2  【术语、？缩略语 】 2.1】  ：术    》语 — ， 2？.0.1  洁净】厂房  indus！trial cle！anro《om：。 》     对用于产！品生产？的洁：。净室与相关受控【环境以及为其—服务的动力公—用设施的总称  】 ： 2.0—.2 ？ 洁净度等》级，  classif！icati》on 《     】洁净室？(区)内悬浮—粒子洁？净度的水平给出规】定粒：径粒：子的最大允许浓度用！每立方？米空气中的粒子数量！表示 ？ ？ 2.0.3  ！漏风：量    air ！syst《em leaka】ge ratio】 ，     ！风，管系统中在某一静】压下通？过，风管、附件及—其接口在单位时间内！泄漏或渗入》的空气体积量— ， ， 2.0.4！  漏？光检：测   《。。 air l—eak ch—eek wit【h light【。in：g —     采用强】光源：对风管？的咬口、接缝、法兰！。及其连接处进行【透光检查确定孔洞、！缝隙等渗漏部位【及数量？的方法 【 2.0.—5 ：。。 特种气体》    sp—ecial ga】s —     指—电子产品生产过【程中：使用的硅烷、磷烷、！。。乙硼烷、《砷烷：、四氯化硅、氯气】等具有可燃、有毒】、，腐，蚀或窒？息等特性的气体  ！ 2.0】.，6  化《学品  chemi！cal？。 》     指产品】生产：过程中使《用的酸、碱、—有机溶剂、有—机物质和氧化—物，等 2.！。0，。.7  配管  】p，ipi？ng 》  《   洁净厂房中】用以：输送：、分配工艺》用水、纯水、各【类气体、化学品等】。的管路系统》的，管子、？附件、管件、法【兰、螺栓《连接件、垫片、阀门！和其他组成》件的组装总》成 ？ 2.0.】。8  射线照相【检验  r》adiograp】hic？ exa《mina《ti：on：   】  对指定的一【。批配：管的：全部环向对》接焊缝？所做的全圆周—射线检验和对—纵焊缝所做的全【。长度射线检》验 ？