2 — 术语？、缩略？语 】 ， 2.1 — 术    语 】 《 2.》0.1？  洁净厂》房  ind—ustrial【 clea》nroom 】 ？。    对用于产】品生产的洁净室【与相关受控环境以及！为其服务的》动力公用设施的总称！  —。 2.0.2  洁！净度等级《 ， ，classi—f，icati》on — ：    洁》净室(区)内—。悬浮粒子洁净度的】水平给出规定—粒径粒子的最大【允许浓度用每立【方米空气中的粒子】。数量表示《。 2【.0.3《 ， 漏风量   【 air sys】t，em： leak》age rati】o， 》     风—管系统中在某—一静压？下通过风管、附件及！其接口在单位—时间内泄《漏或渗入的空气【体积量 【 2.《0.4  漏光【检测    ai】r l？ea：k cheek 】with lig】htin《g 《。     采用！。强光源对《风管的咬口》、接缝、法兰—及其：连接处进《行透光？检查确定《孔洞、？缝隙等渗漏》部位及数量的方法 ！。 2.0】.，5  特种气体  ！。  s？pecia》l gas — ， ？ ，  ：。  ：指电子产品生产过程！。中使用的硅烷、磷烷！、乙硼烷、砷烷、】。四氯化硅、氯—气等具有可燃、【有毒、腐《蚀或窒息等特性的】。。气，。。体  》 ：。 2.0《.6：  化学品》  chemi【cal ！  ：  ：指产品生产过程中】使用的酸《、碱、有机溶剂、】有机物质和氧化物】等 2.！0.7  配—管  piping！ ： 《   ？ 洁：净厂房？中用以？输送、分配工—艺用水？、纯水、各类气体】、，化学品等的管—。路，系统的管子、附件、！管件、法兰、螺栓】连接件？、垫片、阀》门，和其他组成件的组】装总成？ 2【。.0.8《  射线照》相检验  radi！ographic】 examin【ation ！    》 对指定的一批配】管的全部环向对接焊！缝所做的全》圆，。周射线检验和对纵】焊缝所做的全—长度射线检验— ：