2  术语！、缩略语 ！ 《 2.1《  术    语】 》 2.0—.1  洁净厂房】  in《dust《rial《 cl？eanroom【   】  对用于产品生】产的：洁净室与《相关受控环境以【及，为其服务的动力【公用设施的总称【  【2.0？.2  洁净度等级！ ， classif】ication 】  —   ？洁净室(《区)内？悬浮粒子洁净—度的水平《给出规定粒径—。粒子的最大允许浓】度用每立方米空气中！。的粒子数量表示【 2.】0.3  》漏风量    【air syst】em l《ea：kage rat】io  ！。   风管系—。统中在某一》静压：下，通过风管《、附件及其接口【在，单位时间内泄—漏或渗入《的空气？。体积量 — 2.0.4 ！ 漏光检测》。 ，   air 【leak chee！k， with l【ighting ！ ：   《  采用强光源对风！管的：咬，。口、接缝、法兰及】其连接处进行透光】检查确定孔洞、【缝隙等？渗漏部位及数量的】方法 【。 2：.0.5  特种】。气体   》。 special】 gas 】 ：    《指电子产品生产【过程中使用的硅【烷、：磷烷、乙硼烷—、，砷烷、四氯化硅、】氯气等？具有可燃《、有毒、腐蚀或窒息！等特性的气体  】 ： 2.0—.6  化学品【 ， c：hemical 】 ：     【指产：品生产过程中使用】的酸、碱、有机【溶剂、有机物质和氧！化，物等 】2.0.7  配】管 ： ，。pi：ping 】 ：    洁净厂房中！用以输送、分配【工艺用水、纯水【、各类气体、—化学：。品等的管路》系统的管子、附件】。、管件、法》兰、螺？栓连接件《。、垫片、阀》门和其他《组成件的组》装总成 【 2.0.8【  射线照相—检验  rad【。iograp—hic 《examina【tion 】    》 对指？定的一批配管的【全部环向对接焊缝所！做的全圆周射—线检：验，。和对纵焊缝》所做的？全长度射线检验 ！