9.3 】 空气调节》与净化 ！ 9.3.1【  净？化空气调节》系统的新风应—进行集中处》理新风处《理机组？的设置应符合下列】规定 》     【1，  送风机应—采取：自动调速措》施；： ？  《   2 》。 空气宜经过粗效、！。中效、高效》过滤器三级处理； ！ ：     【3  新风处理机】组，应有良好的气—密性在工作压力下的！漏风率不得大于1】％ 》 9.《3.：2，  ：光刻间净化》空气调？节系统的循》环风宜采用风机【过滤器机组和干【冷却盘？管处理其他洁净【室净化空气》调节系统的循环风宜！。。采用循环空气处理】机组：处理 】9.3.3  【金属有机化合—物化学气相沉积间】的净化空气调节【系统应独立》设置 】9.：3.4？  ：循环空气处理机组宜！采用干冷却方—式处：理空气 — 9.3.5】  循环空气—处理：机组的风机应采【取自动？。调速：措施 —。 9.3.6 】 空调加热、加【湿系统？的设计应利于—工厂余？。。热的：利用 — 9.3.7  ！洁净室的送风量应】符合现行国家标准】洁净：厂房：设计规范GB— 50073—的有关规定 【 ？。 ，。9.3.8》 ， 净化空《气调节系统的—新风吸入口位置应】远离排放有害物或】可燃物的排气—口 ？ 9.—3.9  洁净室】。的，噪声控制设计的【噪声级(空态)【。应符合现《行国家标准电子工】业洁净厂房》设计：规范G？。B ：50472的—有关规定《但当洁净室采用风】机过滤器机组—和干冷却《盘管处理循环—。空气时单向流—和混合流洁净室【的，噪声级(《空态)不应大于70！dB(？A)非单向流—洁净室的噪声级(】。空态)不《应，大于6？5dB(A) 】