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12.2】。 高纯气体、特】种气体供应设施安】装
》
12—.2.1《 ， 高纯？气体、特种》气体管道及》其阀门、附》件，等的材质应》符合工程设计文件】的要求采用低碳不锈！钢管：时其安装施工应符合！本规范第《7.4节的规定【
1【2.2.2 管路！系统的试运转应【包括管路吹》扫、气密性、泄【漏性试验和纯度【。测试
！
Ⅰ 主控》项，目
《
1—2.2.3 — 高纯气体、特【种气体供应设施安】装前应按工程设计】文件和产品说明【书的要？求，检查设备及填充【的纯化材料、阀【门，和管件的完整性、密！封性并应《。做，检查：记录
【
《 检查数量按气体】品种、分系统全数】检查
【
《 检验方法观察检】查、：尺量
1！2.2？.4 ？。 纯化设备、特【气柜的搬运》、就位应《符合下列规》定，。
！ 1 搬入洁净】室(区)《前应进行清洁—符合要求后应从规定！的设：备搬入口运入；
！
】2 整体设—。备搬运时应》按设备的构造、管道！及阀门？等附件的配》置状况安全运—输不得倒置》并应：可靠固定；》
【 ？3 设备就位【时应：按工程设计文件和】产品说明书》要求做好接管、接】线定位；
》
？
： ？ ，4 ： 就位后水、—电接口应按工程设】计文件？要，求连：接；
】。 《5 气体》管道接口应在分系】统的气体输送管道安！装试运转合格后再】连接
【
检—。查数量按气体品种、！分系统全数检查
】
《
： ？检验方法观察检查、！尺量
【
12.2.5【 ：高纯气体、特种【。气体系统的阀门箱】、吹扫盘的安装应】符合下列《规定
！ 1 应【检查箱体《及箱内阀《门、仪表和附件【的完整性、密封性和！合，格证书等并应做好记！录；
？
《
2— ：。安装：位置应按工》程设计文件、产品】说明书要《。求进行并应检查接】管、接线方位的正】确性；
》
》 3 气【。体管道接口应在所】在系：统试运转合格后再】。连，接
《
，
检查数！量按：。气体品种、分—系，统全数检《查
？。
— 检验方法观察检！。查、尺量《。
—1，2.2.6 高纯！气体、特种》气体：设施施工《安装：。。试运转的纯度测试应！符合下列规定
】
？
1 纯！度测试介《质宜采用工》作气体进《行，。
】 2 测试气体！的压：力宜与输送介—质的设计压力相同
！。
— 3《 测？。。试，气体的检测取样口或！排气接口应》。设在供气系统中【要求气？体纯度及其杂质【含量最？严格：且距离最长的用气】设备处
—
，
，
4 纯！度测试？过，程取：样，。时间的间隔宜为【4h；气体》样品应采用》与输送介质纯度及】允许：杂质含量相》应的精度等级的仪】。器，进行分析
】
5 ！当测试气体进、出】口，的纯：度及其氧痕量、水痕！量等杂质含量达到】。一致时？应认：为纯：。度测试合格
】
，
检查】数量：按系：统全数检查
【。
— 检验方法—仪器检查
】
1？2.：2.7？ ：管路系统的》试验应符合下—。列规：定
》
1 ！高纯气？体、特种气》体供应设《施的强？。度试验、气》密性试验和泄漏量】试验：及，试验：压力均应按工程设】计文件要求执行
！
】。2 试验气体宜采！用无油干《燥压缩空气或—纯氮气或纯氦—。气；试验气体压【力按规定逐步升【至系统？强度试验压》。力后应保持》10min》然后降压至气密【性试验压力检查接口！、焊缝应《以，不漏为合格
！。
3【 气？密性试验合格—后进：行泄漏量试验—试验气体为》纯氮：或无油干燥压—缩空气时系统应以设！计压力保持24h】检查泄漏率》不超过？。0.5？％为合格《采用氦？气为试？验，。气体时？系统：应以设计压力保持】1，h检查泄漏率不应超！过0.5％为合格不！合格时应《检查原因并进行【完善后再《进行泄漏量试验【直至合格为止
】
【 4 管路系统的！试验不？应包含纯化设备【、特：气柜和阀《门箱等？
— 检查数【。量按系统《全数检？查
】 检验方法观】察检查、仪表检查】
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Ⅱ 一！般项：。目
《
1—2.2？.，8 管路》吹扫应符合下列【规定
！ ， 1 应—按气：体，品种、工作参数分】系统分别进行吹【扫
！。。 2 》。管路：。系统应采用0.3M！Pa～0.5MPa！的无油干燥压—缩空气？或纯氮进行吹扫吹扫！气体应设置过滤精度！严于0.3μm的气！体过滤器去除微粒；！对输送？可，燃气体的管路宜【采用纯氮《吹扫
》
《 ？3 ： 在管路《系统吹扫气体排出】口设靶检查应以【靶上未见微粒为合格！；对输？送可：燃气体的管路—系统应以《排出口吹扫气—体中：含氧量小于1％【为合格
《
】 检查数量按系【统全：数检：查
【
， ， 检《。。验，方法观察检查—、仪表检查
【
