安全验证
, 4.11  !低温共烧陶瓷—烧结炉 — 4—.11.1  【低温共?烧,陶瓷烧结炉的安【装应:符合下列规定— 》  :。   1《  应通过调—。节地脚螺栓逐—。步调平载片台;【 《 :    2》  排气管道—应垂直放置并—应使其?敞口罩覆盖住—烧,。结炉的两《个,排气口排气》。管道不?得直:接连接到《烧结炉的排》气口: 4.1!1.2  》低温共烧陶瓷烧结】炉,的调试及试运行应符!合下列规定 — ,。 : :    1  【空炉测试控温—精度、温度均—匀性时应满足相关要!。求,设备超温《报警及自动切断加】热功能?。应运行正常; ! ?。 ,。   ?。2,  设定《炉温应在30min!内从25℃升到3】00℃在300℃应!保,温2h然后应在1】h内降到25℃【; 》     3 】 运:行烘炉?程序时载片台升降】应平稳各加》热元件温控仪—。及供、排《风应工作《正常;?   】  :4  应《编制典型低温共烧陶!瓷烧结温度曲线程】序应在操《作,界面设置四》路进:气的预热温》度、炉腔《压力、气流量—;, —    5》  应将准备好的低!温共烧陶瓷》生瓷:块放置在《载片台的烧结载【板上启动运》行程序烧结并观察】曲,线跟踪情况》; : :   》  6  》烧结过程中》应随时?检查:进气预热温度—及炉腔气压、气【流量的控制、温【度曲线跟《踪等情况应正常工】作异常时烧结炉【应自动启动》报,警保护?功能; 】     7—  烧成的》低,。温共:烧,陶瓷基板应无—裂损:、翘曲、分》层,、起泡、掉皮等【缺陷 《