2 — 术语、缩略—语,
《
2.1! ,。 术: 语
!
《2.0.1》 洁净厂房— ind》ustrial 】cleanr—。oom?
》
对用【于产品生产的洁净室!与相关受控》环境:以,及为:其,服务的动力公用【设施:的总称
】
2.0.2 】 洁:净度等级 》。 cl?a,ssificati!。on
—
《 洁净室(区【。)内悬浮《粒子洁净《度的水平给出规【定粒径粒子的最【大允许浓度用每【立,方米空气中的粒子数!量,表示
《
2.0.】3 漏风量— ai—r system !l,ea:kage《 rati》o
! :风管:系统中在某一静压下!通,过风管?、附件及其接—口在单位时间内泄漏!或渗入的空》气体积?量
《
2.0.4】 漏光检》测 ? air le】ak cheek】 with —light》i,ng
《
《 《。采用强光源对风管】的,咬口、接《。缝、法兰及其—连接处进行透光检查!。确定:孔洞、缝隙等渗漏】部位及数量》的方法
》
2.0【.5: 特种气》体, :。。 speci【al: gas
】
》 指:电子产品生产过程】中使用的《硅烷、磷烷、乙【硼烷、砷烷、四【氯化硅?、氯气等具有—可,燃、有毒、腐蚀或窒!息,等特性的《气体:
《
2.0.6】 化学品 【che?。。mica《。l
》
?。 指产》品生产过程中—使用的?酸、碱、《有机:。溶剂、有《机物质和氧化—物,等,
?
2.0.7】 配管 》 pipi》ng
】 , 洁净厂房【中用以输送、—分配工艺用水、【纯水、各类气—体、化?学品:等的管路系统的管子!、,附件、?管件、法兰》、螺栓连接件、【垫片、阀门和其他组!成件的组装总成【
2.】0.8 射线照】相检验 radi!ographic !examinat】ion
】。
《 对指定的一批配】管的全?。部环向对接》焊缝所做的》全圆周?。。射线检验和对纵焊缝!所,做的全长度射线检】验,
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