安全验证
1》0  气体与真空】 ? 《 , 10.》1,  大?宗气:体 !10:.,1.1?。  :大,宗气体供应系统宜在!工厂内或邻》近处设?置制气装置是为【了便于?。。输,送如果外部》。气源能?满足需求采用—外购液态《气,储罐或?瓶装气体可节省工】。厂初期?投资及便于管—理 — 10.1.2  !如果工厂《对大:宗气:体的管理有》明确要?求大:宗气体可以设置【气体质?量监控?系统 — :10.1.3  气!体纯化装置是保证】气体品质《的重要设备气—体气源参数和使用参!数是:确定纯化装置—的重要数据》;当气体纯度要求】较高:时规定应设置终端纯!化,器终:端纯化器《靠近工艺设备是为】。了保证气体》的品质? , 10.1!.4 ? 考虑到大宗—气,体系统在工》程完工?。、检:。修后要对系统进【行吹:扫同时考虑混合气】体,特性及?系,统的安全规定混【合气体管道的—终端或最高点应【设置放散管放—散管道上应设置阻】火器同时混合气【体的管道入口—处,应设置自动切断【阀门同时管道应【设置导出《。。。静电的设《施, : 10.1.!5 : 大宗气体管道【和阀门的选择与工】艺对:气体品质的要—求关联度较大因此】规定:根据气体的纯度确】。定管道材料和—阀门类型同时规【定气体管道》阀门、?附件的材质宜与相】连接的管道材质【。一致 《