12.2 ！ 高纯？。气体、特种气体供】应设施？安，。装
？
》
12.2.1 】 高纯气体、特种】气体：。。管道及？其阀门？、附件等的材质【应符合工程设计文】件的：要求采用低碳—不锈钢管时》其，安装施工应符—。合本规范《第7.4节的规【定
—
12.2.2 】 ，管路：系统的？试运：转应包括管》路吹扫、《气密性、泄漏性试验！和纯度测试》
】Ⅰ 主控项目—。
》。
12.—2.3 高纯【气体、特种气体供】应，设施安装前应按工】程设计文件和—产品说明书的要求检！查设：备及填充的纯化材】料、阀门和管—。件的完整性、—密封性并应做检查】记，录
【 检查—。数量按气《体品种、分》系统全数检》查
：
，
？
》检验方法观》察检查、尺量
【
1—2，.2.4 纯【化设备、《。特气柜的搬运、就】位应符合下列规【定
》
1 ！搬入洁净《室(区)前应进行】清洁符合要求后应】从规定的设备—。搬入口运入；
【
》 ： 2 》整体设？备搬运时应》按设备的构造—、管：道，及阀门等附件的配】置状况安全运输【不，得倒置并《。应可靠固定；
】
《 ？ 3 ？ 设备就位》。。时应按工程设计文】件和产品说》明书要？求做好接管、—接线：定位；
！ ： ：4 ？就位后水、电接口】应，按工程设计文件要】求连接；
》
】 5 气体—管道接口应在分系】统的气体输送管道】安，。。装试运？转合格后再连接
！
检！查数量按气体—品种、分系统全数】检查
？
【 检验方法观【察检查、《。尺量
》
：
12.2》.5 高纯气体、！特种气体系统的阀】。门箱、吹扫盘的安装！应符合下列规定
！
，
— 1 《。应检查箱体及箱内】。阀门、仪表和—附件的？完整性、密封性和合！格，证，书等并应做》好记录；
》
，
》。 2 安【装位置应按工程设计！文件、产品说—明书要求进行—并应检查接管、【接线方位的正确性】；
：
《
3 】气体：管道接？口应在所在系统试】运转：合格后再连》接
！ 检查数量—按气体品种、分系统！全数检查
！。
？ 检验方》法观察？。检查、尺量
】。
12》.2.？6 高纯》气体、特种》气体设施施工安装】试运转的《纯度测？试应符合下列规【定
》
： 1 纯度！测试介？质宜：采用：工作：气体进行《
！ 2： 测试气》体的压力宜与—输送介质的设计【压，力相同
《
：
》 3 测—试气体的检测—取，样，口或排气《接口应？设在供气系统中要】求气体纯度及其【杂质含量最》严，格且距离最》长的用气设备—处
！ 4 纯度测试！过程取样时间的间】。隔，宜为4h；气体【样品：。应采：用与输送介质—纯度及允许杂质【含量相应的精度等】级的仪器进行分析
！
》 ， 5《 ：当测：试气体进《、出口的纯度及其氧！痕量、？。水痕：量等杂质含量达到】一致：时应认为纯》。度测试合格
！
，
检—查数量按系统全【。数检查
—
【。检验方？法仪器检查
【
12—.2.7 —管路系？统的：试，验应：符合下列规定
！
1 ！ 高纯？气，体、特种气体供应设！施的：强度试？验、气密性》试验和？泄漏量试验及试【验压力均应按—工程设？计文件要求执行
】
— 2 试验气！体宜采用无油干【燥压缩空气》或纯氮气或纯氦【气；试？验气体压力按规定逐！步升至系统强—度试验压力后应保持！10min然—后，降压：至气密性试》验压力检查接口、】焊缝应以不漏为【合格
》
—。 3 气密—性，试验合格后进行泄】漏量试？验试验气体为纯氮或！无油干燥压缩空气时！系统应？以，设计压力保持—24h检查泄漏【率，不超过？0.：。5％为？合，格采用氦气为—试验气体时系统【应以设计压力保持】1，h检查泄漏率—不应超过0.5％】为合：格不合格时》应检查原因并进行完！善后：再，进行泄漏量试验直至！合格为？止
《
— 4 管路系统的！试验不应包含—纯化设备、特气【柜和阀门箱等
！
：。
：。 检查数量按】系，统全数检查
—
— ， 检验方》法观察检查》、仪表检《。查
】
Ⅱ ？一，般项目
！
12.2—.8 《管路吹扫《应符合下列规定【
】 ：1 ？应按气体品种—、工作参数分系【统分别进《行吹扫
【
： ， ， 2 管路【系统应采用》0，.，3，MPa～《0.5MPa的【。无油干燥压缩空气或！纯氮进行吹扫吹扫气！体应：设，。置过滤？精度严于0.3【μ，m，。的气体？过滤器去除微粒【；对输？送可：燃气：体，的管路？宜采用纯氮吹扫
】
】 3 ？ ，在管路系统吹扫【气体排出口设靶检】查应以靶《。上未见？微粒为合格；对输】送可燃气体的管路系！统应以排出口吹扫气！体中含氧量小于【1％：为合格
【
： 检查—数量按系《统全数检《查
》
【检，验方法观察检查、仪！表检查
》
