14  】空，间管理 】 14.1！  一？般，规定 】 14.1.1】  本？条明确了薄膜—晶体管液晶显示器工！厂空间管理进行【。管线综合时应—满足的基《本要求薄膜晶—体管液晶显示器工厂！内管线庞《杂主要？。包括下列管线— ， 》    (1)工】艺，管线含压《缩空气？、大宗气体》、，工艺：真空、清扫真—空、特种《气体、？纯水、工艺废水、工！艺，循环冷却水、化学】品供应？、化学品《回收、？。局，部工艺排风等—管线； 《。  —   (《2)公用管线含一般！给排水？、消防、送风、回风！、全室排风》、排烟、《冷冻水等管线； ！ ，    — (3)《电气管线含工—艺设备、公用—设备、照明等使用的！母线、桥架 【 14.1.！2～14.1.4】  ：厂房的层高是调【。。研了部分《薄膜晶？。体管液晶显》示器工厂总》结的：一个高度《。随着薄？膜晶体管液晶显示器！的尺寸变大厂房的高！度也在不断增高【以满足生产》工艺：的需要各世代薄【膜晶体管液》。晶显示器工厂—洁净生产层》和技术夹层净高【可参考表5 — ？ 表5  各【世代薄膜晶》体管液晶《显示：器工厂洁《净生产层和技术【夹层净高《示，例(m) ！ ！