《附录C 《 测试方《法
【
:
C.1 空】气洁净度等级测试】
》
:
C.?1,.1 空气洁【净,。度等级的《测,试宜采用粒》子计数?器采样量应大于【1L/min测试】粒径大于或等于0.!5μm粒子时宜采用!光散射粒子计数【器;测试粒径—大于或?等于0.1μm的】粒子时?宜采用大流》量,。激光粒子《计数器采《样量应为28—.3L?。。/min;测—试粒径小于0.【1μ:m的超微《粒子时宜采》用凝聚?核激光粒《子计数器
【
C.1.2】 采样点》。的确定应符合下列规!定
》。。
? 1 》 ,最少采样《点应按下《式计算
【
【
? 式中《NL最少采》样点:四舍五入《取,整数;
】
—。 A洁【净室(区)的面积在!水平单向《流时指与《气流方向垂直的【。流动:空气的?截面积以m》2计
》。
2】 采样点应均【匀分布于洁净室(】区)的?。面,。积,内并应位于工作区高!度
》
C.1.3 !每次采样的最—少采样?量应符合下列规定
!
《
1 】每个采样点的每次】采样:量(VS)应按下式!计算
?
!
,
》式中C?。n,m被测洁净》室(区?)空气?洁净:度等级被测粒径的】允许限值(个/m3!);
! 【 20在规定被测!粒径粒子的》空气洁净度》限值:时可:检测:到,的粒子数
—
【 2 每》个采样点的采样【量应至?少,为2L采样》时间应?最,少为1?。min当洁》净,。室(区)仅有—1个:采样点时在》该点应?至少采样3次当V】S很大时采》样时间较长宜—采用顺序采样法【
C【.1.4 —对于单向流洁净室采!样口应对着气流【方向对于非》单向流洁净室采样口!宜向上采样速度宜】接近:室内气流速度—。
C【.1:.5: 室内《。测试人员应》穿洁净服不得超【。过3人测试人员应位!于测试点下风侧并远!离,测试点并应保持静】止进行换点操作【时动作?应轻应减少人员【对室内洁净度—的干扰?
?。
C.1.6】 每?个采样次数为—2次或2《次以上的采样点应按!下式计算平均粒子浓!度
】
【 式中X》i采样点i》的平均粒子浓—度i可代《表任何位置;
】
—。 】Xi1至Xin每次!采样的粒子浓度;】
,
:。
— n】在采样点i的—采样次数
【
C.1—.7 采样点为】1个时应按本规范式!(C.1.6—。)计算该点平均粒子!浓度采样点为—10个或1》0个:以上时应按本规【范式(C.1.【。6)计算各点的【平均:浓度后再按》下式:计算洁净室(区【),总平均值
》
?
《
:
,
式中【X各采样点》平均值的总平均【值;
【
:。 !Xi:1至Xim》。按式(C.1.【6)计?算,的各个采样点的平均!值,即洁净室(》区)总平均》值;
! !m采样点的总—数
C】.1.?8 置信上限(】U,CL)的计》算应符合下列—。规定
?
《
: : 1: 当?采样点只有1—个,或,多于:9个:时不计?算95%《置信上?限
《
,
2 !。采样点为1个以上1!0个以?下时:除应根据本》规范式(C》。.1.?7)计算各》采样点的平均—值和总?平均值外《还应按下式计—算总平均值的—标,准偏差
—。
—
3】 :应按下式计算总平】均值的9《5%置信上限
!
《
【。 式?中t分?布系数应按》表C.1《.8:取值
?
,
表C.1.!8, 95%置信—上限:(UCL)的t【分布系数
【
】
: 4 每个】采样点测得粒—子浓度的平均—值X1?以及洁净室总平【均值95《%置信上限均—。未超过空气洁净【度等级?的浓度限值时—可认为该洁净—室(区)已达到规】定,的空气洁净》度等级
! 测试结果未!能满足规定》的空气洁净》度等:级时宜增加均匀【分布的新采样点【。进行测?试应对包括新增采样!点数:据在内的所有数【据重新计《算其结果可》作为最?终检验?结果
《