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12.》2 ： 高纯气《体、特种气体供应设！。施，安，。装
】
12.2.1 ！高纯气体、》特种气体管道及【其阀门、附件等的材！质应符合工》程设：计文件的《要求采用低碳不锈钢！。管时其安装施工应】符合本规范第7【.4节的《规定
】12.2.2 管！路系统的试运转应】包括管路吹扫—、气密性《、，泄漏性试《。验和纯度测试—
《
Ⅰ 主【控项目
—
：
12.2【.3 高》纯气体？、特种气体供—应，设施：安，。装前：应按工程设计—文件和产品说明【书的要？求检查设备及填【充的纯化《材料、阀《门和管件《的完：整，性、密封性并应做】检查记录
》
】 检查数量按—气体品？种、分系统全—数检查？
— 检验方法观！察检查、尺量
【。
，
1》2.2.4 【纯，化设备、特气柜【的搬运、就位应符】合下列规定
【。
：
1 ！搬入洁净室》(区)前应进—行清洁？符合要求后》应从：规，定的设？备搬入口运入—；
【 2 整体！设备搬运时应—按设备的《构造：、管道及阀门等附】。件的配置《。状，况安全运输不得【倒置并？应可靠固《定；
？
？。
，
， 3 设备！就，。位时应按工》程设计文件和产【品说明？书要求做好接管、接！线定：位；
？
】 4 就》位，。后水、电《接口应按工程设计文！。件，要求连接；
【
？
5 【 气：体管道接口应在分系！。统的气？体输送管道安装试】运转合格后》再连接？
！ 检查数《量，按气：体品：种、分？系，统全：数，检查
》
，
： ？ 检验方《法观察检查、尺量
！
》12：.2.5 高纯】气体、特种气体系】统，的阀：门箱、？吹扫盘的《安，装应符合下列—规定
—
《 1 应检查】箱体及箱内阀门、仪！表，和附件的完整性【、密封性和合格【证，书等并应做好记录；！
！ 2 安装位【置，应按工程设计—文件：、产品说明书要【求进行并应检查接管！、接：线方位的正确性；】
《
3 ！气体管道《。接口：应在所？在系统试《运转合格后再连接】
《
检查数！量按气？。体品种、分系—。。统全数检查
—
》 检验方法观！察检：查、：。尺量
】12.2《。.6 ？ 高纯气体》、特：种气体设《施施工安装》试运转的纯度—测，试应：。符合下列《规定
！ ， ， 1 纯度—测试：介质宜采用》工作气体进》行
：
？
2 】 测试气体的压力】宜与输送介质的设】计压：力相同
【
，。
3— 测试气体的检】测取样口或排—气接口应设在供气系！统中要求气体纯度】及其杂质含量—最严格且距》离最长？的用气设备处—
【。。 ： 4 纯度测【试过程取样时间的】间，。隔宜：为，4h；气体样品应】采用与输《送介质纯度及允许杂！质含量相应的—精度等级的仪—器进行分析
—
【 5 《 当测试气体—进、：出口的纯《度及：其氧痕量、》水痕量？等杂质含量》达到一致时应认为纯！度测：试合格
》
，
》 检？查数量按系统—全数检查
【
检验！方法仪器检》查
《
12》。.2.7 》。 管路系统的—试验应符合下列规】。定
—
： 1 》 高纯气体、特【种，气体供应设施的强度！试验：、，气，密性试验和泄漏量试！验，及试：验压力均应》按工程设计》文件要求执行
【
【 2 试验气】体宜采用无》油干燥压缩》空气或纯氮气或纯】氦气；试验气—体压力按规定逐【步升：至系统强度试验【压力后应保持10m！i，n，然，后降压至气密性【试验压力检查接口、！焊缝应以不漏—为合格
》
》 ， 3 气密性试！。。验，。合格后进行》泄漏量试验试验气】体为纯氮《或，无油干燥压缩—空气时系统应—以设计压力保持【。24h检查泄漏率不！超过0.5％为合】格采用？氦气为试验气体【时系统应《以，。设计压力《保持1h检查泄漏】。率不应超过0.【5％为合格不合【。格时应检查原因【并，进行完善《后再：进行泄？漏量试验直》至合格为止
—
？
—4 管路系—统的试验不应—包含纯化设备—、特气柜和》阀门箱等
！。
， 检查—数量按系统》全，数检：查，
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《 ， ，检验方法《观察检查、》仪表检查
【。
Ⅱ 一般！项目
？
？。
12.【2.8 管—。路吹扫应符合下列】规定
？。。
— ： 1： 应按气体—。品种、工作参数分系！统，分别进行吹扫
！
：
， 2》 管路系统—应采用0.》3MPa～0.5】MPa的无》油干燥压缩空气或纯！。氮，进，。。行吹扫吹扫气—体应设置过》滤精度严于0—.3μ？m的：气体过滤《器，去除微粒《；，对输送可燃气体的】管，。路，宜采用纯氮》。。吹扫
【
， ： ：3 在管路—系统吹扫《气体排出口设靶检查！应以靶上《未见微粒为合—格；对输送可燃气】体，的管：路系统应以排—出口吹扫气体中含氧！量小于1％为合【格
：。。
！检查数量按系—统全数检查》
：
【 检验《。方法观察检》。查、：仪表检？查
？
