。 9》.3 ？ 空气调《节与净化 】 ？。 9.3.1  】。净化空气调节系【统的新风应进—行集中处理》新风处理机》组的：设置：应符合下列》规定  ！   1  —。送风机应采取自动】。调速措施；》 ， 《。     2  空！气宜经过粗》效，、中效、高效—过滤器三《。级处理； ！     3—  新风处》理机组应《有良好的气密性【在工作压力下的漏】风率：不得大于1％ 】 9.—。。3.2 《 光刻？间净化空气调—节系：。统的循环风》宜采：用风机过滤器机【组和干冷《却盘管处《理其他洁净》室净化空气调—节系：统的循环风》宜采用循《环空气处理机组处】理 ？ 9.3.3！  金属有机化【合物化学气相沉积间！的，净化空气调》节系统应独立设【置 — 9.3.4  循！。环空气处理机组宜】采用干冷《却方式处理空气【 9【.3.5  循环】空气处？理机组的风机应采】。。取自动调速措施 】 9.【3.6  空调【加热、加湿系统的】。设计应利于工厂余】热的利用 】。 9.3》.7  《。洁净室？的送风量应符合现】行国：。家标准洁净厂房设】计规范GB 50】073的有关规定 ！。 9.3】.8  净化空气调！节系统的新风—。吸入口？。位置应远离排—放有害物或可燃【。物的排气口 — 9—.，3.9  洁净室】的噪：声控制设计》的噪声级(空—。态)应符合现—行，国家标准电子—。工业：洁净厂房设》计，规范：GB 50472】的有关规定但—。当洁：净室采用风机—过滤器机组和干冷却！盘管处理循环空气时！单向流和《混合流洁净室的【噪，。声，级(空态)不应【大于70《dB(A)非单【向流洁净《。室的噪声级(空态】)不应？大于65dB(A)！ ：