《14  空间管理】 】 1？4.1  一般规】定， 》 14.—1.1  》本条明确了薄膜【晶体管液晶》显示器工《厂空间？管理进行《。管线综合时》应满足？的基本要求》薄膜：晶体管液晶显示器】工厂内管《线庞杂主要包括下列！管线 【     (1【)工艺管《线含压缩空气、大】宗气体、工艺真空】、清扫真空、—特种气体、》纯水：、工艺？废水、工艺循环冷】却，水、化学《品供应？、化学品《回收、局部工—艺排风等管线—。；   ！  (2)公用管线！。含一般给排水、消】防、：。送风、回风》、全室排《风、排？烟、冷冻水》等管线；《  【   (3)电气】管线含？工艺设？备、公用《设备、照明》。。等使用的母线、桥】架 14！.1.？2～14.1.4】。  厂？房的层？高是调研了部分【薄膜晶？体管液晶显示器工】厂，总结的一个高—度随着薄膜晶体管】液晶显示器的—尺寸变大厂》房的高？度也在不断增高以满！足生产工《。艺的需要各》世代薄膜晶体管【液晶显示器工厂洁净！生产层和《技术夹层净》。。高可参考《表5 《 表》5  各世代薄【。膜晶体管液晶显【示器工？厂洁净生产层—和技术夹层净高【示，例(m) 》。 ！ 《