。 6.—7  等离子清洗】机 》 ， 6.7.1 ！。 等离子《清洗机的安》。装应符合《下列规定 —     1！  设？备的真空泵应安装在！稳定的地坪面上【并应配有衬垫；【  【   2  应【根据设备对电源【的要求设置相应的】电源插座 — ？ 6.7.》2  等离子—清洗：机的调试及试—运行应符合下—列规：定 【    1  启】动真空泵《运行时？噪声、振《动应：符合要求腔体—真空度可在规—定时间内降到—。规定值？。； ：   【  2？  箱内应安装不】同极性的《承物架以放置试运】行样品； 【     【3  接入各种工作！气体并应按设备【。的要：求调：节，气压并试《触发电？离时工？作气体的颜色应符合！要求； ！  ：  4 《 应：设置清洗功率、【清洗：时间、清洗顺序； ！ ：  《 ，  ：5，。  应使用不—同的工？作气体对样品—进行清洗再取—出样品进行清洗效果！检定应满足要求 ！