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附录C 】测试:方法
《
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C.1】 空气洁净度等级!测试
】
C.1》.,1, :。空气洁净度等—级的测?试宜采用粒子计数器!采样:量应大于《1L/m《in测试粒径大【于或等于0.5μm!粒子:时宜采用光散—射粒子计《。数器;?测试粒径大于—或等:于0.?1μm的粒子时宜】采用大流量》激光粒子计数器采样!量应为?。28.3L/m【i,n;测?试粒:径小于0.1—。μm的超《微粒子?时宜采用凝聚核激】光粒子计数器—
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C.1】.2 《采样点的确》定应符合下列规定】
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《。 1 —最少采样《。点应按下式计—算
—
! , 式中NL最少【采,样点四舍五入取【整数;
》
【 》 , A洁净室(区)】。的面积在水平单向流!时指:与气流方向垂—直的流动空气的截面!积以m2计
【
《 : 2 》采样点?应均匀分布于洁净室!(区:)的:面积内并应位于工作!区,高度
?
C.1.!3 每《次采样的最》少采样?量应符合下列规定
!
!。1 每个》采样点?。的每次采样量(VS!)应按下式计算
】
【
【 ,。。。式中Cn《m被测洁净室—(区)空气洁—净度等级被测粒【径的允许《限值(?个,/,m3);
》
?
— —20在规定被测粒径!粒子的空气洁净度】。限值时?可检测到的粒—子数:。
【 2 每个采!。样点的采样量应至】少为2L采样—时间应?最少为1min当洁!净室(区)仅有1】个采样点时在—该点应至少》采样3次当VS【很,大时采样时间较长宜!采用:顺,序采样法
》
》C.1.4 【对于:单向流洁净室采样口!应对:着气:流方向对于非单【向流洁净《室采样口宜向上【采样速度宜接近室内!气流速度
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C.1.5 】 室内?测,试人员应穿洁净服】不得超过3人测试人!员应:位,于测试?点下风侧并远离【测试点并应保持静止!进行换点《操作时动作》应轻应减《少人员对室》内洁净度的干—扰
【C.:1.6 每个【采样次数《为2次或2次以【上的:采样点应《按下式计算平—均粒子浓《度
?
】
》 ,式中Xi采样—点,i的平均粒子浓【度i可代表任—何位置;
】
【 Xi【1,至Xin每次—采样:的粒子浓度;
!
!。 , n在采样【点i的采样次数【
C【.1.?7 采样点为【1个时应按本—规,范式(C.1—.6)计算》该,点平:均粒子?浓度采样点为10】个或1?0个以上时应按【本规范式(C.【1.6)计》算,各点的平均浓度【后再按下式计算洁净!室(区)总平—均值
—
,
【 式中X【各采样点平均值【的总平均值;
【
《。
! Xi1至X【im按式《(C.1.6—),计算的各个采—样点的平均值即洁】净室(区)总—平均值;
!
, 】 m采样点的总数!
C.1!.8 置》信上限(U》CL)的《计算应符《合下列规定
!
? 1《 当采样点只有】1个或多于9—个时不计算95【%置:信,上限
》
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—。2 采样点—为1个以上10个以!下时除应根据本规】范式(C.1—.7)计算各—采样点的平》均值和总《平均值外还应按【下式计算总平—均值的标准偏差【
【
】 ,3 应按》下式计算总平均值的!95%置信上限
】。
—。
》 ? 式:中t分布系数应按】表C.1《。.8:取值:
表C.!1.:8 95%》置信上限(》UCL)《的t:分布系数
—
?
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! 4: 每?。个,采样点测得粒子【浓度的平均值X【1,以及洁净室总—平均值95》%置信上限均未【超,过空气洁净度等【级的浓?。度限值时可认为该洁!净,。室(区)已达—到规定?。的空气洁《净度等级
—
?
: 测《试结果未能》满,足,规定:的空气洁净度—等级时宜增》加均:匀分布的新采样点】进行测试应对包括】新增采样点数据【在内:的所有数据重新计算!其结果可《作为最终检验—结果
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