2  术】语，、缩略语 】 ？ ？2.1  术  】  ：语 【 2.0.1  ！洁净厂房  i【ndustrial！ cleanro】om  ！   ？对用：于产品？生，产的洁净室与相关】受控环境以及为其】服务：的动力公用设施的】总称  》 2.0.】2  洁净度—等级  《cla？ssifi》。cation 【    】。 洁净室(区)【内悬：浮粒子洁净》度的水平《给出规定粒径粒【子的最？大允许浓《度用每立方米空【气中：的，。。粒子：。。数量表？示， 2.0！.3：  ：漏风量   — air s—y，stem le【aka？ge： ，ratio 】。 ？  ：。。  风管系统中【在，某一静压下》通过风？管、附件及其接口】在单位时《。间内泄漏或渗—。入的空气体积—。量 【2.0.《4  漏光检—测    a—ir l《eak cheek！ wi？。th l《ighti》ng ？。 ，    【 ，采用强光源》对，风管的咬口、—接缝、法兰及其【连接处进行透光检】查确定孔洞、缝隙等！。。渗漏部位《及数量的方法 】 《。2.0？.5  《特种：气体    —speci》al gas ！。     指电！子产品生产过程中】使用的硅烷》、磷烷、乙》硼烷、砷《烷，。、，四氯化硅、氯—气等具有可》燃、有？毒，、腐蚀或《窒息等特性》的气体  — 2.0.6！  化学品  c】。hem？ical 】 ，     指产【品生产过《程中：使用的酸、碱、有】机溶剂、有机物质和！氧化物等 ！。 2.0.》7，  配管  pi】ping 】 ，。     洁净厂】房中用？。以输送、分配—工艺：用水、纯水、—各类气体、化学品】等的管路系统的【管子、附《件、管件《、，法兰、螺栓连接【。件、垫片《、阀门和其他—组成件的组》装总成 《 2—.0：.，8  射线照相检验！ ， ra？dio？graphic【 exa《mi：nation ！   》  对指《定的一批配管—的全部环向》对接焊缝所做的全圆！周射线检《验和对纵焊缝所【做的：全长度射线检验 】 ，