8.2 !。大宗:气体供应
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8.2!.,1 大宗气体管道!。系统设计应符合【下列规定
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》 1 大宗气!。体,的供气?方式应?根据气?体用量、《气体品?质和当?地的供气状》况等因素经》技术经济《比较后确定;
】
— 2 《 氢气、氧》气管:道的终端或最高点】应设:置放散管放散管应】引至:室,外并高出建筑—的屋脊1《m氢气放《散管道上《应设置?阻火器;《
— 3 洁】净室内的氢气管道应!明敷穿过《洁净室的墙壁或【楼板处的管》段应设置套管—套管内的《管道:不应有焊缝套管与管!道之间应《采,取密封?措施;
】
4 【 ,氢气管?道不得穿过不—使用氢?。气的房间《;当必须穿过—时应设套管或使【用双:层管
《
8.2.】2 ?高纯气体管道设计】应符合下《列规定
【
1 !管径应按气体容许】流量、压力或生产工!。艺设备确定管外【径不宜小《于6mm;》。
— ?。。 2: :管道布?置,不应出现《不易吹?除的“盲《管”等死空》。间;
】 , ?3 管道系统应设!置吹扫口和取样口
!
,
8.2【。.3 设有氢气等!可燃:气体装置的气体【纯化间或气体入口室!的火灾危险》。性应按甲类确—定,并应符?合,下列:规定
》
:
1 应!。。靠外墙?设置并?应设置防爆》泄压设施;
】
:
? 2 氢气等可!燃气体?引入管道上应设置】自动切断阀;—
,
【 3 》。应具有机械通风【装置并?应设置事故排风装】。置;
【
, :。 4 应设【置,气体泄漏报警装【置并应与事故排风装!置,联锁:
,。
8.2】.4 大宗气体】。管道和?阀门应根据》生产工艺要》求选择并应符—合下列规定
!
1【 气体纯度—大于:或等于9《9,.9999%时宜】采用内壁电抛光的奥!氏体超低碳不锈钢】管阀门应采》用隔:膜阀、?波纹管阀;
!
2【 :气体:纯度大于或等于9】9.999%、露】点低:于76℃时宜—采用内?。壁电:抛,光的奥氏体超—低碳:不锈钢管或内壁电】抛光的低碳奥氏体】不锈:钢管阀门宜采—用隔:膜阀或波《纹管:阀;
【
3 】气体:纯,度大于或等于99】.99%、露点【低于60℃时宜采用!内壁抛光的奥氏体】不锈:钢管除可燃气体管】道宜采?用波纹管阀外其余】气体管道可采用球阀!;
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》 4 气—体管:道阀门、《附件:的材质宜与相连接的!管道:材质一致
!
8.2.》5 气《体管道连接应—符合:下列:。规定
【
: ?1 管道连接应】。采用:焊接不锈钢管宜采】。用,。。自动氩?弧焊或等离子熔【。透,对接焊;
】
? 2 —。管道与设备或—阀门:的连接宜采》用表面密《封的接头或双卡套】接头:或双:卡套的密《封材料宜采用金属垫!或聚四氟乙烯垫【;
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: 3 》 管道与设备的【连接应符合设备连】接的要求当》采用软管连接—。。时应采用金属软管】
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