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附录C 测!。试方法
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C.—1 空气洁—净度等级《测试
《
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C.1.1 【 空气洁净》度等级的测试—宜采用粒子计数【器采样?量应大于1》L/m?in测试粒径大于或!等于:0.5μm》。粒子:时宜采?。用光散射粒子计【数,器;测试粒径大【于或等于0.1【。μm的粒子》时宜采用大流量激】光,粒,子计数器采样量应为!28.3L/—m,in:;测试粒径小于0.!。1μm的超微粒【子时宜采用凝聚【核激光?粒子计数器
【
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C?.1.2 》 采样点的确定应符!。合下列规定
】
1】 最少采样点应按!。下式计算
》
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《。
】式中NL最少采样点!四舍五?入取整数;
】
】 A洁净】室(区?)的面积在水平单】向流时指与气—流方向垂直的—流动空气《的截面积以m—2,计,
:
《 2 采】样点应均《匀分布于洁净室(】区)的面积内并【应位于工《。作区高度
—
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C.1.3【 每次采样的最少!采样:量应符合下》列规定
】
1— 每个采样点【的每次采样》量(VS)应—按下:式计:算
—
:
】 式中Cnm被测洁!净室(区)空气洁净!度等级被测粒径的】允许限值(个—/m3);
【
,
? ! 20在规定—被测粒径粒》子的空气洁》净,。度限值时可》检测到的粒子数【
》
2 】每个:采,样点的采样量—。应至少为2L采样】时,间应:最少为1min当】。洁净室(区)仅【有,1个采样《点时在该点应至少】。采样3次当VS【很大时采样时—间较长宜采用—顺序采样法
!
C.1.4【 对于单》向流洁?净室采样口应对着气!。流方向对于非单向】流洁净室采样口宜】向上采?样速度宜接近室【。内气流速度
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C—.1:.5 室内测【试,人员应穿《。洁净服不得》超过3人测》试人员应位于测【。试点下风侧并远【离测试点并》应保持静止进行换】点操作时动作应【轻应减?少,人员对室《内洁净度的干扰【
》
C.1.6 【 每个采《样次数?为2次或2次—以上的采样点应按下!式计算平均粒子浓度!
《
?。
】 式:中Xi采样》点i的平《均,粒,子浓度?i可代表《任何位?置;
?
《。
: , 】Xi1至Xin每】次采样的粒子浓度;!
! 》 :n在采样点i—的采样次数
—
《
C.1.》7, 采?样,点为:1个时应按》本规范式(C.1】.,6)计算该点平均粒!子浓度采样点—为10个《或10个以上—时应按本规》范式(C.》1.6?)计算各《点的平均浓度—后再按?下式计算洁净室(区!)总平均值
】
,
?
》 《式中X?各采样点《平均值的总平均值】;
! X!i1至Xim按式(!。C.1?.6:)计算的各个采【样点的平均值即洁净!室(:区)总平均值;
】
! , m采样点!的总数
《
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《C.1?.8 置信上【限(UC《L)的?计算:应符合下列规—定
》
1 】 当采样点只有1个!或多于9个时不【计算95%置信上】限
?
:
—2 采样点为1个!以上10个以下时】除应根据本规范【式(C.1.7【)计算各采样点的平!均,。值和总平均》值,外还应按《下式计算总平均【值的标准偏》差,
》
【 : 3 应按下式!计算总?平均值的95%置信!上限
!
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— 式中t分布系】数,应按表C.》1.8?取值
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表C》.1.8《 95%《置信上限(UC【L)的t分》布系数
】
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》。 4 ? 每个采样点测【得粒子浓度的—。平均值X1》以及洁净室总平【均值95《。%,置信上限均未—超过空气洁净度等】级的浓度《限值时可《认为该?洁净室(《区):已达到规定的空气洁!净度等级
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:
—测试结果未能满足】规定的空气洁净度】等级时宜《增加均匀分》。布的新?采样点进行测试应】对包括新增》采样点数据在—内的所有数》据重新计算其结果】可作为最终检验【结果
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