安全验证
? 14?  空?。。间管理 】 14【.1  一般规定 ! : ? 14.》1.1  本条【明确:了薄膜?晶体管液晶显示器】工厂:。空间管理进行管线】综合时应满足的基】本,要求薄膜晶体管液晶!显示器?工厂内管线庞杂【主要:包括下列管线 !    — (1)《工艺管线含压缩【空气、?大宗气体、工—艺真空?、清扫真空、特【。。种气体、《纯水、工艺废水【、工艺循《环冷:却水、化学品供【应、化学《品回收、局》部工艺排风》等管线; 【     (2!)公用管线含—一般给排水、消防】、送风、《回风、全室排风【、排烟、《冷冻:水等管线; 【 ?   ?  (?3)电气管线含工】艺设备、公用设备、!照明等使用》的,母,线、桥架《 《。 14.》1.2~1》4.1.4  厂房!的层高是调研了部】分薄膜晶体管—液晶:显示器工厂总结的】一,个高度随着薄膜晶】体管液晶显示器【。的尺寸?变大厂房的高—度也在不《断增高以满足—生产工艺的需要各】世代薄膜晶体—。管,液晶显示器工—厂洁:。净生产层和技术夹层!。净高可?参考表5 — : 表5 》 ,各世代?薄,膜晶体?。管液晶显示》器工厂洁净生产层和!技术:夹层净高示例(m)! 【 : : ?