安全验证
? 14?  空间管理— 》。 ? :14.1  一【。般规定 《 》 14.1—.1  本条明确了!薄膜晶体管液晶显】示器工厂《空间管理进行—管线综合《时应满足的基本要】求薄膜晶体管—。液,晶显示器《。工厂:内管线庞杂主—。要包括下列》管线 》 ?    《。(1:)工艺管线含压【缩空气、大宗—气体、工艺真—。。空、清扫真空、特种!气体、?纯水、工《艺废水、工艺循【环冷却水《、化:学,品供应、化》学品回?。收、局?。部工艺排风》等管线; 】     (2)!公用:管线含一般给—排水、消防、送风、!回风、全室排风、排!烟、:冷冻水等《管线; !。    (3)电】气管线含工艺—设备、公《用设备、照明—等使用的《母线:、桥架 】 14?.,1.2~《14.1.4—  厂房的》层高是调研》了,部分:薄膜晶体管液—晶,显示器工厂总结的】一个高度随着—薄膜:晶体管液晶显示器的!尺,寸变大厂房》的高度也在不断增】高以满足生产—。。工,艺的需要各世—代薄膜晶体管—液晶显示器工厂【洁净生产层》和技术夹层净高可参!考表:5 — ,。表5  各世—代薄膜晶体管液【晶显示?器工厂洁净》生产层和技术—夹层:净高示例(》m) ! : ?。 :