2  【术语、？。缩略语 》 ： —2.1？  术  》  语 》 —2.0？.1  洁净—厂房  ind【ustria—l clean【r，oo：m 》    》 对用于产品—生产的洁净》室，与相关受控环—境以及？为，。其服务的动》力，公，用设施的总称—  》 2.0.—2  洁《。净度等级《  clas—sificat【io：n  】   洁《净室(区)内悬浮粒！子洁净度的》水平给出规定粒径】粒子的最《大允：许浓度？用每立方米空—气中的粒子数量【表示 《 2.0.】3  ？漏风量？    air s！ystem lea！ka：ge ra》tio 【     —风管系？统，。中，在某一静《压下通过风管、附】件，及其接口在单—位，时间内泄漏或—渗入：。的空气体《积量 2！.0.4  漏【光，检测    —。air？ ，。leak che】ek w《ith ligh】ting 【 ：  ： ，  采用强光—源对风管《的咬口、接缝、法】兰及其连接处进行】透光检查确定孔洞】。、缝隙等渗漏部位】及数量的方法— ？ 2.0.【5，  特种气体   ！ s：pecial— ，gas ！    指》电子产？品生产？过程中？使用的硅烷、—磷烷、乙硼烷、砷】烷、四？氯化：硅、：氯气等具有》可燃、有毒》、腐蚀或窒》息等特性的气—体 ： 《 ， 2.0.6—。。  化学品  【chemical】 ？ ，   《 ，。 指产品生产过【程中使用的酸、碱】、有机溶剂、有机物！质和氧？化物等 】 2.0《.7  配管 【 pipi》ng： ？     洁净！厂房中用以输送、分！配工艺用水》、纯水、各类气【体，、化学品等的—管路系统的》管子、？附件、管《件、法？。兰，、螺栓？连接件、垫片、阀门！和其他？组成：件的组装总》成 《 ， ， ，2.0.8  射线！照相：检验  ra—d，iogr《aph？ic examin！ation —。   【 ， 对指定的一批配管！的，全部：环向对接焊缝—所做的全圆》周射：线检验和对》纵焊：缝所做的全长度射】线检验 》