：。 2  术语、】缩，略语 ？ ： ， ， 《 2.1  术 】。   语 【 《 2.0.1—  洁净厂》房  indus】tr：ia：。l ：。clean》roo？m   ！  对用于产—品生产的洁净室与相！关受控环境以及【为其服务的动—力公用设施》。的总称？  》 2.《0.2  》洁净度等级  c】l，assific【a，t，ion 》 ， ：     洁净室】(区)？内悬浮粒子洁—净度：的，水平：给出规？定粒径粒子》的最大允许浓—度用每立方米—空气中的粒子—数量表示 】。 2.0.3【  漏风量  【  air sys！tem 《leak《age 《rati《o —    《 风管系《统中在某一》静压下？通过风管、附件及】其接口在单位时间】内泄漏或《。。。渗入的空《气，体积量 【 2.0.—。4  ？漏光检测《    air 】leak《 c：heek with！ lig《hting 【     】采用强光源》对风管的咬》口，、接缝？、法兰及其连接处】进行透光检查—确定孔洞、缝隙【等，渗漏部位及数—量的方法 — ？ 2.0.5  】。特种气体    】sp：ecia《l gas 】  《   指电》子产品生产》过程：中使用的硅烷—、磷烷？。、乙硼烷、砷烷【、四氯化硅、—氯气等具有可燃、有！毒、腐蚀或窒—。息，等特性的气体—。  【2.0.6 — 化学品  ch】emi？cal 【 ，  ：   ？指产品？生产过？程中使用的》。酸、碱？、，有机：溶剂、有机物—质和氧化物》。等 《 2.》0.7  配管 】 ，piping—   】 ，。 洁净厂房中—用以：输送、分配工艺【用，。水、纯水《。、各类？。气体、化《。学品等的管路系统的！管子、附件、—管件、法兰、螺【栓连：接，件、：垫片、阀门和其他】组，成件：的组装总成 【 2》.0.？8  ？。射线照相检验  r！adiogra【p，h，ic exa—mination ！     ！对，指定的一批配—管的全部《环向对接焊缝所做的！全圆周射线检—验，和对：。。纵焊缝所做的全长度！射，线检验 》