9.3  ！空气调节与净化【 《 9》.3.1  净化】空气调节系统的新】风应：进行集中处理新风】处理机？组的设？置应符合《。下列规定 ！     》1  送风机应采】。取自动调《速，措施； —    —。 2  《空气宜经《过粗效、《中效：。、高效过滤》器三级处理》；  】   3《  新风处理机组应！有良好的《气，密性在工作压力下的！漏风率不得大于1】％ 《 9.》3.2  光刻【间净化空气调—节系统的循环风宜】采用风？机过滤器机组和干】冷却盘？管处理其他洁净室净！化空气调《。节系统的循环—风宜采用循环空气处！理机组？处，理 ：。 9.【3.3？  ：金属有机《化合物？化学气相沉积间的净！化空：气调节系统应独立】设置 ？ 9.【。3.4  循环空】气处理机《组宜采用干冷却方式！处理空气 】。 9.3.5【  循？环空气处《理机组的风机应【采取自动《调速措施 】 9？.3：。.6  《。空调：加热、？加湿系统的》设，计应利于工厂—余热：的利用 】 9.3.7 【 洁净室的送风量】应符合现行国—家标准？。洁净厂房设计—规范GB《 50073的有】关规定 》 9》.3.8  净化】空气调节《系统的新风》吸入口位置》应，远离排放有》害物：或可燃物的排气口 ！ 9—.3.9《  洁净室》的噪声控制设计的噪！声级(空态)应符合！。现行国家《标准电子工业洁净】厂房设计规范GB】。 504《72的有关规定【但当洁净室采—用风机？过滤器机组》和干冷却盘》管，处理循环空气时单向！流和混合《流洁净？室的噪？声级(空态)不应】大于：70dB(》A)：非单向流洁净室【的噪声？级(空态)不—应大于65dB(A！) ？