8.2 】 大宗?气体供应
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?8.:2.:1 大宗气体【输送:系统设?计应符合下列规定
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【 1 工厂应】根据生产的》需求确定《大宗气体的》种类:其气体品质应—满足生产工艺—要求;
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: 2 大】宗气体?的供气方式》。应根据气体》用量、气《体品质和当地—的供气状《况各种因素确定;
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《 3 氢气】。、氧气?管,道的终端或》最高点应设置—。放散:管放散管应》引至室外并应高出】建筑的屋《。。脊1m氢气放—散管道上应设置阻火!器;
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》。4 洁净厂—房内气体管道的干管!应敷设在技术—夹层或技术夹道【内;
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【5 洁净室内的】氢气管道应明敷【穿过洁净室的墙【壁或楼板处的—管段应?设置套?。管套管内《的管道不得有焊缝】套管与管道之间应】采取:密封措?施;
! 6 —氢气管道不得—穿过不使《用此:类气体?的房间当《必须:穿过时应《设套管?或使用双层管—。;
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? : 7 氢气和【氧气管道应设置静电!泄导的接《地设施
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8.2—.2 高纯大宗】气体供应系统工【艺设:计应符合《现行国家标准大宗】气体纯化及》输,送系统工程技术规范!GB 507—24的有关规定
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8.2.3 !大,宗气体纯化间或气体!入口室?内设:有氢气等可燃气【体装:置时其?火灾:危险:性应按甲《类,确定并应符合下【列规定?。
! 1 可燃气体】装置应靠外墙—设置并应设置防爆】泄压设施《;
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—2, 氢气等可燃气体!引入管?道上应设置自动切断!阀;
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【 3? 应?具有良好的自然通】风并应设置》事故排风《装置;
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?。 4 《 应设置气体泄漏】报警装置并》应与:事,故排:风装置?连锁
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,8.2.4 【大宗气体《管道和阀门》应,根,据产品生产工艺要求!选择并应符合下列规!定
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1— 气?。体纯度大于或等于9!9.9999%时宜!采用:内壁电?抛光的奥《。氏体超低碳不锈钢无!缝钢管?阀门应采用隔膜阀、!波纹管阀;
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!2 气体纯度大于!或等于99.999!%、露点《低于76℃时宜采用!内,壁电抛光的奥—氏体:超低:碳不锈?钢无缝钢管》或内壁电抛光—的低:碳奥:氏体不锈钢无缝钢】管阀:门,宜,采用隔膜阀或波纹管!阀;
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3】 ,。。 气体纯《度大于或等于99】.9:9%、露点低于60!℃时宜采用内壁【抛光:的奥氏体《不锈:钢无缝?钢管除可燃》气体管道宜采用【波纹管阀外》其余气体管道—宜采用球阀;
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】4 ?气体管?道阀门?、附件的材质宜与相!连接的管《道材质?一致
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8.2《.,5 大宗气体管】道连接应符合下【列规定
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1 】 不锈钢管应采【用氩弧焊宜采用自动!氩弧焊或等离子熔】融对接焊;
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2 】管道与设备或阀【门的连接宜》采用表面密封的接头!或双卡套接头或双】卡套的?密封:材料宜采用金—属垫或聚《四氟乙?烯垫;
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?。 , : 3 《管道与设备的连【。接应符合设》备,。连接:的要求当《采用软管连》接时应采《用金属软管
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