12.2 ！ 高纯气体》、特种气体供—应设施？安装
【
12.2【.1 高纯气体、！特种气体《管道及其阀门—、附件等的材质【应符：合工程设计文—件，的要求采用》低碳：不锈钢管时其—安装施？工应符合本规范第】7.4节的规定
】
《
12.2.2 ！管路系统的》试运转应包括管【路吹：扫、气密性、—泄，漏性试验和纯度测试！
】Ⅰ 主控项》目
—
12》.2.3 高【纯气体、特》种，。气体供应设施安装前！应按工程《设计文？件和产？品，说明书的要求—检，查设备及《填充：的纯化？材料、阀《门和：管件的完整性—、密封性并应做检】查记录
】
： 检查数量按气！体品种、分系统全数！检查
《
【 检验？方法观察检查、尺】量
《
12.—2.4 纯—化设备、特气柜【。的搬运、就位应符】合下列规定
！
，
《。。 1 《搬入洁？净室：。(区)前应》进行清洁符合—要求后应从规定的】设备搬入口运入；】。
《
2 ！整体：设备搬运时应按设】备的构？。造、管道及阀门【等附件？的配置状况安—全运输不得倒置并】应，可靠固？定；
—。。
3【 设备就位时【应按工？程设计文件》和产：品说明书《要，求做好接管、接线】定位；？
：
，
》 4 就—位后：水、电？接口：应按工程设》计文件要求连接；
！
：
？ 《5 气《体管道接口应在【分系统的《。气，体输送管道》安装试运《转合格后再连—接
！ 检查数量按【气体品种、分系【统全：数，检查：
】 检？验方：法观察检查、—尺量
—
1？2，.2.5 高纯】气体、特种气—体，系统的阀门》。。箱、：吹扫盘的安》装应符合下列—规定
？
？
—1 应检》查箱：体及箱内阀门、仪表！和附件的完整性、】密封性和合》格，证书等并应做好记】录；
—
，
《 2 安》装位置？应按：工程设计《文件、产品说明书要！求进行并应》检查接管、接线方位！的正确？性；
？
—。 ？3 气体管—道，接口应？在所在系统》试，运转合格后》再连：接，
：
？
？ 检查数》量按气体品种—。、分系统全数检查】
》
检验【方法观察《检查、尺量
【
12—.2.6 高纯气！体、特？。种气体设施施工安】装试：运转的纯度》测，试应符合下列—规定
—
：。 1 【纯度测试介质—宜采：用工作气体进—行
】 2 》 测试气体的压力宜！。与输送？介质的设《。计，压力：相同
！ 3 —测试气体的检测取】样口或排气接口应设！在供气系统中要【求气体纯《度及其杂质》含量最严格且距离】最长的用气设备处
！
《
？ ：。4 纯《度测：试过程取样》时间的？间隔宜为4》h；气体样》。品应：采用与输送介—质纯度及允许杂质含！量相应？的精度？等级的仪器进行分析！
！ 5 当测试【气体进、《出口的？纯，度及其氧痕量、水痕！量，等杂质含量达到一】致时应认为纯度测】试合格
—
【检，查数量按系统全数检！查
：
— ： 检验方法仪器【检，查
12！.2.？7 管路系统【。的试验应符合下【列规定
《。
！1 高《纯，气体、特种气体供应！设施的？强度试验、气密【性试验和《泄漏量试验》及试验压力均应【按工程设《计文件要求执行
】
？
—2 ： 试验？气，体宜：采用无油干燥—压缩空气或纯—氮气或纯氦气；试】验气：体压力按规定—逐步升？至系统？。强度试验压力后应】保持10min【然后降压《。至气：密性试验压力检查】接口、焊缝应以不漏！为合格
！ ？ 3： 气密《性试验合格后进行泄！漏量试验试验气体】为纯氮或无》油干燥压缩空气时系！统应：以设计压力》保，持24h检查泄【漏率不超过0.5】％为合格采用氦气】为，试验气体时系统应】以设计压力》保，持1h检查》泄漏率？不，应超过0.5—％为合格不合格【时应：检，查原因并进行完善】后再进行泄漏量试验！直至合格《为止
！ 4 管路系！统的试验不》应包含纯化》设备、特气》柜和阀门箱等
】
？
：。 检查数量按】系统：全数检查《
，
【 检验方》法观察检查、—仪表检查《
》
Ⅱ 》一，般项目
—
12.】2.8 管路吹扫！应符合下列规定
】
【 1 《 应按气体品种、】工作参？数分系统分》别进行吹扫
！
？ ， 2 管路系】。统应采用0.3MP！a～0？.5MPa的无油干！燥压缩空气或—纯，氮进行吹扫吹扫气体！应设置过《滤精度严于0.3】μm的气体过滤器】去除微粒；对输【送可燃气体的管路宜！。采用：纯氮吹扫《
，
，
】3 在管路—系统吹？扫气体排出口设靶】检查应以靶上未【。。见微粒为合格；【对输送可燃气体【。。。的管路系统应以【排，出口吹扫气》体，中含氧量小》。于1％为合格
【
：
【检查数量按系统【全数检？查
—
—检验方法观察检查】。、仪：表检查
》
