9.3 】 空气？调节与净化 ！ 9》.3.1  净化】空气调节系统的【新风应进行集中【。处，。理，新风处理机组—的设置应符合下【。列规定 ！   ？ 1：  ：送风机应采》取自：动调：。。。速措施； —     2！  空气宜》经过粗？。效、中效《、，高效过？滤器三级处》理，； 》     3  ！新风：处理机组应有—良好的气密性—在工作？压力下的《漏风率不得大—于1％ ！9.3.2  光】刻间净化空气调节系！统的循环《风宜采用风机—过滤器？。。机组和？。。干冷却盘管处理其他！洁净室净化空气【调节系统的循环【风宜：采用循环空气处理】机组处理 】 9.3.3 】 ，金属有？机化合物化学气相沉！积间的净化空—气调节系统应独立设！置 【9，.3.4  —循环空气处》。。理机组宜采用—干冷却方式》处理：空气 【 9.3.5— ， 循：。环空：气处理？机组：的风机？应采取自动调速措施！。 ， ？ 9.3》.6  《空调加热、加湿【系统的设计应—利于工？厂余热的利用 】 9.3【.，。7  洁净室—的送：风量应符合现行国家！标，准洁净？。厂房设计规范G【。B 50073的有！关规定 【 9.《3.8  净化空】气，。调节系统的新—。风吸入口位置应远】离排放有害物—或可燃物的》排气口 ！。。9.3.9 — 洁净室的噪声【控制设计《的噪声级(》空，态)应符合现行【国家标？准电子工业洁净【厂房设计规范G【B 50472的】有，关规定但当洁净【。室采用风机过滤器】机组：和干冷却盘管处理】循环空气时单向流和！混合：流洁净室《的噪声？级(空态)不应大于！70d？B(A)非单向【流洁净室的》噪声级？(空态？)，不应大于65—dB(A)》 ， ，