。 ： ， 9.3 》 空气？调，节与净？化， ？ ？ 9.3》.1  净化空【。气，调，节系统的新风应进行！集，中处理新风处理机组！的设置应符合—下列：规定 》 ？    《1  送《风机：应采取自动调速措】施； ？ ，     2！。  空气《宜经过粗效、中效】、高效过滤器—。三级处理； 【 ：  ？   ？。3  新风处理机组！应有良好的气密【性在工？作压力下的漏风率不！得大于1％ ！ 9？.3.2  光刻间！净化空气调节—系，统的循环风》宜采：用风机过滤器机组】和干冷却盘管处理】其他洁？净室净化空气调节】系统的？循环风宜采用循【环空气处理机组处】理 【9.：3.3  》金属有机化合物【化，学气：相沉积？间的净化空气调节】系统应独立设—置，。 《 9.3.4 】 循环空气处—理机组宜采用干【冷却方式处理空气 ！ 9.【3.5 《 ，循环空气《处理机组《。的风：机，应采：取自动调速措—施 — ，9.3.6》  空调加》热、加湿系统的【设计应利于工—。厂余热的《利用 — ， 9.3《.，7  洁净》。室的送风量应—。符合现行国家标【准洁净厂房设计规】范GB 5》0073的有—关规定 — 9.3—.，8  净化空气调节！系统的新风吸—入口位？置，应远：离排放？有害物或可燃—物的排气口 ！ 9.《3.9  》洁净室的噪》声控制设计的—噪，声级：。(空态？)应符？合现行国《家标准？电子工业洁净厂房设！计规范GB —50472》的有关规定》但当洁净室采用风机！过，滤器机组和干冷却】盘管处理《循环空？气时单向《流和混合流》洁净室的噪》声级(空态)不应大！。。于70dB(—A)非单向流洁净室！的噪声？级(空态《)不应大于65【。dB(A) 【