14 【 空间管理
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14】.1 ? ,。一般规?定
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1【。4.1.1 本条!。明确了?薄膜晶体《管液晶?显示器工厂》空间管理《进行管线《综合时?应满足的基本—要求薄膜晶体—管液晶?显,示器工厂《内管线庞杂主要包括!下列管线《
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(—。。1)工艺管线含压缩!空气、大宗气体、】工艺真空、》清扫真空、特种气体!、纯水、工艺—废水、工《艺循环冷却水—、化学品供应—、化:学品回收、局—部工艺排风等管线;!
】 (2)公用管】线含一?般给:排水、消防、送风】、回风、全室—排,。风、排?烟、冷?冻水等管线;
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【(3)电《气管线含工艺设备】、公用?设备、照《明等使用的母—线、桥架
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?。。14.1.2~14!.1.4 厂房】。的层高是调》研了部分薄膜晶体】管液晶显《示器工厂总结的一】个高度随着薄膜晶体!管液晶显示器的【尺寸变大厂房—的高度?。也在不?断增高?以满足生产工—艺的需要各》世代:薄膜晶体《管液晶?显,示器工厂洁净—生产层和技术—夹层净高可参考【。。表,。5
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表5 】 各世代薄膜晶体管!液晶显示器》工厂洁净生产层和】技术夹层净高示例】(m)
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