4  工】    艺 ！ —。4.1？  一般规定 】 》 4.1《.4、4.》1.5  》根，据对国内一些发光】二极管生产工—厂的生产环境要求、！工艺动力品》质(气体、水)要】求的调研数据通过汇！总和：比较在附录A—给，出了主要工》序生产环境要求【举例在附录》B给出了工》艺动力品质要求【举例在工艺设计时业！主，或发包方未提出【要求或暂《时未提出要求时可参！照本规范附录A、】附录：B的要求确》定 《     【附录A对于空气洁净！度等级只给出一定的！范围供参考比如【对于烤盘《、吹盘间属于—设备维护用房—间可：以放到非净化—区内但由于本规范所！调，研厂家出于》设备维护方便方面的！考虑将其放置在与】MOCVD间相邻】的房：间内因此对烤盘【、吹盘间也采—。取了净化措施与此类！。似，的还有M《O，CVD？辅助间该《房间用于放置—尾气处理设备、气】体纯化等辅助设备这！些设备本身不—需要净化环境只【是从易于调试及使】用方面？考虑：多数：发光二极管》生产工厂将其放置】在与：MOCVD间相【邻的房间内也对该房！间采取了净》化措施？。 》   ？ ， 附录B给出了工艺！动力品？质(气、水)要求】举例：根据：选取：的工：艺设备不同》其对于动《力品质的要》求会有差《别对于研磨、切割】用纯水？所调研发光二极管生！。产工厂采用的纯【水的：。电，阻率：为4：MΩ·cm此水【质可以满足》工艺：生产要？求 《 4.1.6】。  本条《主要考虑发光—。二极管生产工厂的】生产多为大批量生】产从：节约能源《方面考？虑主要生产车间的生！产设备宜采用连【续运转的《方式其他辅》助生产车间(—如原辅材料库等【)可以根据生产的】要求配套 —