， 6《.7：  等离子清洗【机 》 ， ， ， 6.7.1—  等离《。子清洗机的》。安装应符合下列规定！ ？  《  ： 1  设备的真空！泵应：安装在稳定》的地坪面上》并应配有衬垫—； ？ ， ：   ？  2？。  ：应根据设备》对电源的要求设【置相应？的电源插座》 ？ 6《.，7.2？  等离子清洗【机的调试《。及试运行应》符合下列规》定 ： 》    1  启动！。真空泵运行时噪【声、振动应符合要】。求腔体真空度—可在规定时间—内降到规定值；【   】  2  箱内【应安装不同极—性的承物架》。。以放置试《运行：样品； 】 ，    3  接入！各，种工作气体并应【按设备的要求—调节气压并试触发电！离时工作气体的【颜色应符《合要：。求； 》  《  ：。。 4  《应设置清洗功率、】清，洗，时间、清洗》顺序； 》     5！  应使用》不同的工作气体对】样品进行清洗再取出！样品进行清》洗效果检定应满足】要求 《