。
1》4.5 》使用:验,收
?
》。
14.5.1 】 洁净厂房》的使用验《收应:在设计规定的—。使用状态下进行检】测和调试确认—。洁净室(《区):的动态性能》参数均应有》。效满足使用要—求
》
1?4,.5.2《 使用验收的【主要检测内》容应包括下列测试
!
》 : 1 检—测空气洁净度等【级;
《
:
2 !生产工艺有要求【者还应进《。行微:生,物,测试或化学》污染物测《试或特殊表》面的洁净度测试;
!。
!3 温度、—相对湿度的》。稳定性测试;—
】。。 4 确认洁】净室(区)的密闭性!能;
】 5 建设!方需要进行的其他检!测项目
【
14《.5.3 洁净厂!房使用验收后应编写!使用:验收报告应》包括下列主要内容】
— 1》 洁净厂房中【各种:设施(包括生产工艺!设,备):等的开?启状态描述;
】
,。
【2 : 测试的《洁净室(区)人【员及其活动情况的】描述;?
》
》3 分项测试【记录及分析意见【(包括测《试点位置《、坐标等);
!
4】 测试仪》器,的有效校验》证书;
—
:
》5 : 结论
》