附录C !。测试方法
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C.《1,。 空?气,洁净度等级测试
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,
C?.1.1 》 空气洁净》度等级的《测试宜采用粒子计数!器,。采,样量应大于1—L/mi《n测:试粒径大于或—等于:0.5?μm粒子时宜采用光!散射粒子计数—。器;测试粒》。径大于或等于0【.1μ?m的粒子时宜采【。用,。大流量激光粒子计】数器:采,样量:应为28.》。3L/m《in;测试》粒径小?于0.?1μm的超微—粒子时宜《采用凝聚核激光粒子!计数器
—
,
C.1.2 】。 采:样点的确定应—符合下列规定—
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,。
: 《1 : 最少采样点—应按下式计算
】
》
】 式中NL》最少采样《点四舍五《入取整?数,;
】 】 A洁净室(区)的!面,积在水?平单向流时指与【气,流方向垂直的流动空!。气的截?面,积,以m2计
!
2 采!样点应均匀分布于洁!净室:(区)的《面积内并《应位于工《作区高度
—
C.1【.,3 每次采样的】最少采样量应符【合下:列规定
《
— 1 每个采!样点的每次》采样量(VS)【应,。按下式计算》
《
:
! ,。式中:Cnm被测洁净室(!区):空,。气洁净度等级被测】粒径:的,允许限值(个—/m3);
!
— 》 ,。。20在规定被测【粒径粒子《的空气洁净度限【值时可检测到的粒子!数,
! 2 每个采样点!的,采,样量应?至少为?2,L,采样时间应》最少为1《min当洁净—室(区)仅有1个采!样,点时在?该,点应至少采》样3次?当VS很大》时,采样时间较长宜采用!顺序采样法》。
C【.1.4 —对于:单向流洁净室采样口!应对着气流方—。向对于非单向流洁净!室采样口宜向上采】。样速度宜接》近室内气流速度
!。
,
?C.1.5 【室,内测试人员应穿【洁净服不得超—过3人测试人—员,应位于测试点—下风:侧并远?离测试点并应保【持静止进《行换点操作时动【作应轻应减少人员】对室内洁净》度的干?扰
C】.1.6 》 每个采样次数为2!次或2次以》上的采样点应按下】式计:算平均粒《子浓度
】
?
【 ,式,中Xi采样点i【的平均?。。粒,子浓:度i可代表任何位】置;
【
: 【 Xi《1至:Xin每《次采样的《粒子浓度《;
?
》 》 n在采样点!i的:采样次数《
《
:。C.1.7 采样!点为1个《时应按?本,规范式?(C:.1.?6)计算该点平均粒!子浓度采样》点为10个或10个!以上时应按本规范】式(C.1.6)】计算:各点的平均浓—度后:再按下式《。计算洁净室(区【),。。总平均值
—
,
《
【。 :式中X各采样点平】均值的总平均值;】
】 — X?i,。。1至Xim按式【(C.1.6)计算!的各个采样点的【平均值?即洁净室(区)总平!均值;?
》
【 《m采样点的总—数
—
,C.1.8 置信!上限(?UCL)《的,计算应符合下—列规:定,
! 1: :当采样点只有1个或!多于9?个时:。不计算95》%,置信上限
【
:
》2 采样点为【1,个以上10》个以下时除》应根据本规》范式(?C.1.《7):计算各采样点的【平均值和总》平均值外还应按下式!计算总平均值的【标准偏差
【
,
! ?3 应《按下式?计算总平均值的【。。。9,5%置信上限
】
《。
?。
式中!t分布系数应按【表C.?。1.:8,取值
表!C.1.8 95%!置信上?限(UCL)的【t分布系数
】
】
:。 4《 每?个采:样点测得《粒,子浓:度的平?均值X1以及—。洁净室总平均值【95%置信上限均未!超过:空气洁净《度等级的浓度—。限值时可认为该【。洁净室(区》)已达到规定的空气!洁净度?等级:
! 测:试结果未能满足规定!的空气洁净》度等级时宜增—加均:匀分布的新采样点进!。行测试应对包括【新增采样点》数据在内的所有数据!重新计算其结果【可作为最终检验结果!
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