《14: 空?间管理
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14.【1 ?一般规定
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14.1.】。1 : 本条明《确了薄膜晶体—管液晶显示》。器工厂空间管理进】行管线?综合时应满足的【。基本要求薄膜晶体管!液晶显示器工厂内管!。。线庞杂主要包—括下列管线
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(1】)工艺管线含压【缩空气、大宗气体、!工艺:真空、清扫真—空、特种气体、纯水!、工艺废水》、工艺循环冷却【水、化学品供应、化!学品回收、局部工】艺排风等管线;
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— (2)公用管线!含一般给排水、消防!。、送风、回》风、全室排风、排烟!、冷冻?水等管线;
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【 (3)电气管线含!工艺设备、》公用设备、照明等使!用的母线、桥架
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14.1—.,2~14《.1.4《 厂房的层—高是调研《了,部分薄膜晶体—管液晶显示器工【厂总结的《一个高度随着薄膜晶!体管液?晶显示器的尺寸【变大:厂,房的高度也在—不断增高以满足【生产工艺的需—要各世代薄膜晶【。体管:液晶显示《器工厂洁净生产层】和技术夹层净高可参!考表5
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表5【 :各世代薄膜晶体管液!。晶显示?器工厂洁净生产层】。和技术夹层净高示例!(m)
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