安全验证
附录C 】 测试方《法 《 《 C.1  空!气洁净度等级—测试 】 , ,C.1.1  空气!洁净度等级的测【试宜采用粒子计【数器采样量应大【于1L/《min测试粒径大】于或:。等于0.《5μm粒子时宜【采,用光散射粒子计数】器;测?。试粒径大于》或等于?0.1μm的—粒子时宜《。采用大流《量激光粒子计数器采!样量应为28—。.3L/min;测!试粒径?小,于0.1《μm的超微粒子时】宜采用凝聚核激光】粒,子计数器 — C.1.】2 :。。 ,采,样点的确定》。应符合下列规—定 ?   — , 1  《。最少:采样点应按》下式计算《 ! ,  ?  : 式中NL最少采】样点四舍五入—取,整数;?  【        】 A洁净《室(:区)的?面积在?水平:单向流?时,指与气?流方向垂直的—流动:。空气的截《面,积,以m2?计 ? , ?    《2  采样点—应均匀分布于洁净】室,(区)的面》。积内并应位于工作区!高度 【 C.1.3 【 每次?。采样的最少》采样量应符合下列】规定 —  ?   ?。1  每个采样点】的每次?采样量(VS)应按!下式计算《 】 :     式【中Cnm被》测洁:净室(?区)空气洁》净度等级被测粒径的!允许:限值(个/m3)】; 《  《        】 20在规定被测】粒,径粒子的空气洁净度!限值:时可检测到的—粒子:数 《  《   2 》 每个采样点的【采样量?应,至少为2《L采样?。时间应最少为1m】。in当洁净》。室(:区)仅有1个采样】点时在该点》应至少?采,样3次当V》S很:大时采样时间—较长宜采《用顺序采样法 【 》C.1.《4  对于》。。单向流洁净室采【样口:应对着气《流方向对于非单向】流,。洁净室采样》口宜向上采样速度宜!接近室?内气流速《度 《 C《.1.5  室内】。测试人员《应,穿洁:净服不?得超过3《人测:试人员应位于测试点!下风侧?并远离测试点并【应保持静止进行换】点操作时动作应【轻应减?少人员对室》内洁净度的干扰 ! C.1【.6  每个采样次!数为2?次或2次以上的【。采样点?应按下式计》算平均粒子浓度【 《 : ?     式中!Xi采样点i—的平均粒子浓度i可!代表:任何位置; 】    — ,    《  Xi1至—Xin每次采样的粒!子浓度; 》 ? ,。       【 ,   n《在采样点《i的采样次》。数 【C.1.《7  采样》点,为1个时《应,按本规范式(—C.1?.6)计算》该点平均《粒子浓度采样点【为10个或10【。个以上时应按本规范!式(C.1》.6)计算》。各,点的平均浓度后再按!下,式计算洁净室—(区)总平均值 ! !     式中X各!采样:点平均值的》总,平均值; 【 :  : ,  :      Xi】1,至Xim按式—(C.1《.,6)计算的各个【采样点的平均值即】洁净室(区)总【平均值; !       【    m采样点】的总:数 : C.【1.8? , 置信上限》(,U,CL)?的计算应符》合下列规《定 《     1】  当采样》点只有1个或—多于9个时不计算9!5%置信上限 】。     2!。  采?样点为?1个以上《10个以下时除应根!据本规范式(C.】1.7?。)计算各《采样:点的:平均:值,和总平均值外还应】。按下式计算总—平均值的标准偏【差 《 :   !  :。。3  应按下式【计算总平均值的【95%置《信上限 — 】     式中t分!布系数应《按表C.1.8【取值 表!C.1.8 —。95%置信上限【(UCL)》的t分布系数 ! 【     4 】 每个采《样点测得粒子浓度】的平均值《X1以及洁净室【总平均值95%置】。信上限?均未:超过空气洁净—度等级的浓度限【值时可认为该洁净】室(区)已达到规】定的空气洁》净度等级 》。  —   测试结果未能!满足:规定的空气》洁净度等级时宜【增加均匀分》布的:新采样点进》行,。测试应对《包括:新增采样点》数,据,在内的所有》数据重新计算其【结果可作为最终检验!结果 《