： ：2，  术语《、缩略语 ！ 》。2.1？  ：术    语— 《 2.0.1！  洁净厂》。房  in》dustrial ！cleanr—oom 】 ，    对用于【。产品生产的洁净【室与相关受控—环，境以及为《其服务？。的动：力公用设施的总【称  《 2.0.】2  洁《。净度：等，级，。  clas—sifica—tion 》 ，。 ？     》洁净：室(区)内悬浮【粒子洁净度》的水平？给出规定粒径粒【子的最大允许浓【度用每立《方米空气中的粒子数！量表示 — 2.0.【3  漏风量—    《air s》ystem lea！kage rati！o —    《 风管系统中在【某一静压下通—过风管、附件及其】接口在单位时间【。内泄漏或渗入的空气！体积量？ 2.】0.4 《 漏光检测   】 air leak！ c：heek w—ith li—。ghti《n，g   ！  采用强光—源对风管的咬口【、接缝、法兰及【其连接处《进行透光检查确定孔！。洞、缝隙等渗漏部】位及数量的方法【 ： 2》.0.5  —特种气体 》。   spec【ial gas ！ ， ？   ？ 指电子产》品生产过程中使【用，的硅烷、磷烷、乙】硼烷：、砷烷、《四氯化？硅、氯气等具有可】燃、有毒、》腐蚀或窒息等特【。性，的气体  — 2.0.6！  化学《。品 ： chemica】l —  ：   指产品生【产过程中使用的【酸、碱、有机溶剂】、有：机物质和氧化—物等 【 ，2.0.7  配管！  pipin【g ： ：   》  ：洁净厂房中用—以输送、分配工艺用！水、纯水《、各类气体、化【学品等的管路系统】的管子、附》件、：管，。件、法兰、》螺，栓连接件、垫—片，、阀门和其他组成件！的组装总成 【。。 《2，.0.8《 ， 射线照相检—验  radi【ographic】 examinat！i，on 《 ：  ？ ，  对？指定的一《批配管的全》部环向对接焊缝所做！的全圆周射线检验和！。。对纵：焊缝所做《的全：长度射？。线检验 》