14 空!间管理
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14.1 —。 一般规定》
1!4.1.《1 本条明确了薄!膜晶体?管液:晶显示?器,工厂空间《管,理进行管线综合时应!满足的基本要—求薄膜晶体管液晶】显,示器工厂内管线【庞,杂主要?包括下列《管线:
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: (1)工艺管!线含压缩空气、大】宗气体、工》艺,真空、清扫真—空、特种气体、纯水!、工艺废水》、工艺循环冷—却水、化学品供应、!化学品回《。收、局部工艺排风】等,。管线;
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【(,2)公用《管线含一般》给排水、消防、送】风、回风、》全室排?风、排烟、冷冻水】等,。管线;
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(3)】电气管线含工—艺设备、公用设备、!照明等使用的—母线、桥架
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14.1—。.2~14.1【.4 厂房—。的层高是调研了部】分薄膜晶体管液【晶显示器工厂总【结的一?个高度随着薄膜【晶体管液《晶显示器《的尺寸变大厂—房的高度也在不断】增高以满足生产工】艺的需要各世—。。代薄膜?晶,。体管液晶显示—器工厂洁净生产【层和技术夹层净【高可参考表》。5
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表5 【。各世代薄膜晶体管液!晶显示器工厂洁【净生产?层和技术夹》层净高示《例(m)
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