： 8.《3  特种气体供应！ 《 8.3【.1  特种气【体供应应采用—外购钢瓶气体、液态！气体在工厂内应设】置储存、分配—系，统， ？ ？8.3.2》  特种气体供应储！存分配系统》设备应根据特种【。。气体：的性质和储存数量】布置在独立的建(】构)筑物内或—生，产厂房的《专用房间内 — 《 8.3.》3，  布置《在独立的《建(构)筑物—内或：区域的特种气体设】。备的火灾《危险性的确定应【符合现行国家—标，准建筑？设，计防火规范GB 5！0016的》。有，关规定 ！8.3.4 — 布置在生》产，厂房内？的自燃、可》。燃特种？气，体设备分《配间的火灾》危险：性应按？甲类：确，定， 《 8.3.5【 ， 新建工厂的—大宗硅烷《。站应布置在》独立建筑《物或构筑《物内改、扩建项目】。的大宗硅烷站可与】工厂其他气体供【。应站房布置在同一】栋建筑？物内并应用防—爆墙与其他气体供应！间隔开 》 8.3.6！  特种气体系统】的气瓶？柜、气瓶架的设【置应符合现行国家标！准特种气《体系统？工，程技术？规范GB《 5：0646《的有关规《。定， 8【.3：.7 ？ 可燃特《种气体的气瓶柜【应符合下列规定 】 ， ，     【1  硅烷》气瓶柜的排》风换：气次数不得低—。于1200》次／：h且气瓶柜的—负压应连《续监控； 【 ，  ？。   2  自燃特！种气：体的：气，瓶柜应设置紫外、红！外，。火焰：探测器及《自动灭火系统—； 【    3》  ：可燃特种气体—的气瓶柜应设置自动！灭，火，系统； —     4】  自燃、可燃【特种气体的气—瓶柜：应在气瓶《之，间设置隔离钢—。板 8】.，3.8  》特种气体系统吹扫氮！气的设置应符合【下列规定 】     1 】 特种气体系统【的吹：。扫氮：气应与独立》的氮气源连接并不】得与公用氮气或工艺！。氮气系统相》。连； 】    《。2  不相容性特】种气体系统的吹扫氮！气不：得共用同《一氮：。气源：； 》   《  3  吹扫【氮气管线应设置止】。回阀 《 8.3.9！  特？种气体排气与废气】处理的设置应符【合下列规《定   ！  1  特种气】体系统的排气管【应设置氮气》稀释与？连续吹扫装置防止】空气倒流造成污染和！腐蚀； 》     】2  不相容性特种！气体的排气不—。得，接入同一排》气主管； 【    — 3：  自燃、可燃、】毒性、腐蚀性特种】。气体的排气应经【过尾气处理装—置进行处理》确保：达到国？家规定的允》许排：放，标，准 8.！3.10 》 ，生产厂房内的可燃】和毒性特种气—体管道应明敷穿过】生产区墙壁》与楼：板处：的管段应设》置套管？套管内的管》道不得有焊缝—套管：与管道？之间应采用密封措】施可燃？、毒性、腐》蚀性气？体管：道的机械连接处【应置于排风罩内【 《 8.3.11 ！ 特种气体和—吹扫气体的管—道和：管件应？采用奥氏体》超低：碳不锈钢无缝钢管】内表面应进行—洁净和钝化处理【 《 8.3.12】  可？燃、氧化《性特：种气体管道》应设置静电泄—导，的接地设《施 8.！3.1？3  室《外布置的《特，种气体管《道应：架空布？置 8.！。3.14  具有自！燃、剧毒性、强腐】蚀性的？特种：气，体宜：采，用双套管设计内管走！工艺气体套管—间可：采用封闭或开—。放形式 》