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？12.2 高纯】气体、？特种气体供应—设施安装
【
1—2.：2.1 》。高纯气体、特种气体！。管道及其阀门、附件！等的材质应符合工】。。程设计文件的要求】采用：低碳不锈《钢管时其安》装施工应符合本规范！第7.4节》的规定
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12.2.】2 管路》系，。统的试运《转，应包括管路吹扫、气！密性、？泄漏性试验和纯度】测试
》。
Ⅰ 主】控项目
】
12.2.3！ 高纯气体、【特种气？体供应？设施：安，装前应按工程设计】文件和产品说明书】的要求检查设备及】填充的纯《化材料、《阀门和管件的完【整性、密封性并【应，做检查记录
【
【 检查数量》按气：体品：种、分系统》全数检查
【
检验！方法观察检查、【尺量
》
12.2【.，4， 纯化设》备、特气柜的—搬，运、就位《应符合下列规定
！
1！ ， ，。搬入洁净室(区)前！。应进行？清洁符合要求后应】从规定的设备—搬入口运入；
【
！2， 整体设备—搬运：时应按设备的构【造、管道及阀门等附！件的：配置状况安》全运：输不得？倒置并应可靠固【定；
？
，
3！。 设备就位时【应按工程设计—。。文件：和产：品说明书要求做【好接管、接线定位；！
《
4 】 就位后水、—。电接口应按工—程设计文件要求连】接；
《
5！ 气体《管道接口应在分系】统的气体输送管道安！。装试运转合格—后再连接
】
《 检查《数，量按：。气体品种、分系统】全，数检：查
—
检验方法！观，。察，检查、尺《量
：
12【.2.5《 高纯气》体、：特，种，气体系统《。的阀门箱、吹扫盘的！安装应符合下—列规定
【
1 】 应检？查箱：体及箱内《阀门：、仪表和附件的完整！性、密？封性和合格证书等】并，应做好记录；—
】 2 安装位置！应，按工程设计文件、产！品说明书要求进行】并应：检，查接管、接线方【位的正确性；
】
— 3 气—。体管道接口应—在所在系统试—运转合格《后再连？接
【 检》查数量按气体—。品种、？分，系统全数检查—
？。
【检验方法观察检查、！尺，量
—
，12.2.6— ：高纯：气体、特种》气体设施施工安装试！运转的纯《度测试应《符合下？列规：定
】 ： 1 ？ ，纯度测试介质宜采用！。工作气体进行
【
【 2 》。测试气体的压力宜与！输，送介质的设计压力】相同：
，
：
【3 ： 测试气体的检【测取样口或排气接】口，应设在？。。供气系统中要—求气体纯度及其杂质！含量最严《格且距离最长的【。用气设备处
【
4！ 纯度测试过程】取样时间《的间：隔宜为4h；气【体样品应采用与【。。输送介质纯度及【允许：杂质：。含量相？应，的精度等级的仪【。器进行分析
】。
，
？ ， ， 5 当测—试气体进《、，出口的纯度》及，其氧：痕量、水《痕量等杂质含量达到！一致时应认为—。纯度测试合格—
】。。 检查数量—按系统全数检—查
《
？ ： 检验方法仪【器检查
》
1》2.2.7 — ，。管路系统的试验应符！合下列？规定
—
，
？ 1 》高纯气体、特种【气体供应设施—的强度试验、气密】性试：。。验和：泄漏量试验》及试验压力均应【按工程设计》文件要求执行
【
》 ， ？2 试验》。气体宜采用无油【干燥压？缩空：气或纯氮气或—纯氦气；试验气【。体压力按《规定逐步升至—系，统强度试验压力后】。应保持10》mi：n然后降压至气密性！试验压力检查接口】、焊缝应以不漏【为合格？
《
3 】 ，气，密性试验合格后进】行泄漏量试验—试验气体为》纯，氮或无油干燥压【缩空气时《系统：应以设计压力保【持24h检查泄漏率！不超过0《.5％为合格采【用氦气为《试验气体时系统应】以设计压力保—持1：h检查泄漏率不应超！过0.5％为—合格不合格时应【检查原因并进行【完善：后，。再进：行泄漏量试验直至合！格为止
【
？ 4 管路】系统的试验不—应包含纯化设备、特！气柜：和阀门箱等
—
《
？ 检查数量按系】统全数检查
】
【检验方法观察—检查、仪《。表检查
》
：
Ⅱ 一般】项目：
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？。
12《.2.？8 管路吹—扫应符合下列规定】
— 1 【应，按气体品种、工作参！数分系统分别进行吹！扫
【 ？ 2 管路—系统应采《用0.3《MPa～0.—5MPa的》无油干燥压缩空【气或纯氮进行—吹扫吹扫气体应【设置：过，滤精度严于0.3μ！m的气体过滤器【去除微粒《；对：输，送可燃气体的管【路，宜采用纯氮吹扫
！
？
3 】在管路系统吹扫气】体排出口设靶—检查应以靶上—未见微粒为合格；对！输送可燃气》。体，的管路系统》应以排出口吹扫气体！中含：氧量小？于1％为合格
！
，
？。。 检查》数量按系统全数检查！
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， 检》验方法观察检—。查、仪表检查
】
