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1《2.2 高纯气】。体、特种气体供应设!施安装
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12.2】.1:、12?.2.2《 :由于这类管道—输送的气《体,。介质大部分对气【体中的杂质含量【都有严格要求所【以条文规定》在试运转《阶段应进《行纯度试验此项试验!常常是在投》入运行前进行
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Ⅰ 主控项—目
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1:2.2.《3 : 本:条对高纯气体、【特种气体供应—。设施安?装前应?具备的条件作—。出了规定其中强调】检,查设备、阀门和管件!的完:整性、密封性—这是十分重》要的环节《。检查中?一旦发现异常—应,与供应?商进行协商》。必要时应进行—相应试验《验收:
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12.2.!4 在《洁净厂房内进—行这:些设备的《。运输、就位时为了保!。持洁净?室(区)的环境【、减少污《。染应按?具体工?程,项目的洁净》施工程序要》求、:。搬入:口,要求等进行》运输、就位》;由于这些》设备:通常:是,接,管、接线较多—为避:。免返:工和正确进行接【管,、接线搬《送,、就位前《应认真熟悉设—备图纸、文件等【防止差错的发生;】这些设?备交货前一般—进,行了规定的试验【和填装纯化材—料因此?就位:后不得进行气体接】管应:。在管道系《统按规?定试验?合格后才能接管
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?12.2.5 】。本条对阀门箱、吹扫!盘的:安装和管路连接的质!量验收主控项目【内容作?出,了规定
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:12:.2.6 高纯】气体、特种气体设施!。的纯度试验是此类设!施安装施《工质:量验收的最重要的环!节是确保《此类设施《正常、稳定、安【全运行的保障条件本!条对纯度试验的介质!、压力、取样口、取!样时:间和合格标准等作出!了规定此项试—验工作可能时间【较长一般应连—续进行并应认真做好!记录
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12.2.7 !本,条是:对管路?系统的试验方—法、压力、》介质和合格标准等的!规定其中对》泄漏:。。量试验气《。体作了三种可能的选!择即干燥压缩空气、!纯氮:、氦气据了解这是国!内外高纯《气、特种气体管路】施,。工安装中的实—际情况因为高纯气】、,。。特种:气种类很多物—理、化学性质各不】相同所以应根据【气体特?。性分:别进行选《择如:可燃性气体应—选用纯氮或氦—气但由于国内—氦气价?格较贵所以采用纯氮!的较:多;但?氦,气检漏效《果最好若有条件【且管路系统》不大管径较小时采用!氦气也是一种很好的!选择泄?漏率的计算见—本规范第7.—8.4?条的条文说明
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Ⅱ【 一般项目
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,12:.2.8 —本条对?管路:吹扫方法、介—质和吹扫合》格标准的质量—。验,收要求作出》了规定
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