？ 3.？4  设备安—装 ！3，.，。4.1  微组【装设：备的安装应符—合下列规定 【   — ， ，1  设备定位【时应预留《电气箱全开空间【和操：作、：维修空间《；，。 —  ：  2  电源、气！源、水源和接—地端子一次配管配线！应已到位《； 》     3【  安装时应保【护设备？表面密封面不应【被，损伤、划伤设备的】安装：。应牢固、可靠—沉，头螺钉安装后—不应突出《被连接件表》面； 【     4  】设备有防微》振控制或《特别承？重要求时应采取【对应的？防微振？或提高承载能力的】措施：；，   】  5  应根【据设：备技术要求由—专业人？员完成设备的二次配！管配线接《入设：备的真空管路—宜采：用SS3《16L不锈钢管道纯！水、压？缩空气等的配管与】。设备：连接宜采用》聚四氟？乙，。烯、聚氨酯软—管连接 ！3.4.2》  ：在地坪上直接安装】微组装设备应符【合下列规《定 ？ ， ， ，     1  】应先在地《面，放置基础垫片并应确！认基础？垫片能均匀支—撑设备； 》  —   2  —操作时不得将—手放置于《基础垫片上方；【 ？ ：     3  若！设，备配置有地脚—螺栓则？应使每一支》地脚螺栓正确装【。入其螺孔中移—动设：备时应使用》气垫搬运； 】 ：。     4  】应通过调节地—脚螺栓的支》撑，长，度或基础垫》片，的有效厚度》逐步调平《设备：并应确保锁紧螺母无！间隙且每一个—地脚都落实在—地板的对应基础垫片！上 — 3.4.》3  ？在台：面，上直：接安装微组装设备应！符合下列规定 】  》   1  安装】。设备的工作》台面应？水，平、：平稳：、牢固； 》。 ，  》   2  台【。。面上应铺有》防静：电，材，料并与厂房防—静电接地系》统有效连接  ！ 3.4.【4  设备的—水平调整宜采用框式！水平仪进行测量精】度要求？高，的设备可使用两支】架式水？平仪 — 3.4.5  ！。。。微组装设备的接【地，应有效可靠》接地：引出端应与厂房接地！系统稳？固，连接设备接地—电阻不应大于4Ω】；接地系统》。应符：合现行国家》标准电气《装置安装工程接地】装置施工及验收规范！GB 50169的！。有关：规定 ？ 3—。.4.？6  设备就—位后应由技》术人员核查设备【的，动力配置《 ： ？ 3：.4.7 》 设备安装完毕【。后应填？写安装工《程记录内容及格【式应符合本规范表A！.0：.2的？规定 ？ ，