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14 —。 空间管理》。
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:1,4.1 一般【规定:
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1【4.1.《1, 本?条明确?。了薄膜晶体》管,液晶显示《器,工厂空间管理进【行管线综合》时应满足的基本【要求薄膜《晶体管液晶》。显示器工厂内—管线庞杂主要—包,括下列管线
!
: (1)工】艺管线含压缩空【气、大宗气体、工】艺真空、《清扫真空、特种【气体、纯《水、工艺废水、工】艺循环冷却水—、化学品供》应、化?学品回收、局—部工艺?排风等管线;
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— (2)公用管线含!一般给?排水、?消防、送风、回【风、全室排风、排】烟、冷冻《水等管线;
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— (3》)电:气管线含工艺设备、!公用:设,备、照明等使—用的:母线、桥《架,
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14.1.!2~14.1.4 ! 厂房的层高是【调研了?部分薄膜晶体管液晶!显示器工厂总—结的一个高度—随着薄膜晶体—管液晶显《示器的尺寸变大厂】房的高度也在不断】增,高以:满足生产工艺的需】要各世代薄膜晶【体管液晶显示—器工厂洁净生—产层和?技术夹层净高可参】考表:5
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表5 》 ,各世:代薄膜晶体》管液晶显《示器工厂《洁净:生产:层和技术《夹,层净:高示例(m》),。
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