2  【术语、缩略》语 《 2.！。1  ？术    》语 ！2.0？.1 ？ 洁净？。厂房  《indu《stri《al clea【。n，room ！  ：   对用于—产品生产《。的洁净室与相关【受控环境以及为【其服：务的：。动力：公用设施的》总称  《 2.【0.2  洁净度等！级  ？c，lassi》fica《tion《 》  ：   洁净室(【区)内悬浮粒子【洁净度的水平—给出规定粒径—粒子的最大》允许浓度用每立方米！空气中？的粒子数量》表示 ？ 》2.0.3 — ，漏风：。。量 ：   a《ir sys—te：m leakag】e， rat《io —     风【管系统中在某一静压！下通过风管、—附，。件及其？接口在单位时间内】泄漏或？渗入的空气体—积量 》 2.0.【4  漏《光检测    a】ir leak 】chee《k ：with lig】hting ！     —采用强光源对风【管的咬口、接缝【、法兰及其连接处进！行透光？检查确定孔》洞、缝隙等渗漏部】位及数？量的方法 】 ， 2.0.5 【 ，特种气体   【。 sp？。ecial gas！  【   指电子产品】生产过程中使用的】硅烷、？磷烷：、乙硼烷《、，。砷烷、四氯》化硅、氯《气等具有可燃—、有：毒、腐蚀《。或窒息等《特性的气《体  】2.0.《6  化学品—  chemica！l  】   指产》品，生产：过程中使用的酸【、碱、有《机溶剂、有机物【质和氧化物等— 《 2.0.7【  配管  —。piping 【    】 洁净厂房中用【以输送？。、分配工艺用—水、纯？水、各？类气体、化》学品等的管路系统】的管子、附件、管】。件，。、法兰？、，螺栓：连接件、垫片、【阀门和其他组成件】的组装总成 — 2—.，。0，.8  射线照【相检验  》radio》graphic 】examin—ation》 》     对指【定的一批配管的【全部环向对接—焊缝所做《的全圆周射》线检：验，和对纵焊《缝所：。做的全？长度射？线检验 》