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附?录C 《测,试方法
!。。
C.1 】。 空:气洁净度等级测试
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C.?1.:。1 空气》洁净度等级》的测试宜采用粒【子计数器采》样,量应大于1L/【m,in测试粒径大【于或等于0.—5μm?粒子时?宜采用光散射粒子】计数器;测试粒【径大于或等于—0.1μm的粒子时!宜,采用:大,流量激光粒子计数器!采样量应《为28.3L/mi!n;测试粒》径小于0.1μ【m的超微粒子时宜采!用凝聚核激光粒子计!数器
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C.1.2【 采?样点的确定应符合】下列规定
】
: 1 — ,最少采样点》应按下式计算
】。。
】
: 《。式中NL最》少采样点四舍五入】取整数;
【
》 , : : ,。 A洁净室—(区)的面》积在水平《单向流时指与气流】方,。向垂直的流动空【气的截面积以m【2计
—
》。 2 采样点【应均匀分布于洁净】室(区)的面积【。内并应位于工作【区高度
【
,
C.1.3 】每次采样的最少采】。样量应?符合下列规定
】
》 ?1 ?每个采样点的—。每次采样《量(VS)应按下】式计算?
《
:
【 , 式中Cn—m被:测洁净?室(区?)空气洁净度等【级被:测粒径?的允:许限值(个/m【3);
《
?
—。 2【0在规定被测粒径】粒子的空《。气洁净度《限值时?可检测到的粒子数
!
:
【2 每个采样点的!采样量应《至少为2L采样时】间应最少《为1min当洁【净室(?区)仅有1个采【样,点时在该点》应至少采《样,3次当VS很—大时采?样时间较《长宜采用《顺序采样法
】。
C.》1.4 对于【单,。。。向流洁净室采—样口应对着》气流方?向对于非单向—流洁净?室采:。样口宜向上采样速度!宜接近室内气流速】度
C】.1.5 室内测!试人员?应穿洁净服不得超】过3人测《试人:员应位于测》。试点下风《侧并远离测试—点并应保持静止进】行换点操作时动作】应轻应减少》人员对室《内洁净?度的干?扰
C.!1.:6 ?每个采样次数为【2,次,或2次以上的采【样点应按下式计算】平均粒子《浓度:
!
《 式中X—i采样点《i的平均粒子浓度】i可代表《任何位置;》
:
】 《。 Xi1》至Xi?n每次采样的粒子】。浓度;
【
【 ? , ,。n,在采样点i的采样次!数
:
?。
C.1.7【 , 采样点为1—个时应按本规范【式,(C.1.》6)计算《该点:平均粒?。子浓度?。采样点为10个【或10个《以上:时应按?本规范式(C—.1.6)计算各】点的:平均浓?度后再按下式计算洁!净室(区)》总平均值
【
《
《
《 式中X各采—样点:平,均值的总平均值【;
《
《。 】 Xi1至Xi【m按式(《C.1.6)—。计算的?各个采样点》的,。平均值即《。洁净室(《区)总平均值—;
》
【 m采样点!的总数
【
C.1》.,8 置信上限(U!。。C,L)的计《算,应符合?下列规定
【
1】 , ,当采样点只》有1个或多》于9个时不计算9】。5%置信上限
!
— 2 采样点为】1个以上10—个以下时除》应根据本规》范式(C.1.【7):计算各采样点的平】均,值和总平均值外【。还应按下式计算【总平均值的标准偏】差
】
?
? : 3 ? 应按下《。式计算总平均值【的95%置》信上限
!
《
式【中t分布系》数应按表C.—1.8取值
!
表C.1.8】 95%置信上限】(UCL《)的t分布》系数
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,。
, 4 每个!采样点测得》粒子:浓度的平均值X【1,。以及洁净室总平【均,值95%置》信上限均未超过空气!。洁净度等级的浓度】限值时可认为该洁】净室(?区,)已达?。到,规,定的空气洁净度等级!
:
【 测试结果未能满足!。规定:。的空:气洁:净度等级时》。宜,增加均匀分布的【新采:样点:进行测?试应对包括新增采】样点:数据:在内的所有数—据重新计《算,其结果?可作:为最终检验结—果
?