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1 总》 则
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1.0【.1 微组装技】术(MPT)是微电!路组:装技术的简》称,。它是在?高密度多层互—连基板?上用表?面安装和《互连工艺把构成电】子电路的各种—微型元器《件、集成电路芯片及!片式元件组装起【来形成高密》度、高速度、高可靠!性的三维立体机构的!高级微?电子组?件的技术由于—微组:装代表?了电子组装技术【的方向因而》受,到,了各国?的,极大关注从20【世纪7?0年:代末期开始美国、日!本和西欧等国家和】地区:就已着手研制—高,密度多?。层互:连基板许多》国际知名公司—都取:得了技术进展20】。世纪90年代—中期微组装技—术进入全面发展阶段!军,用电子装备》和高性能《计算机开始大—量采用该项》技术显示《出,其卓越的性能
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!工艺设备是微组【装制造的重要—组成部分“十一五”!期,间我国?加大:开展了微组》。装关键设备组—线技术研究成功【自主研制了整—线工艺设备并对【各,设备间?的数据对接》和共享、工艺基准】。一致性、工艺匹配】性、工装兼容性进行!。设计实现《了关键工艺设备【整线工艺贯通并在】工艺线上生》产出:了,合格产品同》时采用?组线/联试标准【测试版方法通—过对测试《版产品的性能—指标检验《合格与否来验证【微组装?生产线关键工艺【设,。备,组线时的《相关性能指标—合格与否
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? 由于微组装】组件制造技术复杂、!难度:。大,工艺参数敏感其制】造及测试工艺设【备属于精细》加工设备对设—备,的搬运、安装—、动力配《置、工艺环境控制、!单机试运转的要【求都有别《于通用设备或其他专!用,设备在国内无—参照:规范的?。情况:。下为:实现微组《装组件制造及测试设!备安装、验收的【规范化、合理化【、标准化确保微组装!设备安装质量—强化市场监》督编制?组根据多年来—设备使用《。单位、设备》。生,产单位、《设备安装《。。单位所掌握的安装】技术和经《验制定了本规范以】更好:地促进低《温共烧陶瓷技术在国!内的普及和微组【装,。装备业的发展
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1.0《.2: 微组装》制造技术主要包括多!。层基板制造、—组,。装和封装、可靠性检!测等目前应用—。较多的多层基—板主要?包括低温共烧陶瓷】厚膜多层基》板和薄膜多层基【板
】 本规范规定的!微组装生产线工艺设!备根:据其工艺过程和【使用:。功能的不《同分为四部》分即低温《共,烧陶瓷及厚》膜基板制造工艺设】。备、薄膜基板制【造工艺设备》、组装封装工艺【设备和工艺检测设备!
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