9》.3  空气调节】与净化？ 《 9.—3.1 《 净化空气》调节系统《的新风？应进：行集中处理新—风处：理机组的设置—。应符合下《列，规定 —     —1  送风机应采取！自动调速措施；【 《     2 】 空：气宜经？过粗效？。、中效、高效—过滤器三级处理；】。  【   3 》。 新风？处，理机组应有良好的】气密：性，在工作压《力下的？漏风：率不：得大于1％ 】 ， 9？.3：.，2 ： 光刻间净化空【。气调节？系统的循环》风宜采用《风，机过滤器机组和【干冷却盘管处—理其他洁净室—净化空气调》节系统的循环风宜采！用，循环空气处理—机组处理 【 9.3—.3 ？ 金属有机》化合物化学气—相沉积间的净—化空气调节系统应】独立设置 》 ： ： 9.3.4  循！环，空气：处理机组宜采—用干冷却方》式处理空气 — 9.【3.5  循环空气！处，理，机组的风机应采取】自动调速措施 ！ 9.3.6】  空调加热—、，。加湿系统的设计应】利于工厂余》热的利用 》 ， 9.—3.：7  ？洁净室的送风量【应符合现《行国家标准》洁净厂房《设计规范G》B 5007—3的有关规定— ？ 9.3.【8  净《化空气调节系统的】新风吸？入口位置《应，远离排放《有，害物或可燃物的排气！口 9.！3.9  洁—净室的噪声控制设】计的噪声级(空态)！应符合现行国家【标准电子工业洁【净厂房设计规范G】B 5047—2的有？关规定但当》洁净室采用风机【过滤：器机组和干冷却盘管！处，理循环空气》时单向流和混合【流洁净室的噪声【级(空态)》不应：。大，于，70：dB(A《)非单向流洁净室】。的噪声级(》。空态：)不应大于65【dB(A) 【