附录C 】 测试方《法
《
《
C.1 空!气洁净度等级—测试
】
,
,C.1.1 空气!洁净度等级的测【试宜采用粒子计【数器采样量应大【于1L/《min测试粒径大】于或:。等于0.《5μm粒子时宜【采,用光散射粒子计数】器;测?。试粒径大于》或等于?0.1μm的—粒子时宜《。采用大流《量激光粒子计数器采!样量应为28—。.3L/min;测!试粒径?小,于0.1《μm的超微粒子时】宜采用凝聚核激光】粒,子计数器
—
C.1.】2 :。。 ,采,样点的确定》。应符合下列规—定
?
— , 1 《。最少:采样点应按》下式计算《
!
,
? : 式中NL最少采】样点四舍五入—取,整数;?
【 】 A洁净《室(:区)的?面积在?水平:单向流?时,指与气?流方向垂直的—流动:。空气的截《面,积,以m2?计
?
,
? 《2 采样点—应均匀分布于洁净】室,(区)的面》。积内并应位于工作区!高度
【
C.1.3 【 每次?。采样的最少》采样量应符合下列】规定
—
? ?。1 每个采样点】的每次?采样量(VS)应按!下式计算《
】
:
式【中Cnm被》测洁:净室(?区)空气洁》净度等级被测粒径的!允许:限值(个/m3)】;
《
《 】 20在规定被测】粒,径粒子的空气洁净度!限值:时可检测到的—粒子:数
《
《 2 》 每个采样点的【采样量?应,至少为2《L采样?。时间应最少为1m】。in当洁净》。室(:区)仅有1个采样】点时在该点》应至少?采,样3次当V》S很:大时采样时间—较长宜采《用顺序采样法
【
》C.1.《4 对于》。。单向流洁净室采【样口:应对着气《流方向对于非单向】流,。洁净室采样》口宜向上采样速度宜!接近室?内气流速《度
《
C《.1.5 室内】。测试人员《应,穿洁:净服不?得超过3《人测:试人员应位于测试点!下风侧?并远离测试点并【应保持静止进行换】点操作时动作应【轻应减?少人员对室》内洁净度的干扰
!
C.1【.6 每个采样次!数为2?次或2次以上的【。采样点?应按下式计》算平均粒子浓度【
《
:
?
式中!Xi采样点i—的平均粒子浓度i可!代表:任何位置;
】
— , 《 Xi1至—Xin每次采样的粒!子浓度;
》
?
,。
【 , n《在采样点《i的采样次》。数
【C.1.《7 采样》点,为1个时《应,按本规范式(—C.1?.6)计算》该点平均《粒子浓度采样点【为10个或10【。个以上时应按本规范!式(C.1》.6)计算》。各,点的平均浓度后再按!下,式计算洁净室—(区)总平均值
!
!
式中X各!采样:点平均值的》总,平均值;
【
:
: , : Xi】1,至Xim按式—(C.1《.,6)计算的各个【采样点的平均值即】洁净室(区)总【平均值;
!
【 m采样点】的总:数
:
C.【1.8? , 置信上限》(,U,CL)?的计算应符》合下列规《定
《
1】 当采样》点只有1个或—多于9个时不计算9!5%置信上限
】。
2!。 采?样点为?1个以上《10个以下时除应根!据本规范式(C.】1.7?。)计算各《采样:点的:平均:值,和总平均值外还应】。按下式计算总—平均值的标准偏【差
《
:
! :。。3 应按下式【计算总平均值的【95%置《信上限
—
】
式中t分!布系数应《按表C.1.8【取值
表!C.1.8 —。95%置信上限【(UCL)》的t分布系数
!
【
4 】 每个采《样点测得粒子浓度】的平均值《X1以及洁净室【总平均值95%置】。信上限?均未:超过空气洁净—度等级的浓度限【值时可认为该洁净】室(区)已达到规】定的空气洁》净度等级
》。
— 测试结果未能!满足:规定的空气》洁净度等级时宜【增加均匀分》布的:新采样点进》行,。测试应对《包括:新增采样点》数,据,在内的所有》数据重新计算其【结果可作为最终检验!结果
《