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附录C【。 测试方》法
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C.1 空气!洁净度等级测试
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C.】1.1?。 空气洁》。净度等?级的测试《宜采用粒《子计数器采样量应大!于1L/min测试!粒径大于或等—于0:.5μm《粒子时宜采用—光散射?粒,子计数器;测试粒径!大于或等《于0:.1μm的粒子时】宜,采用大流量激光【粒,。子计数器采样—量应为28.3L】/min;测试粒】径小于0.1μ【m的超?微粒子时宜》采用凝聚核激光粒子!计数:器
C】.,1.2 采样【点的确定应》符合下列规定
!。
《 : 1 《最少:采样点应按下式【计算
!
!式中:NL最少采样点四】舍五:入取整数;
【
—。。 【 ,A洁净室(区)【。的,。面积在水平单向流】时指:与气流方《向垂直的流动空【。气的截?。面积以m《2计
《
:
2 】 采样点应均匀【分,布于洁净室(区)】。。的面积内《并应位于工作区高】。度
:
,
《C.1.3 每次!采样的最少》。采样量应符合下【列规定
》
】1 每个》采样点的每次采【样量(?VS)应按下—式计算?
!
,
: 式中C【nm被测洁净室【(区:)空气?洁净度等级被测粒径!的允许限《值(个/m3);】
— ? 20!在规定被测》粒,。径粒子的空气洁【净度限值时可—检测到的粒子数
】
!2 每个采样点的!采样量应至少为2】L采样?时间:应最少为1min当!洁净室(区)—仅有1?个采样点时在该点】应,至少采样3次当VS!很大时采样时间【较长宜采用顺序采】样法:
《
,
C.1.4 【 对于单向流洁净】室采:样口应对着气—流方向对于非—单向流洁净室采【样口:宜向上采样速—度宜接近室内—气流:速度:
,
:
?C.1.5 【室内测试人员应【。穿洁净服不》得超过3人测—试人员应《。位于测试点下风侧】并远离测试点并应保!持静止进行换点操】作,时动作应轻应减少】人员对室《内洁净度的干扰
】
》C,.1.6 每【个,采样次数为》2次或2《次以上的《采样:点应按下《式计算平均粒子浓度!
,
:
—
:
式中【。Xi采样点i—的平均粒《子,浓度i可代》表任何?位,置;
—
? 》 Xi1至X!。in每次采样的粒】子浓度;
】
《 》 n在采样点】i的:采样次数《。
》
C.1.》。7 采样点—为1个时应按本规】范式(C.1.6】)计算该点》平均粒?。子浓度?采样点为《10个或10个以】上时应按本规范式】。(C.1.6)计算!各,点的平均浓度—后再按下式计算【洁净室(区)总平】均值
《
《
《
《 式中X各—采样点平均》值的总?平均值;
》
?
! X《i1至?Xim按式(C.1!.,6,),计算的各《个采样点的》平均值即洁净室(】区)总?平均值;
【
】 m采【样点的总数
—。。。
,
C.1.】8 置信上限(U!CL)?的计算应符合下列规!。定
《。
》 , ,1 当《。采样点只《有1:个,或多于?9个时不计算—95%置信上限
!
》 2 采【样点为1个以—上10个以下时除】应根据本《规范式(C》.1.7)计算【各采样点《的,平均值和总》平均值外还应按【下式计算总平均值】的标准?偏差
》
《
,
【 3 《应按下式计》算总平均《值的:95%置信》。上限
—。
?
,
【 式中t分布系数】应按表C《.1.8取值
【
?。。
表C.》1.8? 95%置》信上限(UCL)的!t分布系数》
】
,
— 4: 每个《采样点测得粒子浓】度的:平均值X1以及【洁净室总平均值9】5%置信上》限均:未超过空气》洁净度等级的浓【度限值时可认为该】洁,净室(区)已—达到规定的空气洁净!度等级
—。
测】。试结果?。未能满足规》定的空气洁净度【等级时宜增加均匀】分布的?新采样点进行测试】应对:。包,括新增采样点—数据在内的所有数】据重新计算其结果】可作为最终检验【结果
?
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