2 术语!、缩略语
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《
2.1《 术 语】
》
2.0—.1 洁净厂房】 in《dust《rial《 cl?eanroom【
】 对用于产品生】产的:洁净室与《相关受控环境以【及,为其服务的动力【公用设施的总称【
【2.0?.2 洁净度等级! , classif】ication
】
— ?洁净室(《区)内?悬浮粒子洁净—度的水平《给出规定粒径—。粒子的最大允许浓】度用每立方米空气中!。的粒子数量表示【
2.】0.3 》漏风量 【air syst】em l《ea:kage rat】io
!。 风管系—。统中在某一》静压:下,通过风管《、附件及其接口【在,单位时间内泄—漏或渗入《的空气?。体积量
—
2.0.4 ! 漏光检测》。 , air 【leak chee!k, with l【ighting
!
:
《 采用强光源对风!管的:咬,。口、接缝、法兰及】其连接处进行透光】检查确定孔洞、【缝隙等?渗漏部位及数量的】方法
【。
2:.0.5 特种】。气体 》。 special】 gas
】
: 《指电子产品生产【过程中使用的硅【烷、:磷烷、乙硼烷—、,砷烷、四氯化硅、】氯气等?具有可燃《、有毒、腐蚀或窒息!等特性的气体
】
:
2.0—.6 化学品【 , c:hemical
】
:
【指产:品生产过程中使用】的酸、碱、有机【溶剂、有机物质和氧!化,物等
】2.0.7 配】管 : ,。pi:ping
】
: 洁净厂房中!用以输送、分配【工艺用水、纯水【、各类气体、—化学:。品等的管路》系统的管子、附件】。、管件、法》兰、螺?栓连接件《。、垫片、阀》门和其他《组成件的组》装总成
【
2.0.8【 射线照相—检验 rad【。iograp—hic 《examina【tion
】
》 对指?定的一批配管的【全部环向对接焊缝所!做的全圆周射—线检:验,。和对纵焊缝》所做的?全长度射线检验
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