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附:录C 测试方法】
】
C.1》 , 空气?。洁净度等《。级测试
》
》
C.1《.1 空气—洁净度等级》的测试宜《采用粒子计数—器采样量《应,大于1L/m—in测试粒》径大于或等于0.5!μm粒子时宜采【用光散?射粒子计数器;测试!粒径大于或等—于0.1μm的粒】子时宜采《用大流量激》光,粒子计数器采—样量应为《28.3《L/min;测试】。粒径小于0.1μm!。的超:微粒子时宜采用凝】聚核激光粒》。子计数器《
》
C.1《.2 采样点的】确定应符合下列规定!
! 1 《最少采样点应按下】式计:算
:
,
】
: , ?式中NL最》少采样点四》舍五入取整数;
】
】 ? A洁净室】(区)的面》积在水?平单向?流,时,指与气流方》向垂直的流动—空气的截面积—以m2计《
?
— 2 采样—点应均匀分布—。于洁净室《(区)?的面积内《。并应位于工作区【高度
《
C.—1.:3 每次采样的】最少采样量》应符合下列》规,定
—
1— 每个《采样点的每》次采样?。量(:VS:)应按下式计算
!
:。
【
式中【Cnm?被测洁净室(区【)空:气洁净度等级被测】粒径的允许限值(个!/m3);》
:
— , 20!在规:。定被测粒径粒子的】。空气洁净度限值时可!检,测到的?粒子数
《
】 2 每个—采样点的采样量应至!少为2L采样时间应!。最,少为1min当洁净!室(区)仅有1个采!样点时在该》点应至少《采样3?。次当:VS:很大时采样时间【较长:宜采用顺《序采样法
—
《C.1?.4 对于单向流!。洁净室?采样口应《对着气流方》向对于非单向流【洁净:室采样口《宜向上采样》速度宜接近室内气流!速度:。
—C.1.5 【室内:。测试人员应穿洁净】服不得?超过3人测试人【。员应位于测试点下风!侧并远离测试点并应!保持静止进行换点操!作时动作应轻应减】少人:。员对室内洁净—度的干扰
!
C.?1.6 》每个采样次》数为:2次或2次以上【的采样点应按下式计!算平均粒子》浓度
】
?
《 ?式中:Xi采样点i的平】均粒子浓度》i可代表《任何位置;
—
,
?
《 《。 Xi1—至Xin《。每次采样的粒子浓】度;
?
《
!。 n在采》样点:i的采样次》。数
?。
C.1.7! 采?。样点:为1个时应按本【规范:式(C.《1.6)计算该【点平均?粒子浓度采样点为1!0个或1《0个:以上时应《按本规范式》(C.?1.6)计算—各点的平均浓度后再!按下式计算》洁,净室(区)总平均值!
【
,
《 ? 式中?X各采样点》平均值的总》平均值;
【
【 : Xi1至】Xi:m按式(C》.1.6《)计算的《各个:。。采样点的平均值【即洁:净室(区)总—平均值;
】
,
, 《 , m采样点!的总数
《
C.【1.8 置信上】限(:UCL)的计算应符!合下列规定
】
? ? 1 当采样点】只有1个或多于9】个时不计算9—5%置信上限
!
,
—2 采样点—为1个以上10个以!。下,时除:应根据本规范—式(C.1.7)计!。。算各采样点》的平均值和总平均】值外还应按下式计】算总平均值的标准偏!差
?
】。
? 3 应按下!式,计算总平均》值,。的95%置信上限
!
!
式中】t分布系《数应:按,表C.1.8—取值
《
《表,C.1.8》 95%置》信上限(UCL)的!t分布系数
!。
! , 4 》每个采样点测得粒子!浓度的?平均值X1以—及洁:净室总平《均,值95%置信上限均!未超过空气洁净度等!级的浓度《限值时可认为该【洁净室(《区)已达到规—定的空气洁净度【等级
》
》 测试结》。。果未:能满足规定的空气】洁净度等《级时宜增加均匀分】布的新?采样点进行测—试,应对包括新增—采样:点数据?在内的?所有数据重新计算其!结果可作为最终检验!结果
?
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