？ 3.4  设备安！装 】 3.4.1— ， 微组装《设备的安装应符合】下列规定 【   》。  1 《 设：备定位时应预留【电，。气箱：全，开空间和操作、维】修空间； ！  ：   2 》 ，电源、气源、水【源和接地端子—一次配管配线应【已到位； ！  ：   3《  安装时》应保护设备表面密封！面不应被损》伤、划伤《设备的安装应牢【固、可靠沉头螺钉】。安装后不应突出被连！接件表面； ！。。 ：    4》  设备有防微振】控制或特别承重要】求，。时应采取对》应的防微《振或提高《承载能力《的措施； 》 ，。 ：     —5  应根据设备技！术要：求，由专：业人员完成设备的二！次配：管，配线接？入，设备的真空管—路宜采用《SS316L不锈钢！管道纯水《、压缩空气等的配】。管，与设：备，连接宜采用聚四氟】乙烯、聚氨酯—软管连接 — 3.—4.2？  在地坪上—直接安装微组—装，设备应符《合下列规定 】。。     【1  应先》在，地，面放置基础垫片并】应确认基础垫片能】均匀支撑设备；【  【。   2  操【作，时不：得将手放置于—基础：垫片上方； —。 ，  》   ？3  ？若设：。备配：置有地脚螺栓—。则应：使每一支地脚螺栓】正确装入《其螺孔中移》动设备时应使用【气垫搬运； 】 ：   ？。  4  应通过】调节地脚螺栓的支撑！长度或基础垫片【的有效？。厚度：逐步调？平设备并《。。应确保锁紧》螺母无？间隙且每一个地脚都！落，实在地板的对应基础！垫片上 》。 3.4.3！  在台面》上直接安装微组【装设备应符合下【列规定 【 ：    1》。  安装设备—的工作台面应水平、！平稳：、，牢固；？    ！ 2  台面上应】铺有防静电材料并与！厂房防静电接—地系统？有效连接  【 ： 3.4.4 】 设备的水》平，调整宜采用框式水平！仪进行测量精度要】求高的设备可使用两！支，架，式水平仪 — ： 3.4.5【  微组装》。设备的接地应有【效可靠接地引出端】应与厂房接地系【统稳固连接》设备接？地，电阻不应大于—4Ω：；接地？系统应？符合：。现行国？家标准电气装置【安，装工程接地装置【施工及验《收规范？GB 5016【9的：有关：规定： 《 3.《4.6  设备【就位后应由技术人员！核查设备的动力【配，置 《 ？3.4？.，7  设备安装【完，毕后应填写安—。。装工程？记录：内容：。。及格式应《符，合本规范表A.0】.2的规定 【