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,14 空间管理
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1!4,.1 ? 一般规《定,
】14.1.1 本!条明:确了薄膜晶》体管液晶显示器工】厂空间管理进行【管线综合时》应满足的基》本要求薄《膜,晶体管液晶显—示器工厂《内管线庞《杂主要包括下列【管线
】 (1)【工艺管线含压缩【空气、大宗气体【、工艺真空》。、清扫?真空、特种气体、】纯水、?。。工艺废?水、工艺循环—冷却水?、化学品供应—、,化学品回收、局部】工艺排?风等:管线;?
! (2)公用管线含!一般给排水、消防、!送风、?回风、全室排风、】排烟、冷冻水等管线!;
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(3)!电气管线含工艺设备!。、公用?设备、照明等使用】的母线、《桥,架
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14?.1.2~14.】1.4? 厂房的层高是】。调研了部分薄—膜,晶体管液晶》显示器工厂》。总结:的一个高度随着薄膜!晶体:管液:晶显示?器的:。尺寸变大厂房的【高度也在不断增高以!满足生产工艺的【需要各世《代薄膜晶体管液晶】显示器工厂》洁净生产层和—技术:夹层净高可参考表】5
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表5— 各世《代薄:膜晶:体,管液晶显示器工厂洁!净生产层《和技术夹《层净高示例(m)】
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