2》  ：术语、缩略》语 】 2.1 【 术  《  ：语 ？ ， 2.【0.1  》洁净厂房  i【ndustr—i，al cleanr！oom 》 ，。 ？    对》用，于产品生产的—洁净室与相关—受控环境以及—为其服？务，的动力？公用设？施，的总：称  【 2.0《.，2  ？洁净：度等级 《。 c：las？sificat【。ion 【     洁【净室(区《)内悬浮粒子洁净】。度的水？平给出规定粒—径粒子的最大允许】浓度用每立方米空】气中的粒子数—量表示 》 2.0.3！  漏风量   】 air sys】tem leaka！ge rat—io 】    风》管系统中在》。某一静压下通过风管！、，附件及其接口在单位！时间内泄漏或渗入的！。空气体积量 — ？ 2.0.4  ！漏光检测 》   ai》r leak c】heek w—ith li—ghtin》g 《     采用！强光：源对风管的咬口、】接缝：、法兰及其连接【处进行透光检—查确定孔《洞、：缝隙等渗漏》部位：及数量的方》法 ： 》2.0？.5  特种气体】 ，   spec【ial gas【 — ，   指电》子产品生产过程【中使用的《硅烷、磷烷、乙【硼烷、砷《。烷、四氯化硅、【氯气等？具有可？燃、有毒、腐蚀【或窒息等特性的气体！  ？ ： 2.《。0.6 《 化学品  che！mic？al 】   ？ 指产品《生产过程中使用的酸！、碱、？有机溶剂、有机【物质和氧化》物等 ？ 2.【0.7  配—管  pip—ing？ ，    】 洁净厂房中用以输！送、分配《工艺用水、纯水、】各，类气体、化学品【等，的管路系统的管【子、附件、管件【、法兰、螺栓连接件！、，垫片、阀门和其他】组成件的组装总成】 ？ ， 2.0.8  ！射，线照：相检验 《 r：adi？ographic ！exa？minatio【n —   ？  对指定的一【批，配，管的：全，部环向对接焊缝【。所做的全圆》。周射线检《验和对纵焊缝所做】的全长度射》线检验 》