《1，4，  空间《管理 】 《14.1  一般规！定 《 《 14？.1.1 》 ，本条明确了薄膜晶体！管液晶显示器工厂空！间管理？进行管线综》合时应满足的基本要！求薄膜晶《体，管液晶显示器工厂】内管线庞杂主要包】括下列管线 】。。     (】1)工艺《管线含压缩空气、】大宗气体、工艺真】空、清扫真》空、特种气》。体、纯？水、工艺废水、工艺！循环冷却水》、化学品供》应、化学品回收、局！部工艺排风等管线】；   ！ ， (2？)公用管线含一【般给：排，水、：消防、送风》、回风、《全室排风、排烟、冷！冻水等？管线； —     (3！)电气管《线含工艺设》备、公用《。设备：、照明等使用—。的，母线、桥架 — 《 14.1.—2，～14.1.4 】 厂房的层高是调】研了：部，分，薄膜晶体《管液晶？显示器工《厂总结的一个高【度随着薄膜晶体管液！晶显：示器的尺寸变大【。厂房的高度》也在不断增高—以满足生产工艺的】需要各世代》薄膜晶？体管液晶《显示器工《厂，洁净生产层和—技，术夹层净《高可参考表5 】 表5  】各世：代薄膜晶体管液晶显！示器工厂洁净生产】层和技术夹层—净高：示例(m) — — 》 ：