6.2  ！。工艺循环冷却水系】统 】。 6.？2.1  工艺循】环冷却水系统—是，集成电路《封装测试厂》的重要生产支持系统！工艺循环《冷却水系统循环水】。量大运行能》耗高因此工艺循【环冷却水《系统的设《计应该充分考虑工艺！生产设备对水温【、水压和水质的【需求经技术经—。济，比较后合理设置【 ？ ， 6.2.—2  工艺》循环冷？却水系统的实—际，使用负荷《往往随着生》产设备的实际运行】。而变化为了满足水】压、水？。量的：要求工艺循环—冷，却水：。系统的加压水—泵通常都按变频【恒压变流量的模式运！行设置备用泵是考虑！工艺循环冷》却水系统的运行安全！ 6.2！.3：、6.2.4  】工，艺，循环冷却《水系统过滤器和【换热器设置备—用是：。根据工艺循环冷【。却水系统的》。重要性和运行安全】考虑 【 6.2.6  不！同金属？材料：的管道和支》架间采用绝缘材料的！隔，垫主要为《防止电化学反—。应造成锈蚀 — 《 6.2.7  水！质对工艺循》环冷却水系统非常重！要因此？水，。质稳定装置的—合理选择《和设置？必须：要充：分考虑？工艺循？环冷：却，。水系统的形式、系统！中各设备《和管道材料的—材质以及工》艺，生，产设备过水部分的】材质结合防腐、阻】垢和灭菌的需—要 ？