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1？2.2 《 高纯气体》、特种气体供应设施！安装：
？
《
12.2.1 ！高纯气体《、，特种气体《管道及其阀门、附】件等的材质》应符合工程设—计文件的要求—采用低？碳不锈钢管时其【安装施工应符合本】规，范第7.4节的规】定
》
12《.2.2 》 ，管路：系统的试运》转应包括《管路吹扫、气密性、！。泄漏性试验》和纯度测试》
？
Ⅰ 主】控项目
》
，。
？
12.2.3 ！。 高：纯气体、特》种气体供应设施安装！前，应按工程设计—文件和产品说明书的！要求检查设》备及填充的纯—化材料？、阀门？和管件的完》整性、密封性并应】做检查记录》
！。 检查数量按气【体品种、分系统全数！检查
！ ？检验方法观察—检查、尺量
【
12.2】.4 《纯化设备、特气柜的！搬运、就位应符合下！列规定
—
，
1 ！搬入洁净室(区)前！应进行清《洁符合要求》后应从规定的设备搬！入口运入；
【
】2 整体设备搬运！时应：按设备的构》造、：管道及阀门等附件的！配置：状况安全运输不【得倒置并应可靠固定！；，
— 《3 设备就位【。时应按？工程设计文件和【产品说明书要求做】好接：管，、接线定位；
！
：
： 4《。。 ：。就位后水、电接口】应按工程设》计文件要求连—接；
！ 5 气【体管道接口》。应在分系统的—气体输送管道安装试！运转合格后再连【接
：
—。 ， 检查数量按气体！品种、分系统全数】检查
【
检验方】法观察检查》、尺：量
》
12.2.【5， ， ，高纯气体《。、特种气《体系统的阀》门箱、吹扫》盘的：安装应符合》。下列规定
】
《 ， 1： ：应检查箱体及箱内】阀门、仪表和附件】的完整性、密—封性和？合格证？。书等并应做》好记录；
—。
】2 ？安装位置《应按工程设计—文件：、产品说明》。书要求进《。行并应？检查接管、》接线方位的正确【性；：
》
》3， 气体《管道接口应》在所在系统试运【转合格后再连—接，
【 检查数量【按气体品种》、分系统全》数检查
！ 检验—方法观察检》查，、尺量？
，
》12.2.》6 ？高纯：气，。体、特种气体设施】。。。施工安装《试运转？的纯度测试应符【合下列规定
【
《 1 — 纯度？。测试：介质宜采用工作气】体进行
《
】 2 测试气体的！压力宜与输送介质的！。设计压力相同—
】 ， 3： 测试气体的检】测取样口《或排气？接口应设在供气【系统：中要求气体纯度及其！杂，质含量最严格且距】离最：长的用气《。设备处
—
》 4 纯度【测试过程取样—时间的间隔宜为【4h；？气体样品应采用与输！送介质纯度及允许】。杂质含？量相应？的精度等《级的仪器进行分析
！
《
5— 当测试气—体进、出口的—纯度及其《氧，痕量、水《痕，量等杂质含量—达到一致时应认【为，纯度测试合》格，
》
》检查数量按系统【全数检？查
【。 检验—方，法仪：器检查
！1，2.2？.，7 管路系—统的试验应符—。合，下列规定
】
》。 1 ？ 高纯？气体、特种》气体供？应设施的强》度试验？、，气密性试验和泄漏量！试验及试验压力均应！按工程设计文件要求！执行
【
》。2 试验气—体宜采用无油干燥】压缩空？气，或纯氮气或纯—氦气；试验气—体压：力按规定逐步升【至系统强度试验压】力，后应保持10m【in然后降》压至：气密性？试验压力《检查接口、焊缝应】以，不漏为合格》
】 3 气—密性试验合》格后进行泄漏量【试验：。试验气体《为纯氮或无油干燥】压缩空？气时系统应以设计压！力保持24h—检查：泄漏：率不：超过0.5》％为合？格采用氦气》为试验气体时系统】应以：设计压力保持1h检！查泄漏率《不应：超过：0.：5％为合格》不，合格时应检查原因】并进行完善后再进】行泄漏？。量试验直至合—格，为止
【
？ 4 管路系】统的试验不应包含纯！化设备、特》气柜和阀门箱等
】
》 ？ 检查数量按—系统全数检查
】
：
？ ， 检验方法—观察检查、仪表检查！
《
Ⅱ 一般项！目
！12.2.8 【 管路吹扫》应符合下列》规定：
，
— 1《 应？按，气，体品：种、工作参数—分系统分别》进行吹？扫
：
》 《2 管路系统应】采用0.《3MPa～0—.5MPa的无【油干燥压缩空—气或纯？氮进行吹扫吹扫气体！应设：置过滤精度》。严于0.3μm的】气，体过滤器去除微粒；！对输：送可燃？气体的管路宜采用】纯氮吹？扫
：。
》 3》 ：在，管路系统吹》扫气：体排出口设靶—检查应以《。。靶上未？见微粒为合格；对输！送，可燃气体的》管，。。路系：统，。应以：排出口吹扫气—体中含氧量小于1％！为合格
》
— 检查数》量，按系：统全数检查
】
检！验方法观察检查【、，。仪，。表检查
》
