4  工】    艺 — 》 4》.1  一般规定】 ？ 4.【1.4、4.1.5！。  根？据对国内《一些发光《二极管？生产工厂《的，生产环？境要求？。、工艺动力》品，质(气体、》水)要求的调研数据！通过汇总和比较在】附录A？给出了主要工序生】产环境要求》举例：在，附录B给出了工艺】动力品质要求举例】在工艺设计时业主或！发包方未提出要求或！暂时未提出要求时】可参照？本规范附录A—、附录B的要求确】定  】   附《录A对于空气洁净】度等级只给出—一，定的范围供参考【比，。如对于烤《盘，、吹盘间属于—。设备维护用房间可】以放到非净化区【内但：。由于本规范所调研厂！家出：于设备？维护方便方面的考虑！将其放置在与MO】CV：D间相邻的房—间内：。因此对烤盘》、，吹盘：间也采取《了净化措《施与此类似》的还有MOCVD辅！助间该房间用于放】置尾：气处理设《备、气体纯化等辅助！设，备这些设备本身不需！。要净化环境只是【从易于调试及使用】方面考虑多数发【光二极管生产工厂】将其放置在与M【OCVD间相邻的】房间：内也对？该，房间采取了净—化措施 】。     附—。录B给出了工艺【。动力品质(气—、水)要求举例【根据选取的工—艺设备不同》其对于动力品—质的要求会有—差别对于研磨、切】割用纯水所调—研发光二极管生产工！厂采用的纯》水的电阻率为4【MΩ：·cm此水质—可以：满足：工艺生产要求 ！ 4.1.6 ！ ，本条主要考》。。虑发光？二极管生产工厂的】生产多？为大批量生产从节】约能：。源方面考虑主—要生产车间》的生产设《备宜采用连续运转】的方式其他辅助生产！。车间：(如原辅材料库【等，)可以根据》生产的？要求配？套， ：