3》.4  设备—安装 — 3.4.1！  本条规定了【设备的安装要求 ！。 《。  ：  1  为便【于操作和维修并考】虑设备？周围工作空间—、危：害与安全等有—关的人？、机、环境工程方面！的要求设备定位【时应预留《电气箱全《开空间和《操作、维修空间；】    ！ 4  微组装生】。产设备及检测设备】多属于精密设备【它们的安《。装是否采用》良好的防《微振措施对它们的】性能影响很》大也是能否充分【发，挥设备所具特性的关！键本款就精密设【备的防微振基—础和安装要求按近十！几年的经验》。作出：基，本的规定《 ： ， 3.4—.2、3.》4.3 《 微组？。装生产设备一般不在！基，础上：安，装基本都是在地坪】上或台面上直—。接安装因此分—。别对在？。。地坪上安装和在【台面上？。安装的设备提出了】必要的要求 ！ ， 3.4.4—  为降低设—备振动？和维持设备精度需】精确调整设备水平用！水平仪调《整设：备水平的方法—如下 《   —  (1)将水平仪！放，置，。于工作台上待气【泡稳定后《记录其位置》在原处旋转1—80°？待气泡停止》时与：0°时？比较允许误差—在1／3格以内； ！    】 ，(2)移动X、Y、！Z，主轴使其《回，归原：点再将？X轴、Y轴移至【行程中点《； 【    (3—)将水平仪“—。”形：放置于工作台中央】；   ！  ：(，4)调整《地脚螺栓将水平【气泡调至中间点； ！ ，     (！5)移？动Y：轴测量前、后两点】根据两？支水平仪《的气泡？走向调整地脚螺栓】； ？。 《。    (6)【顺时针方《。向，调整气？泡低处的《地脚螺栓直到—前后两？点的X、Y、Z【平面水？。平仪在1／4格【以内Y、《Z平面水《平仪在2格》以内； —     (7！)，调整：完成：后将Y轴移至行程中！。。央处X、Z及Y、】Z平：面上的？水平仪气泡应在中央！位置； 】    《 (8)移》动Y轴前《、中、后三点—测量：。最大差值《为2格？；   ！ ， (9)移动X轴】前、中、后三点测量！。最大差值为》2格；？ —  ：  (1《0)固？定地脚螺栓上的锁】紧螺母.水平调整完！毕 — 3.4.5  】为，了保证操作时的安】全本：条，对设备的安全接【地作出？规，定(安全接地与防】静电接地不同)对于！粘片机、共》晶机、键合机等小】型手动设备设备控制！台后：一般都设有接地接线！柱 ？