2  【术语、？缩略语 【 2【.1  术   】 ，语 ？ ， 2.0.！1 ： 洁净厂房 — in？du：s，trial cle！anroom 【 《     》对，用于产品生》产，的洁净室与》相关受控《。。环境以及为其—服务的动力公用【设施的总称  【 2.0】。.，2  洁净度等级】  c？lassif—ica？ti：on ？    】 洁净室(区)【。内悬浮粒子洁—净度的水平给出规】。定粒径粒子的最【大允：。许浓度用每立方【米空气中的》粒子数量表示 ！ ？2，.0.3  —。漏风量    ai！r sys》t，em leaka】ge rat—io 【 ，   ？ 风管系统中—在某：一静压下通过风管、！。附件及其接口在【。单位时间内泄—漏或渗入的空气【体积量 — ？2.0.4 — 漏光检测  【 ， air lea】k ：chee《k with 【lighting】    ！ 采用强光源对风】管的：咬口、接缝、法兰】及其连接《处进行透光检查确定！孔洞、缝隙》等渗漏部位及数量】的方法？ ， ， ？ 2.0.5 【。 特种气体 —   spe—。cial 》g，as 【    《。 ，指电子产品生产【过程：中使用的硅烷、磷烷！、乙硼烷《、砷烷、四氯化硅、！氯气等具有可燃、有！。毒、：腐蚀或窒息等特【性，的气体  】 2.0.6【  化？学，品  chemi】cal 【。    》 指产品生产过程中！使用的酸、碱—、有机溶剂》、有机物质和—氧化物？等 — 2.0.》7，  配管《  piping】  【  ： 洁净厂房中用以输！送、分？配工艺用水、纯水、！各类气体、化学【品等的管路》系统的管子》、附件、管》件、法兰《、螺栓连接件—、垫片、阀门和其】他组成？件的组装总成 】 ？ 2：.0.8  射线照！相检：验 ： rad《i，ographi【c， ，exami》nat？ion —。     对指！定的一？批配管的全部环向】对接焊缝所做的【全圆周射《线检：验和对纵焊》缝所做的《全，长度射线《检验 《