。
附》录C 测试方法】
【
C.》1 空气洁净度等!级,测试
!。
C.?1.:。。1 空《气洁净度等级的【。测试宜采《用粒子计数器采样量!应大:于,。1L/?m,in测试《粒径大于或等于0】.5:μm粒?子时宜采用》光散:射粒子计数器;测】试粒径大于》或等于0.1μm】的粒子时宜采用大流!量激光粒子计数【器采:样量应为28.3】L/:mi:n;测试粒》径小于0《.1μm的超微【粒,。子时宜采用凝聚核】激光粒子计数—器
—
C.1.2 】采样点的确定应符】合下列规定
】
1】 最少采样点应按!下式计?算
】
》 ? 式中NL最少【采样点四《舍五入取《整数;
! : 》 A洁净—室(区)的面积【在水:平单向流时指与【气流方?向,垂直:的流:动空气的截面积以】m2计
【
: 《2 采样点应均】匀分布?于洁净室(区)的】面积:内并:应位于工作区高【度,
《
C.1》.3 每次—采样的?最少采样量应符合】下,。列规定?
《
》 1 《每个采样点的每次】采样量?(V:S)应按下式计算】
,
《
【。 : 式中C》nm被测洁净—室(区)空》。。气洁净度等级被【测粒径的允许限值】。(,个/m3《);
《
,
— 【20在规定被测粒】。径粒子的空气洁净度!限值时?可检测?到的粒子数
—
?
2 】 每个采样点的【采样量应至少—为2L采《样时间应最少为1m!in当洁净室(区】)仅:有1个采样点时在该!点,应至少采《样3次当V》S,很大时采《样时间较长宜—采用顺序采样法
】
C.1.!4 对于单—向流洁?净,室采样?口应对着气流方向对!于,。。非单向?流,洁净室采样》口宜向上《采样速度宜接近【室内:。气流速?度
《
C.1.5 ! 室内测试人员【应穿洁净服不得超】过3人测试人员应位!于测试点下风—。侧并远离测试点并】应保持静止进—。行换点操作时动作应!轻应减少人员对室内!洁净度的干扰
!
C.1.6 ! 每:个,采样次数为2次或2!次,以上:。的采:样点:应按下式《计算平均粒子—浓度
【
》
,
式中X】i采样?点i的平均粒子【浓度:i可代表任何位置;!
《
,
— 》Xi1至Xin每次!采样的粒子浓度;
!。。
:
? — n在采样】点,。i,的采样?次数
】C.1.《7 采《样点为1个时—。应按本规范式(C.!1,.,6)计算该》。点,平均粒?子浓度采《样点:为10个或》10个以上时应按本!规范式(C.1.】。6)计算各》点的平均浓度后【再按下?式计算洁净室—(区:。。),总平均值
】
】 式中—X各采样点》平均值的《总平均值;
【
《 】 Xi1至Xim!按式(C.1.6】)计:算的各个采》样点的平均值即洁】净室(区《。)总平均《。值;
】 】 m采样点的【总数
》。
C.1.8】 置信上限(【UCL)的计算应符!。合下列规《定
《
1 ! 当:采样:点只有1《个或多于9》个时不计算95%】置,信上:限
》
2 !采样点为1个—以上1?0个以下时除应根据!本规范式(C—.1:.7)计算各—采样点的平均—值和总?平,。均值外还应按—下式计算总平均值】的标准偏差
—
?
,
?
》 3 应按】。下式计算总平均值的!95%置信》上限
?
:
! 式中t分】布系数应按表C【.1.8取值—
表【C.1.8 95%!。置信上?限(UCL)的【t分布系数
!。
:
《
4 】 每个采样点测得】粒子浓度的平均值】X,。1以及洁净室—总平均值95%置信!上限均未《超过空气洁净度【等,级的浓度限》值时可认为该洁净】室(区?)已:达到:规定:的,空气洁净度等—级
《
:
, 测试结果未!能满足规定的空气】洁净度等《。级时宜增加均匀分】布的新?采,样点进行测试—应对包括新增采样点!数据在内的所有数据!重新计算其结—果,可作为最终检—验结果
》