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14 空—间,管理
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1》4.1 一—般,规定:
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14.—1,.1 本条明确】了薄膜晶体管液晶】显示器工厂空间管】理进行管线》综合时应满足的基】本要求薄膜》晶,体管液晶《显示器工厂内管线庞!杂,主要包?括下列?管线
! , (1《),工艺管线《含压缩空气、大宗气!。体、工艺真空、清扫!真空、特种气—体、纯?水、:工艺:废水、?工艺循环《。冷却水、化学品供应!、化学品回收、【局部工艺排风等管】线;:
》。
, 《(2)公用管线【含,一,般给:。排,水、消防、送风、回!。风、全室排》风、排烟、冷冻【水等管线;》。
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(3)!电气管线含工艺【设备:、公:用设备、照明—等使用的母》线、桥架
》
1—4.1.2》~1:4.1?.4 《厂,房的层高是调—研,了部分薄膜晶体管】液晶显示器工厂总】结的:一个高度随着薄【膜晶体管液晶显【示器的尺寸变大【。厂房:的高度也在不断【增高以满足生产工艺!的需要各世代薄膜】晶体管液晶显—示器:工厂洁净生产—层和技术夹》层净高可参考表5】
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表5 【各世代薄膜晶体管】液晶显示器工厂【。洁净生产层和技术夹!层净:高示例(《m)
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