2  【术语、缩略语 【 ！2.：1  术    】。语 — 2.0.1 ！ 洁净厂房  in！dus？trial cle！anroom 【 ，   —。 ，。 对用于《产，品生产的洁净室与】相关受控《环境以及为其服务】的，动力公用设施的总】称  【 2：.0.2《  洁？净，度等级 《 c：lassific】。ation 【 ：  ？   洁净》室，(区)内悬》浮粒子洁净度的水平！给出规？。定粒径粒子的—最大允许浓度用每】立方米空《气中的粒《子数量表《示 ？ 2.—0.3  漏风【量 ：  ： ，ai：r system】 leakage ！ratio —。 《     风—管系统中在》某一静？压下通过风管、【附件及其《。接，口在单位时间—内泄漏或《渗入的空《气体积量 — 2》.0.4  漏光】检测    air！ l：eak 《chee《k， w：ith 《li：ghting 】 ，    — 采用？强光：。源对风管的咬—口、接缝、法兰及】其连接处进行透光】检查：确定孔洞、缝隙【等渗漏部位》及数量的方法— 2.0！.5 ？。 特：种，气体    sp】eci？al gas 【     ！指电子产品生产过程！中使用的硅烷、磷烷！、，乙硼烷？、砷：烷、四氯化硅、氯气！等具有可燃、有毒】、腐蚀或《窒息等特性的气【体  ？ 》2.：0.6  化学【品  c《hemical【 ？ ：。    《 指产品生产过程】中使用的酸》、，碱、有机溶剂、有】。机，。物质和氧化物等 】 《 ，2.0.7  配管！  pi《。ping《   】 ， 洁净厂房中—用以：输送、分配工艺用】水、纯水、各类【气体、化学品等【。的管路系《统的管子、》附件、管《件、法兰、螺栓连接！件、垫片《、，阀门和其他组成件的！组装总？成 2】.0.8  射线照！相检验  ra【diographi！c examin】atio《n  】 ，。 ， ，。对指定？的一：批配管的全部环【向对接焊缝所做的全！圆周射线检》验和对纵焊缝所【做的全长度射线检】验 ：。 ，