12.【2 : ,高纯:。气体、特种》气体:。供应设施安》装
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12】.2.1、1—2.2.《2 由《于这类管道输送的气!体,。介质大部分对—气体中的杂》质含量都有》严格要求所以条文】规定在试运》转阶段?应进行纯度试验【此项试验常》常是在?投入运?行前进行
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Ⅰ 】主控项目
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12.2【.3 本条—对高纯?气体、特种气体供】应设施安装前应【。具备的条《件作出了规》定,其中强调检查设备、!阀门和管件》的完整性《、密封性这是十【分重要的环节检查中!。一旦发现异》常应:与供:应商进行《协商必要时应进行】相应试验验收—
1【2.2.4 在洁!净厂:房内进行这些设备的!运输、就《位时为了保持洁【净室(区)的环【境、:减少污染应》。按具体工程项—目的洁净施》工程序要求》、搬入口要求等进行!运输、就位;由于】这,些,设备通?。常是:接管、接线较多为避!免返工?和正确进行接管、】接线搬送、就位前应!认真熟悉设备图纸、!。文件等防止》差错的?发生;这些设备【交货前一《般进行了规定的【试验和?填装纯化材料因此】就位后不得》进行气体接管应在管!道系统按规定—试,验合格后才能接管
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:12.2.5— 本?条对阀门箱、—吹扫盘的安装和管路!连接的质量验收主】控项目内容作出了】规定:。
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《。12.2.6 】高纯气体《、特种气体》设施的纯度试验【是此类设《施,安装:施工质量验收的最重!要的环?节是:确保此类《设施正常《、,稳定:、安全?运行的保障条件【本条对纯度试验的介!质、压力、取样口、!取,。样时:。间和合格标准等【作出了规定》此项试验工》作可能时间较—长一般应连续进行并!应,认,真做好记录
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12》。.2.?7 ?本条是对管路系统】的试验方法、压力、!介质:和合格标准等的规】定其中对《泄漏量试《验气体作了三种可】能的选择即干燥压缩!空气、纯氮、氦气据!。了解:这是国内外高纯气】、特种气《体管路施工安—装中的实际》。情况:。。因为高纯《气、特种气种类【很多物理、化学【性质各不相同—。所以:应根据气体特性【分别:进,行选择如可燃性气】体应选用纯》氮或氦气但由—于国内?氦,气价格较贵所以采】用纯氮?的较多;《但氦气检《漏,效果最好若》有条件且管路—系,统不大?管,径较小时采用氦【气也:是一种很好的选【择泄:漏率:的计算见本规—。范第7.8》.4条的《条文说明
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Ⅱ 一般项】目
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1:2.2.8 — 本条对管路—吹扫:方法、介质和吹【扫,合格标?准的质?量验收要求作出了规!定
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