附录C【 , 测试方《法
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,
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C.1《 空气洁净度【等级测试
》
:
《
,C.1.1 【空气洁?净度等级的测试宜】采用粒子计》数器采样《量应大于1L/mi!n测试粒径大于【或等于0《.5μ?m粒子时宜采用光散!射粒子计数器;【测试粒径大》。于或等于0.1μ】m的粒子时宜采用】大,流,量激:光粒子计数器采样量!应为28.3L/】min;《测,试粒径小《于0.1μm的【。超,微粒子时宜采用【凝聚核激光粒子计数!器
【C.:1.2 采样点的!确定应符合下—列规定
—
,
》 1 最》少采样点应按下【式计算
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【
,
? 式?中,NL最少采样点【四舍五入《取整数;
】
? : 【A洁净?室(区)的面—积在:水平:单向流时指与—气流方向垂直的【流动空气的截—面积以m2计
】
,
《 ?2, 采样点应均【匀分布于洁净室【(,。。区)的面积内并应】位于工作区高度
】
?
C?.1.?3 每《次采样的最》少采样量应符合【下列规定
》
,
1! 每个采样—点的每?次,采样量(VS)【应按下式《计算:
?
—
— 式中?Cnm被测洁净室(!区)空气《洁净度等级被测粒】径的允许限值—(个/m3)—;,
?。
》 》 20在规定被!测粒径粒子的空【气洁净?度限值时可检测到的!粒子数
》
】2 每《。个,采样点的采样量【应至少为2》。L采样时间》应最少为1m—in:当洁净室(区)【仅有:1个采样点时—在该点应至少—采样3次当》VS很大《时采样时间》较长宜采《用顺序采样法—
C.1!.4 《对于单向《流洁净室采样—口应对着气流方【向对于?非单:向流洁净室采样【。口宜向上采样—。速度宜接近室内气流!。速,度
:
》C.1.5 【室内测?试人员应《穿洁净服不得超过】3人测试人员应位】于测试点下风侧并】远离测试点并应保】持静:止进行换《点操作时动作应轻】应减少人员对室内洁!净度的干扰
【
?
C.1.6 每!个,采样次数《为2:次或2次以上—。。的采样点《应按下式计算平【均粒:子浓度
】
》
式【。中Xi采样点i的平!均粒子浓度i—可代表?任何位置;
【。
《。 【 ,。 Xi1》至Xin每次采样】。的粒子浓度;—
:
:
! n《在采样点i》的采样?。次数
《
C》.1.7 —采样点为《1,个,时,应按本规范式(C.!。1.6)计算—该点平?均,粒子浓度采样点【为10个或10个以!上时应按本》。。规范式(C.1.】6):计算:各点:。的平均?浓度后再按下—式计算洁净室(【。区)总平《均,值
》
:
《。
?。 式《。中X各采样点—平均值?的总平均值;
!
:
! Xi1至X【。im按?式(:C.1.6)计【算的:各个采样点的平【均值即洁净室—(,区)总平均值;
】
》 :。 【 m采样《点,的总数
!C.1.8 —。 置信上限(U【CL)的计算应符合!下列规定《
】 :1 ?当采样点只有1【个或多于9个时【不计算9《5%置信《上限
?
【 2 采样点】。为1个?以上10《。。个以下时《。除应根据本规范式】(C.1.7)【计算各采《样点的?平均值?和总平均值外还应】按下式计算总平均】值的:标准偏?。差
】
— 3 应【按下式计算总平均值!的95%《置信上限
!
?
:
,
式中t分!布系数应按表C.1!.8取值
》
:
,
表C.1.8】 ,95%置信上限【(,UCL)的t分【布系数?
?
,
》
》 :。4 每个》采,样点测得《粒子浓度《的平均值《X1以及《洁净室总《平均值?95%置信上—限均未超过空—气洁净度等级的浓度!限值时可认为该洁净!室(区)已达—到规定的《空,气洁净度等级
】
】测试结果未》能,满足规?定的空气《洁净:度等级时宜》增加:均,匀分布的新采样【点进行测试》应对包括新增采样点!数据在内的所—有数据重新计—算,其,结果可作为最—终检验结《果
?