？ 9.？2  供暖、通【风与废气处理 【 【9.：2.1  供—。。暖设计应符合现行国！。家标准工业建筑【供暖通风与空气【调节设？计规范GB》 50019的【有关规定 】 9.2》.2 ？ 洁净？室内不应《采用散热器》供暖 】9.2.3  【寒冷和严寒地区【各动：力站房应根据工艺】要求：设，置值班供暖 【 ： 9？.2：.4  洁净—室内产生《粉尘：和有害气体的—。工艺：设，。备和辅助设备均【应设局部排风装【置排风罩宜为密【闭式 — 9.2.—5  排风》系统的设计应符合下！列规定 》    【 1  金属有机化！合物化？。学气相沉积设备的】尾气应设就地—处理装置； 】   》。。  2  》酸、碱？排风应？独立设置系统风机的！电机：应按一级负荷供【电； 【    《。 3  工艺设备的！排风系？。统应设置备用风机】； ： ， ？     4—  有冷凝液产生】的，酸，、，碱排风系统风—管宜设置坡度和排液！口且风管系统—应采取防《液体渗漏措施； 】    】 5 ？ 金属有《。机化合物化学—气相沉积设备的【排风系统应》采取防火、防爆措施！； —     6  】酸、碱、硅烷—排风系统的风管不】应穿越防《火墙或通风、空气调！节机房的隔墙和楼】板当：必须穿越时》。不得：设置熔片式防—火，。阀； 】    7》  酸、碱排风系统！的风机应设在废气处！理设备？的下风侧； ！     8 】 工艺设备的排风温！度高于6《0℃时排风管—应设保温措》施； 《     】9  工《。艺设备局部排风系统！的室外？风管应根据》当地气象条》件设置防结露保温】措施； 》 ？     10【  洁净室的排【风系统应《设，置防：止室外气流倒灌的措！。施 9】.2.6《  废气处理系【统的设计应符—合下列规定 【 《    1  酸】。、碱废气不得—采用固定《床吸附剂方式—。处理； 【  ？   2  酸、碱！废气宜？采用淋洗方式处理处！理，设备的填《料，层数、厚度》和喷淋药液循环【量应计算确定—。；处理？设备的加《药、补水和》排污应采用自动【方式：；处理设备》宜，就近设置日用药【箱；  ！   3  两台】及两台以上》废气：处理设备并联运【行时应在每台设【。。备，的入口设置电动或】气动密闭风阀—；，   】  4  寒冷【地区或严寒地区使】用的淋洗式废气处理！装置应采取防冻【措施 ？ 《。 9.2.7 【 酸、碱废气经【处理后应《经，排气筒排入大气排】气筒高度应符—合环境？评估：报告的要求排气筒】出，口处风速宜大于或】等，于1：8m／s并应符合现！行，国家标准大气污染】物综合排放标准【GB 1629【7的有关规定— ，。 《。 9.2.8 【。 金属有《机，化合物化学气—相沉积间应设—置不低于1》。2次／h的事故排】。。风 9.！2.：9  ？使用氢气《房间的？。吊顶上部《应设置通风换气【措，。。施排风量宜》为1次／h～2次】／h吸风口上缘至顶！棚平面或屋》顶的距离不应大于0！.1：m 9.！2.10  换【鞋间：。应设：置不低于10—次／h的全室排【。风系统？排风口宜《设置在下部；换【鞋柜宜设置局—部排风？。。。措施：；一次更衣间宜设置！不低于5次／h的】全室排风《系统： ：