： 6.《7， ， 等离子《清洗机 —。 ， 6.7.1！  ：。等离子？。清洗机的《安装应符合下—列，规定 》 ：  ： ，  1  设—。备的真空泵应安装】在稳定的地》坪面上并应配—有衬垫； 【。 ，。     2 】 应根据设备对电源！的要求设置相应的电！。源插座 】 6.7.2  等！离子：。清洗机？的调试及试》。运行：。应符：合下：列规定 ！  ：  ：1，  启动真空泵运】行时噪声、振动应】符合：要求腔？体真空度可》在规定时间》内降到规定》值；： —    2》  箱内《应安装不同极—性的承物架》以放置试运行样品；！。 ， ？ ，  ： ，  3  》接入各？。种，工作气体并应—按，设备的要求调节气】压并试触发电—离时工作气体的【颜色应符合要—求； —   《  4  》应设置清洗功率、】清洗：时间：、清洗顺序；— —   ？ 5  应》使用不？同的工作气体—对样品进行清—洗再取出《样品进行清洗效果检！定应满足要求 】