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8?.2: 大宗气体供应
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8.2.!。。1 大宗》气体管道系》统设计应符合—下列规定
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: 1 【大宗气体《。的供气方式》。应根据?气体用量、气体品】质,和当:地的供?气状况等因》素经技术经济—比较后?确定;
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】 ,2 :。 氢气、氧气—管道的终端或最【。高点应设置》放散管放散管应引至!室外并高出建筑【的,屋,脊1m氢气》放,散管道上《。应设置阻火器;
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3 】洁净室内的氢气管】道应明敷穿过洁净室!的墙壁或楼》板处的?。管段:应设置套管套管内的!管道不应有焊缝套管!与,管道之间应采取【密封措施;
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4【 氢?气管道不得穿过不】使用氢气的》房间:;当必须穿过时应】设套管?或使用双《。层,管,
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8.?2.2 《 高纯气体管道设】计应符合下列规定】
— 1 — ,管径应按《气,体容许流量、压力】或生产工艺》设备确定管》外径:不宜小于6mm;】
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】 2 管道布【置不应出现不易【吹除的“盲管”等死!空间;
】。。
3 【 管道?。系统应设置吹扫口和!取样口
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8.2.【3 设《有氢气等《可燃气体装置—的气体纯化间—或气体入口室的火】。。灾危险性应》按甲类确《。定并:应符合下《列规定
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《 1》 应靠外》墙设置?。并应设置防爆泄压设!。施,;
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? 2? :氢气:等可燃气《体引入?管道上应设置—自动切断阀》;
】 3 应【。具有机械《。通风装置并应—设,置事故排风装置;】
【 , 4 应设【置气体泄漏报—警装置?并应与事故排—风装置联《锁
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:8.2.4 — 大宗气《体管:道和阀门应根据生产!。工艺要求选择并应符!合下列规定》
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1 【 ,气体:纯度大于《或等于99》.9999%—时宜采用内壁电【抛光的奥氏体超低】碳不锈钢管阀门应采!用隔:膜阀、波纹》管阀;?
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2 !气体纯?度大于或等》于99?.999%、露【点低于?76℃时宜》采用:内壁电抛光的—奥氏体超低碳不锈钢!管或内壁电抛—。光的低碳奥氏体不】锈钢管阀门宜采用】隔膜阀或《波纹管阀;》
】 3 气体纯】度大于或等》于99.99%、露!点低于?60℃时宜》采用内壁抛光的奥】氏体不锈《钢,管除可燃气》体管道宜采用波纹管!阀外其余气体管【道可采用《球阀;?
! 4: , 气:体管道阀门》、附件的材质宜与】相连接的《管道材质一致
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8.2.5 ! 气体管《道连接应《符合下?列规定
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《 1 管道连接】应采用焊接不锈钢】管宜采用《自动氩?弧焊或等《离子熔透对接—焊;
】 :。 2? 管道与》设,备,或阀:门的连?接宜采用表面密封】的接头或双卡套接】头或双?卡套的密封材料宜采!用金属垫《或聚四氟乙烯垫;
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》 ? 3 管》道,与,设备的连接应—符合设?备连接的要求当采用!软管连接时应采用】金,属软管
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