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4.1《。1 :。 低温共烧陶瓷【。烧结炉
【
4.11】.1 低温共烧】。陶瓷烧结《炉的安装应》符合下列规定
!
【1 应通过调节】地脚螺栓逐步调平】。载片台;
!
2 【 ,排气管?道应垂直放置并应】使,其,敞口:罩覆盖住《烧结炉的两个排气】。口排:气,管道:。不,得直:接连:。接到烧结炉》。的排气口
【
4.11【。.2 《低温共烧《陶瓷烧结《炉的调试及试运行应!符合下列规定—
《
1【。 空?炉测试控温精度、温!度均匀性时应—满足相关要求设【备超温报警》。及自动切断》加热功能应运行正】。常;
【
? :2 设定炉—温应在30》min内从2—5℃升到300【℃在3?00℃应《保温2h然后应【在1h内降》到25℃;
】
?。 ,。 , 3 运行烘】炉程序时《载片台升降应平【稳,各加热元件温—。。。控仪及供、排风应工!作正:常;
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? 4 —应编:制典型低温共—烧,陶瓷烧结《温度:曲线程序《应在操作《界面设?置四路进气的预热】温度、炉腔压力【、气流量;
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— : 5 应将准【备好:的低:。温共烧陶瓷生瓷块】放置在载片》台的烧结载板上【启动运?行,程,序,烧结并观察曲线跟】踪,情况;?
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— 6 烧—结过程中《应,随时检查进气预热温!度及炉腔气压、【气流量的《控制、温度曲线跟】踪等情况应正—常工作异常时烧结】炉应自动启动报【警保护功能;
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》 7 烧】成的低温共烧陶瓷基!板应无裂损、翘【曲,、分层、起》泡、掉皮《等缺:陷
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