9》.3 ？ ，空气调节《与净化 《 9】.3：。.1  净化空气】调节：系统的新风应—进行：集中处理新》风处理机组》的设置应符》合下列规《定 ： ：    — 1  送风—机，应采取自动调—速措施； ！     2 【 空气宜经过粗效、！。中效、高效》过滤器？三级处理； —    】 3 ？ 新风处理机组【应，有良好的气密性在】工作压力下的漏风】率不得？大，于1％ 【 ， 9：.3.？。2  光刻间—净化空？气调节系统》的循环风宜采用风机！。过滤器？机组和？。。干冷却盘《。管处理其他》洁净：室净化空气调节系】统的循？环风宜采《用循环空《气处理机《组处理？ 9.3！.3  《金属有机化合物化学！气相沉积间的净化空！气调节系统应独立设！置， 9【.3.4  循【环，空气：处理机组宜》采，用干冷却《方式处？。理空气 ！9.3.5 — 循：。环空气处理机组的风！机，应采取自动调速措施！ —9.3.6  空】调加热、加湿系统】的设计应利于—工厂余热的》利用 — 9.3.7  ！。洁净室的送风—量应：符合现行国家标【准洁净厂房设计规范！GB ？50073》的有关规定 【 《9.3.8》  净化空气调【节系统？的新风吸入口—位，置应远离排放有【害物或可燃》物的排？气口 — ：9，.3.9  洁净】室的噪声控制设【计的：噪声级(《空态)应《符合：现行国家标准电子工！业洁净厂房设计规】。。范GB？ 50472—。的有关规定但当【洁，净室采用风》机过：滤器机？组和干冷《却盘管处理循环空气！时单向流和》混合：流，洁净室的噪声—级(：空态)不应大—于70dB》(A)非单向流【洁净室的噪声级(】空态)？不应大于6》5dB(A) 】