9.3 空气调节与净化
9.3.1 印制电路板厂房内的空气洁净度、温度、湿度要求应满足生产工艺的要求。
9.3.2 厂房内的车间或区域符合下列情况之一时,空气调节系统宜分开设置:
1 对温度、湿度控制要求差别大的房间;
2 净化空调系统与一般空调系统;
3 容易产生交叉污染的区域或房间;
4 工艺设备发热量相差悬殊的不同房间。
9.3.3 厂房内洁净室(区)与周围环境应维持一定的压差。不同等级的洁净区之间的静压差不应小于5Pa;洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa;洁净室(区)与室外的静压差不应小于10Pa。
9.3.4 生产区空调、净化房间的新鲜空气量应取下列两项中的最大值:
1 补偿室内排风量和保持室内正压值所需新鲜空气量之和;
2 供给洁净室(区)内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3;供给非洁净室(区)内每人每小时的新鲜空气量不小于30m3。
9.3.5 空调系统的送风、回风和排风系统的启闭连锁、控制要求,应符合现行国家标准《电子工业洁净厂房设计规范》GB 50472的有关规定。
9.3.6 满足空气洁净度等级的洁净室送风量(静态)和气流流型宜按表9.3.6计算。
表9.3.6 洁净室送风量(静态)和气流流型
注:1 换气次数适用于层高小于4.0m的洁净室。
2 室内人员少、热源少时,宜采用下限值。
9.3.7 单向流和混合流洁净室的噪声级(空态)不应大于65dB(A),非单向流洁净室的噪声级(窄态)不应大于60dB(A)。
9.3.8 洁净室的送风方式可分为集中送风、风机过滤机组送风等。
9.3.9 电镀、沉铜、棕化、表面处理、蚀刻、清洗、烤板等工序宜设置岗位送风系统,岗位送风系统宜经过过滤、冷却、加热等处理,送风温度宜保持在16℃~28℃。
9.3.10 空气过滤器的选用、布置应符合下列要求:
1 空气净化处理系统应根据空气洁净度等级合理选用空气过滤器;
2 空气过滤器处理风量不应大于额定风量;
3 中效和高中效空气过滤器宜集中设置在空调系统的正压段;
4 亚高效和高效过滤器宜设置在净化空调系统的末端;
5 同一净化空调系统中末端空气过滤器的阻力、效率、使用风量与额定风量之比值应相近。
9.3.11 风机过滤器机组的设置应符合下列要求:
1 应根据空气洁净度等级和送风量选用;
2 送风量应能调节;
3 应便于安装、维修及过滤器更换。
9.3.12 干冷却盘管的设置应符合下列要求:
1 迎面风速不宜超过2.5m/s;
2 空气侧阻力不应大于40Pa;
3 布置在同一洁净室(区)内的干冷却盘管,在工作条件下空气侧阻力相差不应大于10%;
4 冷冻水的供水温度应高于洁净室(区)内的露点温度;
5 应设置排水系统。
9.3.13 净化空调系统的新风吸入管应设置密闭装置,并应与风机连锁。
9.3.14 空调系统采用电加热器时,电加热器与风机应联锁控制,并应设置无风、超温断电保护装置。当采用电加湿器时,应设置无水、无风断电保护装置。寒冷地区,新风系统应设置防冻保护措施。