《3.4 《 设备安《装 ： ： ？ ， 3.4《.1  微》组装：设备的安装应符【合下列规定 ！ ，   ？ ， ，。1  设《备定位时应》预留电气箱全开【空间和操《作、维修空间；【 》     2  电！源、：气，源、水源和接地【端子一次配管配【线，。应已到位《。； 》 ： ，。   3 》。 安装时应保护设备！表面密封面不—应被损伤、划伤设】备的安装应牢固【、可靠沉《头螺钉安装后—不应突出被连接【件表面； 》 ？ ，。  ：   4 》 设备有《防微振控制或—特，。别承重要求时应【采取对应的防微振或！提高承载能》。力，的措施； 》 《  ：   5《  应根据设备技】术要求由专业人【员完成？设备的二次配管配】线，。接入设备的真—空管路宜采用SS3！16L不锈》钢管道纯水、压缩】空气等的配管与设】备连接宜采用聚【四氟：乙烯、聚氨酯软管】连接： —3.4.2  【在地坪上直接—安装微组装设备【应符合下列规定 ！  》   1  应先在！地面放置《基础垫片《并，应确认基《础，。垫片能均匀支撑设备！； 【 ，   2《  操作《。时不得将手放置于】基础垫片上方； ！ ：    》 3  若设备配置！有地脚螺栓则应使每！一支地脚螺栓—正确装入其》螺孔中移动设备时】应使用气垫搬运【； ？ ：    》。 4：  应？通过调节《地脚螺栓的支撑长】度或基础垫片—的有效？厚度逐步调平设备并！应确保锁紧螺母无】间隙且？每一个地脚都落实在！地板的对应基—础垫片上 【 3.4.3 ！ 在台面上》。直接安装微组装设】备应符合下列规【定 ？ ？ ，。   ？ 1  《安装：设备的工作台面【应水平、平稳、牢】固；：    ！。 2  台面—上，应铺有防静电材料】并与厂房防静电接地！。系统有效连接  】 3—.4.？4 ： 设备的水平调整】宜，采，用框式水平仪进行测！量精度要求高—的设：备可使用两支架式】水，。。平仪 》。 3.4.5 ！ 微组装设备的接地！应有效可靠接地引出！端应与？。厂房接地系统稳固连！接设备接地电阻不】应，大，于4Ω；接地系统】。应符合现行国家标准！电气装置安装工【程接地装置施—工及验收规范GB】 50169的【有关规定 】 3.4.6 】 设备就位后应【由技术？人员核查设》备的动力配》置 》 ：。。3.4.7 — 设：备安装？完毕后应填》写安装工程记录【内容：及格式？。应符合本规范表【A，.0.2的规定 ！