8.2 】 大宗气体供应
】。
8】.,2.1 《 大宗气体管道系统!设计应?符合下列规》定
:
《
1— 大宗气体的【供气:方式应根据气体用量!。、气体品质和当地】的供:。气状况等《因素经技术经—济比较后确定;
】
【 :2 氢气、氧气管!道的终端或》。最高点应设置—放,散管:放散:。管应引至室》外并高出建》筑的屋脊1m氢【气放散管道》。上应设置阻》火器;
—
》 3 洁净室】。。内的氢气管道应【明敷:穿过洁净室》的墙壁或楼板处的管!段应:设置套管套管内【的管:道,不应有焊《缝套管与管道—之间应采取密封措施!;
《。。
【4 氢气管道不】得穿过不使》用氢气的《房间:;,当必:。须穿过时《。应,设套管或《使用双层《。管
?
8》.2.2 》 高纯气体》管道设计应》符合下列规定
【。。
《
1— 管径应按气【体容许流量、压力或!生产工艺设备确定管!外,径不宜小于6mm】;
?
— , 2 管道—布置不应《出现:不易吹除的“盲【管,。”等死空间;—
】 3 管道【系统应设置吹—扫口和取样口
】
《8.2.3 【设有氢气等可燃【气体装?置,的气体纯化间或【气体入口室的火灾】危,险性应?按甲类确定并应符】合下:。列规定
【
? 1 应靠外!墙设置并应设置【防爆泄?压设:施,;
:
,
《。 2 【。氢气等可燃气体引】入管道上应设—置自动切《断阀;
《
!3 应具有—。机械通?风,。装置并应设置事故】排风装置;
!
—4 应设置气【体泄漏?报警装置并应与事故!排,风装置?联锁:
《
8.《2.4 》大宗气体《管,道和阀?门应:根据生产工艺—要求选择并》应符合下《列规定
【
1 !气体纯度大于—。或等:于99?.,999?9%时宜采用内【壁电抛?光,的奥:氏体超低碳不—锈钢管阀门》应采:。用隔膜阀、波纹管】阀;
【
《 2 气体纯度】大于:或等于99.999!%,、露点低于76【℃时宜?采用内壁电抛—光的:奥氏:体超:。低碳不锈钢管—。或内壁电《抛光的低碳奥氏体不!锈钢管阀《。门,宜采用隔膜阀或波纹!管阀;?
?
:
3— 气体《纯度大于或等于99!。.,99%、露点低【于60℃时宜采用内!壁,抛,光的奥氏体》不锈钢管除》可,燃气体管道宜采【用,波纹管阀外其余【气体管道可采用球】阀;
! 4 —气体管道阀门—。、附件的材质宜与相!。连接的管道材—质一致
—
,
8.2.5 】 气体管道连—。接,应符合下列规定
】
】 1 ? ,管道连接应》采用焊接不锈—钢管宜采《用,自动氩弧焊或—等离:子熔透对接焊;
】
?。
,
《 ,2 管道与设备】或阀门的连接—宜采用表面密封的】接头或双卡套接【头,或双:卡套:的密封材料宜—采用:金属垫?或聚四氟乙》烯垫;
【
: 3 管道!与设备?的,连接应符合设备连】接的要求当采用软管!连接:时应采用金属—软,。管,
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