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1.?0.1 微组装】技,术(MPT)是微电!路组装技术》的简:称它是在高密度多】层,互连基板上》用表面安装》和互连工艺把构成】电子电路的各—种微型元器件、集】成电路芯片及片式元!件组装起来形—成高密度《、高速度、高可靠】性的三维立》体机构的高级微电子!组,件的技术由》于微组装代表了电子!组装技术的方向因而!受到了各国》的,极大关?注从20世纪—70年代《末,期开始?美国、日本和—西欧等?国家和地区》就已着?手研制高密度多层】互连基板许多国际】知名公?司都取?得了技术《进展2?0,世纪90《年代中期微组—装技术进入全面发展!阶段军用《电,子装备和高》性,能计算机开始大量采!用,该项技术显示出【其卓越的性》能
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: 工艺—设备是?微组装制造的重要组!成部分“十》一五”期间我国【加,大开展了微》组装关键《设备组线技术研究成!功,自主研制了整线工】艺设备并《对,各设备间的》。数据对接和共享、】。工艺基准《。一致性、工艺—匹配性、工装兼容性!。进行设?计实现了关键工艺设!备,整线工艺贯通并在工!艺线上生产出了合】格产品同时》采用组线《。/联试标准测—试,版方法通过对测试】版产品?的性能指标检验【合格与否《来验证微组装生产线!关键工艺设备组线】时的相关性》能指:标合格与否
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【 由于微《组装组件《制,。。。。造,技,术复:杂、难度大》工艺参数敏感其制造!及测试?工艺设备属》于精细加工设备对设!备的搬运、安装、动!力配置、《工艺环境控制、【单机试?。运转的要求都有别于!通用设备或其他专用!设备在国内》无参照规范的情【况下为实现微—组装组件制造及测】试设备安装、验收】的规范化、合—理化、标准化确保】微,组装设备安装质量强!化市场监督编制组】根据多年来设备使】用,单位、设备生—产单位、设备安装单!位所掌握的安装【技,术和经验制定了本规!范以更好地促进低】温共烧陶《瓷技术?在国内的普及和微组!装装备业《的发展
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1.0.2】 微组装制造技术!主要:包括多层基》板制造、组装和封装!、可靠性《检测等目前应用【较多的多层基板主要!包括低温共烧陶【瓷厚膜多层基板【和薄膜多层》基板
! 本《规范规?定,的微:组装生产《线工:艺设备根据其工艺过!程和:使用功能的不—。同,分为四部分即低温共!。烧,陶瓷及?厚膜基板制造工艺】设备、薄《膜基板制造》工艺设备、》组装封装工艺设备和!工,艺,检测设备
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