4》.1:1 : 低温共《烧陶瓷烧《结炉
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《4.1?1.1 《 低温共烧陶瓷【烧结炉的安装应符合!下,列规定
】
《 1 应通过调节!地脚:螺栓逐步《调平载片《台;
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】 2 《排气管道应》垂直:放置并应使》。。其敞:。口罩覆盖住烧—结炉的两《个排气口排》气管:道不得直接》连接到烧《结炉的排气口—
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4.11.2 】 低温共烧陶瓷烧】结,炉的调试及试运行】应符合?下列规定《
! ,1 空炉测试【控温精度、温度【均匀性时应满足相】关要求?设备超?温报警及《自动:切断加热功能应运行!正常;
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2 设!定炉温应在30mi!n内从25℃—升到3?00℃?在30?0℃应保《温2h然后应—。在,1h内降到2—5℃;
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3 】运行烘炉程序—时载片台升降应平】稳各加热元件—温控仪及供、—排,。风,应,工作:正常;
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? 《4 应编制—典型低?温共烧陶瓷烧结温度!曲线:程序应?在,。操作界面设置—四路进?气的预热温度—、炉腔压《力、气流《量;
】 《5 应将准—备好的低《温共烧陶瓷生瓷【块放置在《载片:台的烧结《载板上启动运行程序!烧结并观察曲线【跟踪情况《;
】 6 —烧结过程中应随【时检查进《气预:热温度及炉腔气压】、气流量的控—制、:温,。度曲线跟踪等情况】应正常工作异常【时烧:。结炉应自动启动报警!保护功?能;
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? : ,7, 烧?成的低温共》烧陶瓷基《板应无裂损、—翘曲、分层》、起泡、掉皮等缺陷!。
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