2 — ，术语、缩略语 】 — 2.1 — 术    语 ！。 2.】0.1  》洁净厂房  ind！。ustrial【 cl？eanroom【  【   对用于产【。品生产？的洁净室与相—关受控环境以及为】其服：务的动力公用设施的！总称  】 2.0《.2  洁》净度等？级  c《lassi》。。fi：ca：tion ！   ？。。  洁净室(区【。。)，内悬浮粒子》洁净度的水》平给：出规：定粒径？粒子的最大》允许浓度用每—立，方米空气中的粒子】数量：表示 》 2.0.3 ！ 漏风量  —  air s【yst？em lea—kag？e ra《t，io ？ 》    《风管系统中在某一】静压下通过》风管、附件及其【接口在单位时间内】泄漏或渗入的空【气体积量 ！ 2.0.4 【 漏光检测 —。。   ？air l》eak？ cheek— with —lighti—。ng  ！   采用强光【源对：风管的咬口、接【缝、法兰及其连【接处进行《透光：检查确定孔洞—、缝：隙等渗漏部位及数量！的方法？ 2【.0.？5  特种气体 】   spec【ial g》。as 【     指电【子产品生产》过程中使用》的硅烷、磷烷、【乙硼烷、砷烷—、四氯化《硅，、氯：气等具有可》燃、有毒、腐—蚀，或窒息等《特性的气体  【 2.0.！6  化学品 【 ch？e，mical — ：     【。。指产品生《产，过程中使用》。的酸、碱《、有机溶剂、有机物！质和氧化物等 【 ， 2》.0.7  配管 ！ p：iping ！     洁净厂！。房中用以输》送、：。分配工艺用水、纯】水、各类气》体、化学品》等的管路系统的管子！、附件、管件—、法兰、螺》栓连接件、垫片【、阀：门和其？。他组成件的组装总成！ —2，.0.？8 ： 射线照相检验【  radi—o，gra？p，hic e》。x，amina》tio？。n， ，   【。  对指定的—一批配管的全部【环向对接焊缝所做的！全圆周射线》检验和对《纵，焊缝所做的》全，长度射线检验 【 ，