附录C【 测?试方法
《
】
,C.:1 空《气洁净度等级测试】
?
C—.1.1《 空气洁净—度等级的《测,试宜采用粒子计数】器采样量应大—于1L/mi—n测试粒径大于【或,等于0?.5μm粒子—时宜采用光散射【粒子计数器;测试粒!径,大,于或等于0.—1μ:m的粒子时宜—采用大流量激光粒子!计数器采样》量,。应为28.3—L/:min?;测试粒径小于【。0.1μ《m的超?微粒子?时宜采用凝聚核【激光:粒子计数器》。
C.1!.2 ? 采样?点的:确定应符合下—列规定
》
?
》1 最少采样点】应按下式计算—
:。
《
?
【式中NL最》。少采样点四舍五入】取整数;
】
【 》A洁净室《(区)的面积在水平!单,向流时指与气流【。方向垂直的》流,动空气?的截面积以m2【计
—
《 ,2 采样点应均匀!分,布于洁净室(区【)的:面积内并应位于工作!。区高度
《
:
C.1—.,3 每次采样的最!。少采:样量应?符合下列规定
【
【 1 每个采】样点的?每次采样量(VS)!应按下?式计算
】
《
》 式中《Cn:m被测洁《净室(区)》。空,气,洁,。净度等级被测粒【径的允许限值(个】/m3)《;,
! :。 20【在规定被《测粒径粒子》的空气洁净度限值时!可检测?到的粒子数
!。
》 2 每个采【样点的采样量应至】少为2L《采样时间应》最少为1《min当洁净—。室(区?)仅有1《个采样点时在—该点应?。至少采样《3次当V《S很大时《。采样时间《。较长宜采用顺序采样!法
?
?
C.1.4 】对于单向流》洁净室采样口应对】着气流方向对—于非:单,向流洁净室采样口宜!向上:采样速度宜》接,近室内气《流速:度
C.!1.5 室内【测,试人员应穿洁净【服不得超过3—人测试人员应—位于测试《点下风侧并远离【测试点并应》保持静止进行换点操!作时动作应》轻应减少人》员对:室内洁净度的—干扰
?。
》C.1.《6 ?。每个采样次数为【2,次或2次以上的采】样点应?按下式计算平—均粒子浓度
】
,
》
,。
式中X!i采样点《i的平均粒子浓度i!可代表任何位置;】
《
【 : : Xi1至Xin】每次采?样的粒子《浓度;
》
】 n在采!样点i的采样次数
!
:
C《.1.7 —采样点为1个时应】按本规范式(C.】1.6)计算该【。点平均粒子浓度采】样点为1《0个或1《0个以上时应按本】规范式(C.1.6!)计算各点的平均】浓,度后再按下式计【算洁净室《(区)总平均值
!
—
《。。 式中—X各采样《点,平均值的总》平均值;
】
? — Xi1至Xi!m按式(C》.,1.:6)计算的各个采样!点的平?均值即?洁净室(《区)总平均》值;
—
: ? m】采样点的总数—
》
C.?1.8 置—信上限(UCL)】的计算?。。应符合下列规定
】
》 1 当】采样点?只有1个或多于9个!时不计算95%置】信上限
—。
》 :。2 采《样点为1《个以上10个以下】时除应根据本规范】式(C?.1.7)》计算各采样点的平均!值和总平均》值外还应按下式计】算总:平均值的标准偏差
!
:
?。
,
《
,。 3》 应按下式计【算总平均《值的:95%置信》上,。限
?
!。
《 式中t分布—系数应按《。表C.?1.:8取值
!表C.1《.8 95%置【信上限(UC—。。L)的t分布系数】
】
:
4 】 每个采样点测得粒!子浓:度的平均值》X1:以及洁净室总平【均值95《%置信上限》均未超过空气洁净度!等级的浓度限值时可!认为该洁《净室(区)》已,达到规定的空气洁】净度等级
【
测】。试结果未能满—足规定的空气洁净度!等,级,时宜增加均匀分【布的新采样点进行】测试应对包括新增】采,样,点数据在内的所【有数据重新计算【其结果可《。作为最终《检验结果
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