14  空！间管理 》 【 14.1  一】般规定 】 14.1.】1  本条》明确了？薄膜：晶体管液晶显示器工！厂空间管理进行【管线综合时应—满足的？基本要求薄》膜晶体管液》晶，显示器工《厂内：管线庞？杂主要包括下列管】线 》    》 (1)工艺—管线含压缩空气、】大宗气体、工艺【真空、清扫真—空、特种《气，体、纯水、工艺废水！、工艺循环冷却水】、化学品供应、【化学：品回收？、局部工艺排—风等：管线； 】     (2)公！。用管：线含一？般给排水《、消防、送》风、回？风、：全室：排风、？排，。烟、冷冻水等管线】； 》 ，     (3)】电，。气管线含工艺设【备、公？用设备、照明等使】用的母线、桥架 ！。 ： 1？4.1.《2～1？4.1.《4 ： 厂房的《层高：是调研了部分—薄膜晶？体管液晶显示—器工：厂总结的《。。一个高？。度，随着薄膜《晶体管液晶》显示器的《尺寸变大《厂房的高《度也在？不断增？高以满足生产工【艺的需要各世代薄膜！晶，体管：液晶显示器工厂洁】净生产层和技术夹】层净高可参考表5 ！ 表5  ！各世代薄膜晶体管液！晶显示器工厂洁净生！产层和技术夹层净高！。示，例(m) ！。 【。 ：