： 4  》工 ：   艺《 — ，。 4.1 【 ，一般规定《 【 4：.1.4、》4.：1.5？  根据对国内一】些发光二极管生【。产工厂的生产环境要！求、：工艺动力品质—(气体、水》)要求的调研数【据通过？汇总和比较在—附录A给出了—主要工序生产—环境要求《举例在附录B给出】了工：。。艺动：力品质要求举—例在工艺设计—时业主或发包方未提！出，要求或暂时未提【出要求时可参照本规！范附录？A、：附录B的《。要求确定 —     附！。录A对于空气洁净】度等级只给出—一定的？范围供参考比如【对于烤盘、》吹盘间属于设备【维，护用：房，间可以放到非—净化区内但由于【本规范所调研厂家】出于设备维护方【便方面的考虑将其放！置在与MO》CVD间相邻—的房间内因此对烤】盘、吹盘间也采取了！净化措？施与此类似的—还有MOCVD辅助！间该房间用于放置】尾气处理设》备、气？体纯化等辅助—设备这些设备本身不！需，要净化环境》。只，是从易于调》试，及使用方《面考虑多数发—光二极管生产工厂】将其放置在与MOC！V，。D间相邻的房—间内也？对该房间采取了净】。化措施 》     附！录，B给出？了工艺动力品质(气！、水)要求举例根据！选取的工艺设备不】同其对于动力—品质的要求》。会有：差别：对，于研磨、切割用纯水！。所调研发光二极管生！产，工厂采用的》纯水的电阻》率为4MΩ》·，cm此水质可以满足！。工艺生产要求— ？ ， ， 4.1.》6  本《条主要考虑发光【二极：。管生产工厂的生产】多为大批量生产从】节约能？源方面考虑主—要，生产车？间的生产设备宜采用！连，续运转的方式其【他辅助生《产车间(如原—辅材料库《等)可以根据生产的！要，求配套 《 ，