2  术】语、缩？略语 【。 《 2.1《  ：。。术   《 语 — 《2.0？.1  洁净厂房 ！ indust【ria？l cleanr】oom 《    】 对用于《产品生产的洁净室】与相关受控环—境以及为其》服务的动力》公用设施的总称  ！ ， ？ 2.0.2—  洁净《度等级  》classifi】cation ！ ？    洁净—室(区)内》悬浮粒子《洁净度的水平给【出规定粒径》粒子的最大》允，许浓：度用每立方米空气中！的粒子数量表示 ！ 2》.，0.3  漏风量】    ai—。r sys》tem l》。ea：ka：ge ratio ！    】 ，风管系统中在某【一静：压，下通过？风，管、附件及》其接口在单位—时间内泄《漏或渗入的》空气体积量 —。 2.【0.4？  漏？光检测  》  ：air leak ！cheek w【i，th light】ing 【     采用强！光源对？。风管的咬《口、：接，缝、法兰及其连接】处进行透光》检查确定孔洞—、缝隙等渗漏部【位及数量《的方法 】 2.0《.5  特种—气体   》 sp？ec：。ial gas【 ？  《   指电子产品生！产过程中《使用的硅烷、磷【烷、乙硼烷、砷烷、！四氯化硅、氯—气，等具有可燃、有毒、！腐蚀或窒息等特【性的气？体  《 2.0【.6  化学品  ！chem《ical 】     指产】品，生产过程中使用的】酸、碱、有机溶剂】、有机？物质和氧化物等【 2.0！.7  配管  p！iping ！     —洁净厂房中用以输送！、分配工艺用水、纯！水、各类气体—。、化学品等的管路】系统的管子、附【件、管件、法兰【、螺栓连《接件、垫片》、阀：门和其他组成件的组！装总成 】 2.？0.8  》射线照相检》。验  radiog！raphic e】xa：mi：nation 【    】 对指定的一批配管！的全部环向对接焊】缝所做的全圆周【射线：检验和？对，纵焊缝？所做的全长》度射线检验》。 ：