。 ， 3.4  】设，备安装 — ，。 3.—4.：1 ： 微组？装设备的安装应符合！下列规定《 —。 ，  ： 1  设备定位时！应预留电气》箱全开空间和操作、！维修空间；》   】  2  电—源、气源《、水源和接地端【。子一次配《管配线应已到位【。； 》     3【  安装时应保【护设备？表面密？封面不应被损伤、划！伤，设备的？。安装应牢固》。、可靠沉头螺钉安装！后，不应突出被连接【件表：面； ？  —。 ，  4  设备有】防，微振控制或特别承】重要求？。时应采取对》应，的防：微振或提《高承载能《力的措施《； 》     —5  ？应根据设备技—术要求由专业—人员完成设》备的二次配》管配线接入》。设备的真空管—路宜采用SS31】6L不锈钢管道【纯水：、压缩空《气等的配管》与设备连接宜采用聚！四氟乙烯《。、聚氨酯《。。。软管：连接 3！.4.2  在地】坪上直接安装微【组装设备《应符合下列规定【   】  ：1  应先在—地面放置基础—垫片并应确认基础】垫片能均匀》。支撑设？备； —    》。 2  操作时【不得将手放置于【基，。础垫片上方》；   ！  3？  若设备配—置有地脚螺栓则应使！每一支地脚》螺栓正确装入—其螺孔中移动—设，。备时应？使用气垫《搬运； 《 ？   《  4  应通【过调节地脚螺栓的支！撑，长度或基础垫片的】有效厚度逐步调【平设备并应确保【。锁紧：螺母无间隙且每一个！地脚都落实在—地板的对《应，基础垫？片上 3！.4.3  在台面！上直接安装微—组装设？备应符合下列规定 ！。   【  1  安装设备！的工作台《。面应水平、》平，稳、：牢固； 》  》   2 》 台面上应》铺，有防静电材》。料并：与厂房防静电接【地，系统有效连接—  3】.4.4《  ：设备的水《平调整宜采用框【式水平仪《。进行测量精》度要求？高的：设备可使用两支【架，式水平仪《。 》 3.4《.5  微组—装设备的《接地：应有效可靠接地引出！端应与厂房接—地系统稳固连接【设备接地电》阻不：应大于4Ω》；接地系统应—符合现行《国家标准《电气装置安装工程】接，地，装，置施工及验收规范】。GB 5《0169《的有关规定 【 ： ：。3.4.6  设备！。就位后应由技术【人员核查设备的动力！配置 【 3.？4，.7  《设备安装完毕—。后应填写《安装工程记录内【容及格式《应符：。合，本规范表A.0.2！。的规定 》