4  工 ！。  ： 艺 — 4.】1  一般规—定 》 4.—1，.4、？4.1？.5  根据对国】内一些发光二—极管生产工厂的生产！环境：要求、工艺动力【品质(气《体、水)要》求的调研数据通过汇！总和比？较在附录A给出【了主要工序》生产环境要求举例】在，附录B？给出：了工艺动力品质【要求举？例在工艺设计—时业主或发包—方，未提出？要，求或暂？时未提出要》求时可参照本规范】附录A、《附录：B的：要，求确定 》 ，  《 ，  附录《A对于空气》洁净度等《级只给出《一定的范围》供参考比如》。对于烤盘、吹盘间属！于设备维护用房【间可以放到非净化区！内但由于本规范【所调研？厂家：。出于：设备维护方便—方面的考虑将其放置！在，与MOCVD间相邻！的房间内《因，此对烤盘、吹盘间也！采取了净化措—施与此？类似的？还有M？OCV？D辅：助间：该房间用于放置【尾气处理设备、【气体纯化等》辅，助设备这些设—备本身不需要净【化环境只是从易于】调试及使用方面【考虑多？数发光二极管生产】工，厂将其放置在—与M：OCVD间相—邻，的房间内也》对该：房间采取了》净化措？施   ！  附录B给—出了：工艺动力《品，质(气、水)要求举！例根据选取的工艺设！备不同其对》于动力品质的要求】会，。有，差别：对于研磨、切割用】纯水所调研发—光二极管生产工厂采！用的：纯，水的：电阻率为4》MΩ·？cm此水《质可以满足工艺生】产要求 — ： 4.1.6  】本条主要考虑发光】二极管生产工厂的生！产多为？大批量生《产从节约能源方【面，考虑主要生产车间】的生产设备宜采用连！续运：转的方式其他—辅助生产车》间(如？原辅材料《库，等)可以根据生【产的：要求配套 —