： 2 《 术语、缩略语 】。 ： ？ 2.—1  术 》   ？语 ：。 《 2.》0.1 《 洁净厂房 — indu》stria》l cle》anroom ！   》  对用于》产品生产的洁净室】与相关受控环境以】及为其服务的动力】公用设施的总—称，  — 2.0《.，2  洁净度—等级：  class【ificatio】n ？  》   洁《。净室(区)内悬浮】粒子洁净《度的水平给》出规：定粒径粒子的最大允！。许，浓度：用每立方《米空气？中的粒子数》量表示 】 2.？0.3  漏风量 ！   air sy！。。stem l—eaka《ge rat—io  ！   ？。风管系统中在某【一静：压下通？过风管、附件—及其接口在单位时间！内泄：漏或渗入的》空气：体积量 】 ，2.0.4》  漏光检测 【 ，  ai《r l？eak c》heek wit】h light【ing — ，     采用】。强光源对风管—的咬口、接缝、法】兰及其连接处进【行透光？检查确定孔洞、【缝隙等渗漏部位及】数量的方法 — ， 2.0.】。5  特《种气体？    spe【cial gas ！  —   ？指，电子产品生产过程中！使用的硅烷、磷烷、！乙，硼烷、砷烷、—四氯化硅、氯—气等具有可燃、【有，毒、腐蚀或窒息【等特性的气体—  —。 2.0.》6  化学品  】che？mi：ca：l —     指—产品生产过》程中使用的酸、碱、！有机溶剂、有—机物质和氧》化物等 【 2.0》.7  配管—  p？iping》 ？     【洁净厂房中用—以输送？、分配工艺用水、纯！水、各类气》体、化学品》等的管路系统—的管：子、附件、管件【、法兰？、螺栓连接件、垫片！。、阀门和其》他组成件的》组，装，总成 — 2.0.—8  射线照相检验！  radi—o，g，r，aph？i，c e？xamin》atio《n ： 》。  ：  ：对指定的一批配【管的全部环向对接焊！缝所做的全圆周射线！检验和？对，纵焊缝所做的全长度！射线检？验 ？