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12.2 高！纯气体？、特种气体供应设】施安装
《
【1，2.2.1 【高，纯气体？、特种？气体管道及其阀门、！。附件等的材质应符】合工程设计文件的】要求采用低》碳不锈钢管时其安】装施工？应符：合本规？范第：7.4节《的规定
】
12.2.2 ！管路系统的试运【转，应包括？管路吹扫、气密性】、泄漏性试验和纯】度测试
【。
Ⅰ》 主控项目
！
《12.2.》3 高纯气体、特！种气体供《应设施安《装前应按工程设计】文件和产品说明书的！要，求检：查设备及填充的纯】化材料？、阀门？和管件的完整性、密！封性并应做检—查记：录
：
！检查数？量，按气体品种、—分系：统全：数检查
【
，
？ ， 检验？方法观？察检：查、尺量
】
1？2.：2.4 纯化设】备、特气柜的搬运、！就位应符合下—列规定？
】。 1 《 搬入洁净》室(区？)前：。应进行清洁》符合要求后》应从规定的》设备搬入口运入【；
《
，
—2 整体设备搬】运时应？按设备的构造、管道！及阀门等附件的配】置状况安全运输【不，得倒置并应可靠【固定；
【。
？ 3《 设备就位—时应按工程设计文】件和产？品说明书《。要求做好接》管、接线定位；
！
4！ 就位后水、电】接口应？按工程设计文件要求！连接；
！ 5》 气？。体管：道接：口应在分系统—的气体输送管道安】装试运？转合格后再连接
】
，
—。。 检？查数量按气体品种、！分系：统全数检查》
—。。 ，。 检验方—法观察？检查、尺量
—。
《
12.2.5 ！高纯气体、特种【气体系统《的阀：门箱：、吹扫盘的安装应符！合下列？规定
？
《
1— 应检查箱体及箱！内阀门、仪》表，和，。附件的完整性—、密封性《和合：格证：书等并应《做好记录；
—
》 2 【安装位置《应按：工程设？计文件、产品说明】书要求进行并应检】查接管、接》线方位的正确—性；
【
》3， ， 气体管道接口应】在所在系统》试运转合《格后再连接
】
？ ， 检查数量【按气体品种、分系统！全数检查
》
— 检验》方，法观察检查、尺量
！
12.】2，.6 《高纯：。气体、？特种气体设施—施工安装试运转的】纯度测试《。。应符合下列规定
！
1！。 纯度测》试介质宜采用工作】气体进行
【
2】 测试《气体的压《力宜与输送介质的设！计压力？相同
《
：
》 3 测试气体】的，检测取样口或—排气接口应设在【。。供气系统中要求气】体，纯度及？。其杂质含量最严【格，且距离最《长的用气设备—处，
《
？ 4《 纯度《测试过？程取样时间的间隔】宜为4h《；，气体：样，品应采用与输送【介质纯度及允许【杂，质含量相应的—精度等级的仪器进行！分析
》
— 5： 当测试气—体进：、出：口的纯度及其氧痕量！。、水痕？。量，等杂质含量达到一】致时应认为》纯度测试合格
！
【检查数量按系统【全数：检查：
？
检验！方法仪器检》查
1】2.2.7 管路！系统的试验应符合】下列规定
—
《。 《1 高纯》气体：、特种？气体供应设施的【强度试验《、气密？性试验和泄》漏，量试验及试验压力】均应按工程设计文】件要求执《行
！ 2 《 试：。验气体宜《采用：。无油干燥压缩空气或！纯，氮气或纯《氦气；试《验气体压《力按规定逐》步升至系统强度试】验压力后应保持【10m？in然后降压—至气密性试验—压力检？查接口、焊缝应以不！漏为合格
【
，
《 3 》。气密性试验合—格后进行《泄漏量？试，验试验气《体为纯氮或无—油干燥压缩空气时】系统应以《设计压力保持2【4h检查《泄漏率不超》过0.？5％为合格采用氦】气为试验气》体时系统应》以设计压力保—持1h检查》泄漏率不应超过0.！。5，％为合格不合格时】应检查原因并进【行完善后再进行泄】漏量试验直至合【。格为止
！ 《4 管路》系统的试验不应包含！纯化设备、特—气柜和阀门箱等【
！ 检查数量按系【统全数检查
！
检【验方法观察检查、】仪表检查
【
Ⅱ 【一般项目
—
1【2.2.8》。 管路吹扫应【符合下列《规，。定
【 ， 1 应【按气体？品种：、工：作参数分《系统分？别进：行吹扫
！ 2》 管路系》统，应采用0.》3M：Pa～？0.5MP》a，的无油干燥压—缩空气或纯》氮进行吹扫》吹扫气体应设置过】滤精度严于0.【3μm的气体过【滤器去除微粒；对】输送可燃气体的【管路：宜采：用纯氮吹扫》
】 3 在管路系！统吹扫气《体排出口设》靶检查应以靶上未见！微，粒为合？格；对输送可燃【气体的管路》系统应？以排出口《吹扫气体中》含氧量小《于1％为合格
【
】 检：查，数量按系统全—数，检查
》
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《 检验方法—观察检查、仪表【检查
《
