。 《3.4  设备安】装 】 3.4《.1  本条规【定了设备的》安，装要求？ ？。    — 1  《为便于操作和—维修并考虑设备周】围工作？空，间、危害与安全等有！关，的人、？机、环境工程方面的！要求设？备定位时应》预，留电气箱《全，开空间？和操作、维修空间】；，  【   4《。  微组《装生：产，设备：及检测设《备多：属于精？密设备它们的安【装是否采用良好的防！微振措施《对它们的性》能影响很大》。也是能否充》分发挥设备》所具特性的关—键本：款就：精密：设备：的防：微振基础和安装要求！。按近十几年的经【验作出基本的规定 ！ 3—.4.？2、：3.4.《3  微组装生【。产设备一般》不在基础上安装基本！都是在地坪上或台面！上，直接：安装因此《分别对在地坪—上安装和在台面上】安装的设备提出了必！要的要求 》 《 3.？4.4  》为降低设备振动和】。维，持设备精度需精确】调整设备水》平用水平仪调整【设备水平的》方法如下 】    》 ，(1)将水平仪放】置于工作台》上，待气泡？稳定后？记录其位置在原处】旋转180°待气】泡，停止时？与0：°时比？较允许误差在1／3！格以内； —。 《   ？ (：2)移动X、—Y、Z？主轴：使其回归原点—再将X轴、Y轴移】至行程中点；— 》     (3)将！水平仪“”形放置】于工作台《中央； 》    【 (4)调整地【脚，螺栓：将水平气泡调至中间！点； 【 ，    (5—)，。移动Y？。轴，测量前、《。后，两，点根据两支水平仪】的气泡走《向，调整地？脚螺：栓； 《     (！6)顺时《针方向？调整气泡低》处的地脚螺栓直到前！后两点的X、Y、Z！平面水平仪》在1／4《格以内Y《、Z平？面水：平仪在？2格以内；》。 ，     ！(7)调整完成后将！Y轴移至行程中央】处X、Z及Y、Z】平面：上，的水平？仪气：。泡，应在中央位置；【 《   《 ， (8)《移动Y？轴，前、中、《后三：点测：量最大差值为2格】； — ， ，   (9)移【动X轴前、》中、后三点测—量最大差值为2格】； 【    (10)固！定，地脚螺栓《上，的锁紧螺母.水平调！整完毕 】 3.4.》5 ： 为了保证》。操作时？的安全本条》对，设备：的安全接《地作：出规定(《。安全：接地与防静电接地不！同)对于粘片机、共！。晶机、键合机等小型！手动设？备设备控制台后【一般都？设有接？地接线柱 —