： 9.3  空】气调节与净化— 》 ？9.3.1  净】化空气调节系统【的新风应进》行集中处《理新：。风，处，理机组的设置—应符：合下列规定》 ？ ？    1  送】风机应？采取自动调速措施】； —。 ，    2  空气！宜经过粗效、中效】、高：效，。过滤器三级处—理； ？ ？ ： ，   3 》 新风处理机组应有！良好的气密性在工】作压力下《的漏风率不得—大于1？％ 9.！3.2  光—刻间净化空气—调节系？统的循环风宜采【用风机过滤器—机组和？干冷却盘管》处理其？他洁净室净》化空气调节系—统的循环风》宜采用循环空气处理！机组处理 ！ 9.3.3  】金属有机化合—物化学气相沉积【间的净化空》气调节系统》应独立设置》 》 9.3.》4  循《环空气处理机组宜】采用干冷却方式处理！空气 【 9.3.5  循！环空气处理机组的风！。机应采？取自动调速措施【 9.3！.6  空调加【热、加湿《系统的设《计，应利于工厂余热的利！用 — 9.3《.7：  洁净《室的送风量应—符合现行国家标【准洁净厂房》设计规范GB 50！073的有关规【定 《 ： 9.？3.8  净化空气！调，节系统？的新风吸入口位置】应，远离排放有害物【或可燃？物的：排气口 【 9.《。3.9  洁净【室的噪声《控制设计的》。噪声级(空态)应】符合现行国家标【准电子工业洁净厂】房设计规范》GB 50》472的有关—规定但当洁净—。。室采用？。风机过滤器机组和干！冷却盘管处理循【环空气时单向流和混！合流洁净室的噪声级！(，空态：)不应大于7—0dB(A)—。非，单向流？洁，净室的噪声级—(空态)不应—。大于65dB(A】) ： ，