？ 6.2《  工艺循》环，冷却水系统 ！ 6.2.1！  工艺循环—冷却水系统是—集成电路封装—测试：厂，的重要？生产支？持系统工艺循—环冷却？水系统循《环水量大运行—能，耗高因此工》艺循环冷却水系【统的设计应该—充分考虑工艺生产】设备对水温、水【压和水质的》需求经技术经济比较！后合理？。。设置 】6.2？.2  工艺循【环冷却？水系：统的实际使用负荷往！往随着？生产：。设备的实际运—行而：变化为了满足水压】、水量的要求工艺循！环，冷却水系统的加压】水泵通常都按—。变频恒压变》流量的模式运行设置！备用：泵是考虑工艺循环冷！却水系统的运—行安全 — ？6.2.《3、6.2.4 】 工艺循《环冷却水《系统过滤器和换【热器设置备用是根据！工艺：循环冷却水》系统的重要性和运行！安全考虑 — 6.2.】6  ？不同金属材》料的管道和支架【。间采用绝《缘材料？。的隔垫主《。要为防止电化学反应！造成锈蚀 【 6.2.【7  水《。。质对工艺循》环冷却？水系统非《常重要因此水质稳】。定装：置的合理选择—和设置必《须要充分考虑工艺循！环冷却？水系统的形》式、系统中各设备和！管道材料的》。材质以及《工艺生产设备过【水部分的材质结合防！腐、阻？垢和灭？菌的需要 》 ，