，。 6.》7  等离子清洗】。。机 》 6.7【。.，1  等离子清洗】机的安装《应符：合下列规定 】  《   1《  ：设备的真《空泵应安《装在稳定《的地坪面上》并应配？有衬：垫； 【     2—  应根据设备【对电：源的要求《设置相？应的电？源插座 — 6.7.2 ！。。 等离？子清洗机的调试及试！运，行应符？合下列规《定，    ！ 1  启》动真空泵运》行时噪？声、振动《应符：合要求腔体真空度】可，在规定时间内降到规！。定值； 【     2【  箱内应安装不】同极性的《承物架以放》置试运行样品；【  【   3  接入】各种：工作气？体并应按设备的【要，求调节？气压并试触发—电离时工《作气体的颜色应符】合要求；《 ， 《     》4  ？应设置清洗功率、】清洗时间、清洗顺序！； ： 》    5  应使！用不同的工作气体】对样品进行清洗再取！出样：品进行清《洗效果检定应满足要！求， ：