3》.4 设》。。。备安装
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3.4.1 ! 本条规《定了设备《的安装要求
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》1 为《便于操作和维修【并考虑设备周围【工作空间、危—害与安全等有关的】人、:机、环境工程—。方面的要求设备定】位时应?预,留电气箱全开空【间和操作、》维修:空间;
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《 4 微组—装生产设备及—检测设?备多属于精》密设备它《们的安?装是否?采用良好《的防微振措施—。对,它们的?性,能影响很大也—是能:。否充:分,发挥:设备所具特性的关键!。本款就精密设备【的防微振基》础和安装要求按近】十几年的经验作出】基本的规定》
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3.—4.2、3.4.3! 微组装生产设】备一般不在基础【上安装基本都是在】地坪:上或台面上》直接安装因此分【别对在地坪上安【装和在?台面上安装的设备提!出,了,必要的要《求
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3.4.!4 为降低设【备,振动和?维持设备精度需精确!调整:。。设备水平用》水平仪调《。整设备水平的方法】如下
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】 ,(1)将《水平仪放置于—工作台上待气泡稳定!。后记录其位置—在原处旋《转180°待气泡】停止:时与:。0°时比较允—许误差在1/3格】以内;
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【 (:。2,)移动X、》Y、Z主轴使其【回归原点再将X【轴、Y轴移至行【程中点;
【
》 (3)将—。水平仪“”》形放置于工作台中】央;:
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(】4)调?整,地脚螺栓将水平气】泡调至中间点—;
! (?5,。)移动Y轴测量【前、后两点根据【两,支水平仪的》气泡走向调整地脚】螺栓:;
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》(6)?顺时:针方向?调整气泡低处的地】脚螺栓?直到前后两》点,的X、Y《、Z平面水平—仪,在1:。。/4格以内Y—、Z平面水》平仪在2格以内;】
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(【7)调整《完成后将Y轴移至行!程中央处X、Z及Y!、Z平面上的水【平仪气泡应在中央位!置;
】。 (8)【。移动Y轴前、—中,、后三点测量最大差!值为:2格;?
—。 (》9)移动X轴前、中!。、后三点测量最大差!。值为2格;》
【 , :(,10)固定地脚螺栓!上的锁紧螺母.水平!调整完毕
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3.4》.5 为了保【证操作时《的安全本条》对设备的安全接地】作出规?定(安全接地—与防静电接》地不同?)对于粘片》机、共晶机、键合】机等小型手》动设备设备》控制台后《一般:都设有接地接线【柱
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