?
9 纯水与【废水处理《
!
9.1 纯 ! 水
《
《
?9.1.1 — 集成电路封—。装测试生产过程中】需使用纯水作为清】。洗用水?。纯水制备系统需根据!生,。。产工艺的要求合理制!定制备系统规模和】供水水质同时—由于该类《工厂往往产》能很大每个》项目的实施均是【总体统一规划分期】分步具体实施因此】作为:主体工程的重要支】持系统的纯》水系统也应该配【合,主体工程的统一【规划:合理布局《分步实施《以求技术经济最【合,理
:
?
9.1》.,。2 ?纯水系统设备及【管道材料的选择【方面主要应考—虑三方?面的因素《
?
材料!的化学稳定性纯水】是一种极《好的溶剂《。。为了保证《在输送?过程中纯水水质【下降最小必》须选择化学》稳定性极《好的管材也就是在】所要求的《。纯水中的溶出物【最小:溶,出物的多少》应由材料《的溶出?试验确定其中包括】金属离子有机物的】溶出等同时》材料:还需能够《耐受系统《定期:消毒灭菌
】。
: 《管道内壁的光洁【度若管道《内壁有微小的—凹凸会造成微粒的沉!积和微生物的—繁殖:导,致微粒和《。细菌两项《指标的不《合格
—
管道】及,管件的?接头处的平》整度:。对于防止《产生流水的》涡流区是非常重【要的
9!。.,1.3 实践证明!采用循环供水方式】是行:之有效的主》要是基于保》证输:水管道内的》流速和尽量减—少不循?。环段的死水区—以减少?纯水在管道内的停】留,时,间减小管道材料微量!溶出物(即使目前质!量,最好的管《道也会有微量溶出】物)对?超纯:水水质的影响同【时,较,高的流速还可以防止!细菌微生物的滋生
!
9.【1.7 》纯水制备可利—用水源包括自来【水以外的再生水、】甚至废水《处理站处理》后的水体现面对水资!源匮乏设计中不能】。只考虑自来水—而忽略其他水源
】
【 纯水作为清洗用!水经过工艺生产设】备使用?后应尽可能做到“】清污分流”》选择收集低污染度的!清洗废水作为纯【。水制备的原水或其他!次级用水的》原水促进水的—循环利用和》重复使用实》现,高效率的一水多【用是实现纯水系【统,。和全厂高《回用率的关键—所在用?后纯水的重复利【用,既要达到高的—回用:率同时也必须保证】工艺设备的用水安全!因此:确定:回收:水水质对纯水系统】设计影?响很大?回收水水质必须【根据回收系统的处理!工艺和处理》能力来确定在设计】初期必须结合目前】成熟可靠的》工,程,技术和经济条件做】好相关的技术评估】工作既要确定可供安!。全,回收:的回:收水水质也必须【考,虑到回收水水—。质,变,化对纯水《系,统的影响
—