14  】。空间管理 【 ： 14.】1  一般规—定 《 ？ ， 14.《1.1  本条【明确：。了薄膜？晶体管液晶显—示器工厂空间管【理，进行管线《综，合时应满《足的基本要》求薄膜？晶，体管液？晶显示器工》。厂内管？线庞杂主《要包括下列管线【 》    《 (1)工艺管【线含：压缩空气、大宗气】体、工艺真》空、清扫真空、【特种气体、纯—。水、工艺废水、工】艺循环冷却水、【化学品供《应、化学品回收、局！部，工艺排风等管线；】 《     (2】)公用管《线含：一般给排水、—消防、送风、回风】、全室排风、排【烟、冷冻水》等管线；《 ：  》   (《3)电气管线含工】艺设备？、公用设备、照【明等使用的母线、】桥架：。 》 14.1》.2～14.1.4！  厂房的层高是调！。研，了部分薄膜晶体管】液晶显示器工厂总结！。的，一个高度随》着薄膜？。晶体管液晶显—示，器的：尺寸变大厂房的高度！也在不断增高—以满足生产工—艺，的需要各世代薄【膜晶体管液晶显示器！工厂洁净生产层【和技术夹层净高可】参考：表5 表！5  ？各，世代薄膜晶体管液】晶显示？器工厂？。洁净生产层》和技术？夹层净？高示例(m)— 】 《 ：