8.2 】 大宗气体供—应,
【
8.2.1 大!宗气体管道系—统设计应符合下列规!定
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】1, 大宗气体的供】气方:式应根据气体用量】、气体品《质和当?地的供气状》况等因?素经技术经济—比较:后确定;
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《 2: 氢气、氧气管道!的终:端,或最高点应设置放】散管放散管应—引至室外《并高出建筑的屋脊1!。m氢气放散》管道:上应设置阻》火器;
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》。 3 ? 洁:净室内的氢气管道】。应明敷穿《过洁净室的墙—壁或楼板处的—管段应设置》。套管套管《。内的管道不应有焊】缝,套管与?管,道,之间:。应采取密封措施;
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— 4 —氢气管道不得穿过】不使用氢气》。。的房间;当》必须穿?过时应设套管或【使用双层管
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》8.2.2 【。高纯气体管道设计】应符合?下,列,规定
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, 《1 管径应按【气体容许流量—、压力?或,生产工艺设备—确定管外径不宜小】于6mm;
【
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—2 管道布置不应!出现不易《。吹除的“《盲管”等死空间;】
! 3 ? 管道系《统应设置吹扫—口和取样口
【。
8.2.】3 ?设有氢气等可燃气】体装置的气体纯化间!或气体入《口室的火灾危险【性应按甲类确定并应!。符合下列规定
】
:。
?。 1 》 ,。应靠外?墙设置并应设置【防爆泄压设施;
】
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? ? 2 氢气等【可燃气体引入管道】上,应设置自《动切:断阀:;
!。 3 应—具有机械《。通,风装置并应》设置事故《排风装置;
【
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4— 应设置气体泄漏!报警装置并应与事故!排风装置联锁—
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?8.2.4 大】宗,。气体管道和阀门应根!据生产工艺要求【选择并应符合下列规!定
! 1 气体【纯度大于或等于9】9.999》9%时宜采用内【壁电抛光的》奥氏体超低碳—。不锈钢管阀门应【。采用隔膜阀》、波纹管阀;—
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】 2 气》体纯度大于或—等于9?9.999%、露】点低于76℃时宜采!用内壁电抛光—的奥:。。氏体超低碳不锈钢管!或内:壁电抛光的低—。碳奥氏?体不锈钢管阀门宜采!。用隔膜阀《或波纹?管阀;
》
3!。 气体纯度大于】或等于99.—99%、《露点低?。于60℃时宜采用】内壁抛光的奥氏【体不锈钢管》除可燃气体管—道宜采?用波:纹管阀外其》余气体管《道可采用球阀;
】
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【4, 气体管道阀门、!。附件的材质宜—与相连接的管道材质!一致
【
8.2.5 】气体:管,道连接应符》合下列?。规定
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》1 : ,管,道连接应采用焊接】不锈钢管宜采用【。自动氩弧焊或等离】子熔透对接》焊;
! 2 管道】与设备或阀》门的连接《宜采用?表面密封的》接头或双卡套接头或!。双卡套的密》封材料宜《采用金属垫或聚【四氟:乙烯:垫;
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》 ? ,3, 管道与设备【的,连接:应符合设《备连接的要》求当采用软管连【接时应采用金属软】。管,
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