14—  空间《管理 《。 》 ？14.1 》 一：般规定 — ： 14.1.1！ ， 本条明确了薄膜】晶体管液《晶显示器工厂空【间管理进行管线综】合，时应：满足的基本要求薄膜！晶，体管液晶显示器【工厂：内管线庞杂主要包】括下列管线 】 ：。     (1)】工艺：管线含压缩空—气、大宗气体—、工艺？真空、清扫真—空、特种气体、【。纯水：、工艺废水、—。。工艺循环冷》却水、化学》品供应、化学品回】收、局部工艺排风】。等管线； 》 ，     】(2)公《用管线含一般给排】水、消防、送风、回！风、全室排风—、排烟、冷冻水等管！线，； —     (—。3)电气《管线含工艺设—备、公用设备—、照明等使用的【母线、桥架》 《 1？4.1.2》。～14.1.4  ！厂房：的层高是《调研了部分薄膜晶】体，。管液晶显示器工厂】。总结的一个高—度随着薄《膜晶：体管液晶显示器的尺！寸，变大厂？房的高度也在—不断增高《以满足生产》。工艺的？。需要各世代薄—膜，晶体管液晶显示器工！。厂洁净生产层和技术！夹层净高可参考表】。5 ？ ？。。 表5  》各世：。代薄膜晶体管—液晶显示器工厂洁】净生产层《和技术夹层净—高示例(m)— 】 —