。 《6.7  等离子清！洗机 — ？ 6.？7.1 《 等离子清》洗，。机的安装应》符合下列规定 】 《。    《1 ： 设备的真空—泵应安装在稳定的】地坪面上并》应配有衬垫》； 《     【2  应根据设备】对电：源的要？求设置相《应，的，电源插座 ！ 6：.7.2  —等离子？清洗机？的调：试及试运《行，应符合下列规定【    ！ 1  启动—真空泵运行时—噪声、振动》应符合要求腔体【真空度可在规定时间！内，降到规定《值； 【     2 【 箱内应安装不【。同，极性的承《。物，架以放置试运行样品！； 《 ：     3—  接入各种工【作气体？并应按设备的要求】调，节气：压并试触发电—离时工作气体的颜色！应符合？要，求； 《 ，    — 4：  应设置》清洗功率、清—洗，时间、清洗顺序； ！     ！5  应使用不【同的工作气体对样】品进行清洗再取【出样品进行清洗效】果检定应满足—要求 《