。 6.7【 ， 等离子清洗机 ！ 》 6.7《.1  等离—子清洗？机的：。安装应符合下—列，规定 】   ？ 1  设》。。备的真空泵应安【装在稳定的地坪面上！并应配有《衬垫； —    — 2 ？ 应根据设备对电源！的要：求设置相应》的电源？插座： ， 6—.7.2  —等离子？清，。洗机的？调试及试运》行应：。符合：下列规定《 ，   【  1  启—动真空？泵运行时噪声、振动！应，符合要求腔体—真空度可《在规定时间》内降到？。规，定值； 》 ：     2 】 箱内应《安装不同《极，性的承物架以放【置试运行样品； ！。 《  ：  3  接—入各种？工作气？。体并应按设备的【。。要求调节气压并【试触发电离时工作气！体的颜色应》符合要求；》 ：     4！。  应设置清洗功率！、清洗时间、清洗顺！。序；  ！   5  应使】用不同的工作—气体对样品进行【清洗再取出》样品进行清》洗效果检定应满【足要求 》