《12.2 —高纯气体、特—种气：体供应设施》安装
》
？。。。
12.2.1 ！ 高纯气《体、特种气体管【道，及其阀门、附—件等的材质应—符，合工程设计文件的要！求采用？低，碳不锈钢管时其安装！施工应？符合本规范第7.4！节的规定
】
12.2—.，2 ： 管路系统》。的，试运：转，应包括管路吹扫、气！密性、？泄漏性试验和纯度】。测试
【
Ⅰ 主控项】目
【
12.2.3】 高纯气体、【特种气体《供应：设施安装前应按工程！设计文件《和产品说明书的要】求检：。查，设备：及填充？的纯化材料》、阀门和管件的完整！性、密封《性并：应，做检查记录
—
】 检查数量按—气体品种《、分系？统全数检查
【
检！验方法观察检查、尺！量
【12.2.4 】纯化设备、》特气柜的《搬运、？就位应符合下—列规定
！ ？ 1： 搬入洁》净室(区《)前应进《。。行清洁符《合要求后应从规【定的设备搬入口运】入，；
《
【2 整体设备【搬运时应按设备【的，构造、管《。道及阀门等附—件的配？置状况安全运输不得！倒置：并应可？靠固定；《
！ 3 《设备就？位，时应按工程》设计文？件和产品说明书要】求做好接管、—接线定位；》
？。
？ 《。4 就位后水【。、电接口应按—工程设？计文件要求连接；
！
》 ： 5？ ：气，。体管道接口应—。在分系？统的气体输送—管道：。。安装试运转合格后】再，连接
《。
【 检查数量按气体】品种、分系统全数】检查
？
！检验方法《观察检查、尺量
】
《
12.2.—5 ？高纯气体、特种【气体系统《的阀：门箱、吹扫》盘的安装应符—合下列规定》
：
【 ，1 应检查—箱体：及，。箱内阀门、仪表和】附件的？完整性、《。密封：性和合？格证书等并应做好记！录；
》
？ 2 — 安装位置应按【工程设？计文件、产品说明】书要求进行》并应检查接》管、接线方》位的正确性；
【
《
3 【 气体管道》接口应在所在系【统试运转合格后再连！接
》
，
， 检》查数量按《气体品种、分系统】。全数检查
！
检验【方法观察检查、【尺量
—
12.2.【。。6 高纯》气体、特《种气体设施》施，工安装试运转—的纯度测试应符合】下列规定《
】 1 》纯度：测试介质宜采用工】。作气体进行
—
：
？ ： 2 《 测试气体》的压力？宜与输送介质的设计！压力相同
【
？ 3 测】试气体的检测取【样口或排气接口应】设，在供气系《统中要求《气体纯度及其杂质含！量最严格且距离最长！的用气设备处
【。
《
》。4 ？纯度测试过程取样】时间的间隔宜—为4h；气体样品】应采用与输送介质纯！度及允许杂》质含量相应的精【度等级的仪》器进行分析
】
【5 当《测，试气体进、出口的】纯度及其氧》痕量、水《痕量等？。杂质含量《。达到：一致：时应认为纯》度测试合格
】
：
》检查数？。量按系统全数检查
！
》 检》验方法仪器检查【
》
，1，。2.2？.7 管路系【统的试验应符合【下列规？定
《。
【。1 高纯气体、特！种气体？。供应设施的强—度试验、气密性试】验和泄漏《量试验及试验—压力均应按工程【设计文件要求—执行
？
：
2】 试验气体宜【采用无油干燥压缩空！气或纯氮《气或纯？氦气；试验气—体压力按规》定逐步升至系统【。强度试？验压力后应保持10！min然后降压至气！。密性试验压力—检查接口《。、焊缝应以》不漏：。为合格
—
：
》3 气密》性试验合格后进行泄！漏量试验试验气体为！纯氮或无《油干燥压缩空—气，时系统应以》设计压力保持24h！检查泄漏率不超过】。0，.5％为合格采用】氦气为？试验：气体时系《统应以？设计压？力保持1h检查【泄漏率不应超过0.！5％：为合格不合格时【应检查原因并进【行完善后再进行泄漏！量试验直《。至合格为止
！
《 4？。 管路《系统的试验不—应包含纯化设—备、特气柜和阀门箱！等
：
：。
》 检查数量按系】。统全数？检查：。
》
检验方法！观察检查、仪表【检，查
？
：
Ⅱ —一，般项目
！
：12.2.8 【。 管路吹扫应符合】下列规定
【
1 ！ 应按气《体品种、《工作参数分系—统分别进行吹扫【
，
！2 ？管路系统《应采用0《.3MPa～0.5！。MPa的无油干燥压！缩空气？或纯氮进行吹扫吹】扫气体应《设置过滤精度严【于0.3μ》m的气体过滤器去除！微粒；对输送—可，。燃气体的管路—宜采用纯氮吹扫
】
— ： 3 在管路【系统吹扫气体排出】口设靶检《查应以？靶上未见微粒为合】格；对输送可燃气体！的管路系《统应以排出》口，。吹扫气？体中含？氧量小于1％—为，。合，格
《
？ ： ：检查：数量：按系统？全数检查《
》
： ， ， 检验方法—观察检查、仪表检查！
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