6》.7： ， 等离子清洗机 】。 ， 《 ， 6.7.》1 ： 等离子《清洗：机的安装应符—。合下列？规定 ？ ， ：     —1  设备的—真空泵应安装—在稳定？的地坪面上并应配】。有衬垫； ！    《 2：。。  应根据》设备对电源的要求】设置相应的电源插】座 ？ ？ 6.7.2  】等离：子清洗机《的调试及试运行【应符合下列》规定 —  ？   1 》 启动真空》泵运行时噪声—、振动应符合要【求，腔体：真空度可《在，规定时？间内降到规》定值；？  【   2 》 箱：内应：安装不？。同极性的承物架以】放置试运行样—品；  ！   3《。  接入各种工作气！体并应？按设备的要求—调节气压并试触发】电离：时，。工作气体的颜色应】符合要求《； —     4  应！设置：清，洗功率、清洗时【间、：清洗顺？序； 】 ，   5  应使】用不同的工作气体】对样品进行清—。洗再取出样》。品进行清洗效果【。检定应满足要—求 ？