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8.3 !工艺排风 — ?。。 , 8.《3.1 》工,艺排风系统设计【应按照工艺设备排风!性质设置独立—的排风系《统 : 《 8.3.2—。 工艺排风系统】宜设置?变频控?制系统 》。 8.3.】3 工艺排风管道!穿越防火《墙或楼板处应设置】防火阀 《 8.3】.4 工艺排【风管道应采用—不燃材料腐蚀—性排风管道可采【用难燃材料》 8【.3.?5 排烟》系统应符合》现行国?家标准电子洁净厂】房,设计规范《GB 504—72:的有:关规定 》