4.—11 ? 低:温共烧?陶瓷烧结《炉
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4.11.【。1 低温共—烧陶瓷烧结》炉的安装应符—合下列规定》
【 1 应通过!调节地脚《螺栓逐步《调平载?片台;
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【2 ?排气:。管道:应垂:直放置?并应使?其敞口罩覆盖—住烧结炉《的两个排气》口排气管道不得【直接连接到烧—结,炉的排气《口
【4.11.2 【 ,低温共烧陶瓷烧结】炉的调试及试运【行应符合下列—规定
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? , 1 》空炉测试控温精【度、温度均匀性时应!。满足相关要》。求设备超温报警及】自动切断加热—功能应运《行正常;
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: 2 —。 设定炉温应在30!。m,i,n内:从25℃《升到300℃在30!0℃应保温2h然后!应在1h内》。降到25℃;
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: 3 — 运行烘炉》程序时载片台升降应!平,稳,各加热元件温控仪】及供、排风应工作】正常;
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《 4 《 应:。编制典型《低温共烧陶瓷烧【结,温,度曲线程《序应:在操作界《面,设,置四路进气的预热】温度、炉腔压力【、气流量;》
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5 】 应将准备好的低】温,共烧陶瓷生瓷—块放:置在载片台的烧结】。载板上启《动运行程序烧结【并观:。察曲线跟《踪情况;
》。
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6【 :烧结过程《中应随时检查—进气预热温度及炉】腔,气压、气流量的控】制、温度曲线跟【踪等情况应正常工】作异常时烧结炉【。应自动启动报警保】护功能;《。。
】 7 烧成的】低温共?烧陶瓷基板应无【裂损、?翘曲、分层、起泡、!掉皮等缺陷
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