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1  【总    则— 《 : 1.《0.1  微组装】技术(MPT)是微!电路组装技》术的简称它是—在高密度多层—互,连基板上用表面【安装和互连工艺把构!成,电子电路的》各种微型元器—件、集成电路芯【片及片式元件组【。装,起来形?成高:密度、高速度、高】可,。靠性的?三维立体《。。机构:的高级微电子组件】的技术?由于微组装代表了电!子组装技《术的:方向因而受到—了各国的极大关注】从20世纪》70年代末期—开始美国、日本【和西欧等国家和【地区就已着手研制高!密度:多层互?连基板许多国—际知:。名公司都取》得了技术进展20】世,纪90年代中—期微组?装技术进《入全面?。发展阶段军》用电子装备和高性】能计算?机,。开始大?量采用该项技术显示!出其卓越《的性能 《   【  工艺设备是【微组装制造的重要】组成部分《“十一五”期间我国!加大开展了微组装关!键设备组线技术研】究,。成功自?主研制了《整线工?。艺设备并《对各设备《间的数据对接和共】享、工?艺基准一致性、工】艺,匹配性、工装兼容性!进行设计实现—了关键工《艺设备整线工艺贯】通并在工艺线—上生产出《了合格产品同时【采用组线/联试【标准测试《版方法?通过对测试版—产品的?性能指标检验合【格与否来验》证微组装生产线【关键工艺设备—组线时的相关性能指!标合格?与否 》    — 由于微组装组件制!造技:术复杂、《难度大?工,艺参数敏感其制造】及测试工艺设备【属于精细加》工设备?对设备的搬运、安】装、动?力配置、工艺环【境控制、单》机试运转的要求都】有别于通用》设备或其他专用设】备在:国内无参照规范的】情况:下为实现微组装组件!制,造,及测试设《备安装、验收的规】范化、合《。理化、标准化确【保微组装设备安【装质:量强化市场监督编】制组根据多》年来设备《使用单位、设备【生产:单位:、设备安装单—位,所,掌握的安装技—术和经验制定了本】规范以更好地促【进低:温共烧陶《瓷技术在国内—的普及和微组装装备!业的发展 】 1.0.2【  微组装制造技术!。主要包括多层基板制!造、组?。装,和封装、可》靠性检测《等目前应用较多【的多层基板主要包】括低温共烧》陶瓷厚膜多层基板和!薄,膜,多层基板 !  :   本《规范规?定的微组装生产线工!艺设备根据其工艺过!程和:使用功能的》不同分为四部分即】低温共烧陶瓷—及,厚膜:基板制?造工:艺设备、薄膜基板制!造工艺设备、组【装封装工艺设备【和工艺检测设备 !