3.4  ！设备安装 — 3【.4：.1  《微组装设《备的安装应符合下】列规：定， — ，   ？1，  设备定位时应】预留电气箱全开【空间：和，操作、维《修空间； 】     2  ！电源、气源、—水源和接地》端子一？次配管配线应已到】位； 》。   》。  3  安—装时应保《护设备表面》密封面不应》被损伤、划伤设【备的安装应牢固【、可靠沉头螺—钉安装？后不应？突出：。被连：接件：表面；？ ，。     ！4  设《备，有防微？振，控，制，或特：别承重要求时应采取！对，应的防微振或提高】承载能？力的：措施； ！    5  【应根据？设备技术要求由专业！人员完成设备的【二次配管配》线接入设备的真【空，管路宜采用S—S316L不—锈钢管？道纯：水、压缩《空气等的配管与设备！连接宜采用聚四氟乙！烯、聚氨《酯软管连接 — 3—.4：.2  《在地：坪上直接安装微组装！。设备应符合下列规定！ ，     ！1  应先》在地面？放置基？础垫片并应》确认基础垫》片能均匀支撑设备】； ：。 《    《 2  操作时【不得将？手放置于基》础垫片上方； 】 ？     3  若！设备：配置有地脚螺栓则】应使每一支地脚【螺，栓正确装入其—螺孔：中，移动设备时应使【用气垫？搬运； 《  —   4  应通过！调节地脚螺栓的支撑！。长度或基础垫片【的有效厚《度逐步调平设备并】应确保锁紧螺母无】。间隙且每《一个地脚都落实【在，。地板的对应》基础垫片上 ！ 3.《4.3  》在台面上《直接安装微组装【设备应？符，合下列规《。定 ？   —  ：1，  安装设备的工作！台面：应水：平，、平稳、牢》固；： ， ： ：。    《 2  台面上【应铺有？防静电材《料并与厂房防—静电接地系统有【效连接  ！ ，3，.4.4  设【备的：水平：调整：宜采用框式水—平仪进行测量—。。精度：要，求高的设备可使用两！支架式水平仪— ？ 3《.4：.5  微组装设备！的接地应有》效可靠接地引出【端应：与厂：房接地系统稳固连接！设备接地电阻不应大！于4：Ω；接地系统—应符合？现，行国家标准电气【装置安装《工程接地装置施工】及验收规范》GB 501—。69：的有关规《定 》 3.4.6 】 设备就位后—。应由技术人》员核查设《备的动力《配置： 3.】4，.7 ？ 设备安《。装完：。毕后应填写》安，。装工程记录内—容及格式应符合本】规范：表A.0.2的【。规定 《