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9》.3 ? 空气调《节与净化
】
?。
9.3.1 】。净化空气调节系【统的新风应进—行集中处理》新风处理机》组的:设置:应符合下列》规定
! 1 —。送风机应采取自动】。调速措施;》
,
《。
2 空!气宜经过粗》效,、中效、高效—过滤器三《。级处理;
!
3— 新风处》理机组应《有良好的气密性【在工作压力下的漏】风率:不得大于1%
】
9.—。。3.2 《 光刻?间净化空气调—节系:。统的循环风》宜采:用风机过滤器机【组和干冷《却盘管处《理其他洁净》室净化空气调—节系:统的循环风》宜采用循《环空气处理机组处】理
?
9.3.3! 金属有机化【合物化学气相沉积间!的,净化空气调》节系统应独立设【置
—
9.3.4 循!。环空气处理机组宜】采用干冷《却方式处理空气【
9【.3.5 循环】空气处?理机组的风机应采】。。取自动调速措施
】
9.【3.6 空调【加热、加湿系统的】。设计应利于工厂余】热的利用
】。
9.3》.7 《。洁净室?的送风量应符合现】行国:。家标准洁净厂房设】计规范GB 50】073的有关规定
!。
9.3】.8 净化空气调!节系统的新风—。吸入口?。位置应远离排—放有害物或可燃【。物的排气口
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9—.,3.9 洁净室】的噪:声控制设计》的噪声级(空—。态)应符合现—行,国家标准电子—。工业:洁净厂房设》计,规范:GB 50472】的有关规定但—。当洁:净室采用风机—过滤器机组和干冷却!盘管处理循环空气时!单向流和《混合流洁净室的【噪,。声,级(空态)不应【大于70《dB(A)非单【向流洁净《。室的噪声级(空态】)不应?大于65dB(A)!
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