。 ， 4】。.1 ？ 一般规定》。 4！.1.4《。、4.1.》5  根据对国【内一：些发光二《极管生产工》厂，。的生产环境要—求、：工艺动力品》质，(气体？、水)？。要求的调研》数据通过汇总和比较！在附录A给出了主要！工，序生产？环境要？求举例在附录B【给出了工艺动—力品质？要，求举例在工》艺设计时业主—或发包方未》提，出要求或暂时—未提出要求时可【参照本规范附录A、！附录B的要求确定 ！ 《     附录A对！于空气洁净度等级只！给出一定的范围供】参考比如对于烤盘、！吹盘间属《于设：备维：护用房间可以放【到非净化区内但由】于本规？。范，所调研厂家出—于设备维护方便【方面的考虑将其【放置在与《MOCV《D间相邻的》房间内因此对烤盘】、吹盘间也》。采取：了净化措施与此类似！的还有？M，OCVD辅助间该】房间用于放置尾气处！理设备、气》体纯化等辅助设备】。这些设备本》身不需要净化—环，境只是从易于调试及！使用方？面，考虑多数发光二【极管生产工厂将其放！置在与MO》CVD间相邻的房】。间内也对该》房间采取了净化措施！ ： ？     附录B给！出了工艺动力品质(！气、水)要求举例】根据选取的工艺设】备不同其对于动【力品：质，。的要求会《有差别？对于研磨、切割【用纯水所调研发光二！极管生产工》厂采用的纯水的电】阻率为4MΩ—·c：m此水质可以满【足工艺生产要求 ！ 4.1.】6  本条主要考】虑发光二《。极管生产工厂的【生产多？为大批量生产—从节约能源方面【考虑主要生》。产车间的生产设备宜！采用连续《运转的方《式其他？辅助生产车间(【如原辅材料库等)可！以根：据生产的要求配套】 ， ，