8》.3  特种气【体供应 — 《 8.3.1  特！种气：体，应采用外购钢—瓶气体？、液：态气：体在工厂内设置储存！、分：。配系统 【 ， 8.3《.2 ？ 特种气体》储存分配《系统：设备应根据特种气】体的：性质和储存数—量布置在独立的【建构：筑物内或《布，置，在生产厂房内 【 8.【3，。.3 ？ 特种气体系统的气！瓶柜、气瓶架的【设置应符合》下列规定 【    — 1：  不相容气—体瓶：严禁放置于同一气】瓶柜：或，气瓶架中； — ？ ： ，   2  不【相容的特种》气体的气瓶架应布置！在不同房《间，里；当布置在同【一房间时不相容【特种气体《的气瓶柜、气瓶架之！间的距离应大—于6m； 【     3】  气瓶柜闭门时的！排风换气次》数不得低于》300次／》。h且气瓶柜应保持】负压； 】 ，    4  自燃！、可燃、毒》性、腐蚀性气—瓶柜应在排风出【口设置？气体泄漏探测器；】    ！ 5  气瓶柜门应！。具备自动《关，闭功能并应配备防】爆玻：璃观察窗；气瓶柜应！采取抗？震措：施设计应满足当【地抗震设防烈—度的要求 ！ 8.3.》4，  ：可燃、自燃》。特种气体的气瓶柜应！符合下？列规定 —     【1  ？硅烷气瓶柜闭—门，时的排风换气次【数不得低《。于1：20：0次／h且应连续】监控：气，瓶柜的？负压； 】     2 【 自燃特《种气体的气》瓶柜应设置》紫外、红外火焰探】测器及水喷》淋系统； ！  ：  ： 3  可燃特【种气体？的气瓶柜应设置水喷！淋系统？；   ！  4  自—。燃、可燃特》种气体的气瓶柜【应在气瓶之间设置隔！离，钢板： —8.3？.5 ？ 特种？气体系？统，吹扫氮气的设置【应，符合下列《规定 》   》  1  特—种气体系统的吹【扫氮气应《与独立的氮气源连】。接不得与公》。用氮气或工艺氮【气系统相连；— 《。     2  ！不相容性特种气【体系统的吹扫氮气】不，。得共用同一》氮气：源；： 《 ， ，    3》 ， ，吹，扫，氮气管线应》设置止？回阀： ， 8.3】.，6  特种气体【排气：与废气处理》的设置应符》合下列规定 】     1 ！。 特种气体系统【的，排气管应《设置氮气稀释与【连续吹扫；》 《    》 2  不》相容：性，特种：气体的排气不得接】入，同，一排气主《管； 《 ， ：     3—  自燃、可燃、】毒性、腐《蚀性特种气》体的排？气应经过《尾气处？理装：置进行处理排放【应符合现行国家标准！大气污染物》综合排放标》准GB 《16297的—有关：规定： —8.3.7  生产！厂房内的可燃—和毒性特种气体管】道应明敷穿过—生产区墙壁与—楼板处的管》段应设置套管—套管：内的：管道不得有焊缝套管！与管：道之间应采用—密封措施可燃、毒性！、腐蚀？性气体管道的机【械连接处《应置于？排，。风罩内 — ： 8.3.8 【。 特种？气体：和吹扫气体的—管道和管件》应采用奥氏体超低碳！不锈钢无缝钢—管内表面应进—行洁净和钝》化处理 — 8.3.9 ！ 自燃、可》燃、氧化《性特种气体管道应】设置：静电泄放的接—。地设施？ 8【.3：.，10  《室，外布置的特种—气体管道应架空布】置 — 8.3.11【 ， ，当特种气《体，为硅烷、磷烷—、砷烷时《应，采用双层管道—设计 《 ？。 8.3.12  ！特种气体采用—双层管输送时—双层管的外层—管道宜？采用SS3》04奥氏体不锈【钢管道内《层管道应与所输送】特种气体的性质匹配！ ， ，