。 3.4【  设备安》装 】。。 3.4《.1  微组装【设备的安装应符合】下列规定 》     ！1  设备定位【时应预留电》。气箱全开空间和操】作、维修《空间；？ ？     2】  电源、气源、】水，源和接地端子一【次配管配《线应已到位； 【 《  ：   3  安装】时，。应，。保护设备《表面密封面不应被】损伤、？划伤设备的》安装应牢固、—可靠：沉头螺钉安装后不应！突出被连接件表面；！ ： ，  《。   4  设备有！防，微振：控制或特别承重【要求时应采取对应】。。的防微振或提—。高承：载能力的措》。施；： ：    【 5  《应根据设备技术要】求，由专业？人员完成设备的【二次配管配线—接入设备《的真空管路》宜采用SS316L！不锈：钢管道纯水》、，压缩：空气等的《配管与设《备连接宜采》用聚四氟乙烯—、聚氨酯软管连【接 【3.4.2》  在地坪上—直，接安装微《组装设备应符合下列！。规定  ！   1 》 应先在地面放置基！础，垫片：并应：确认：基础垫？片能均匀《支撑设备《；，。   】  2  操—作时不？得将手放《置于基础垫片—上方；？ 《  ？   3  若设】备配置有地脚螺【栓，则应使每一支—地脚螺栓正确装【入其螺孔中移动设备！时应使？用气垫搬运》； 【 ，  ： 4 ？ 应：通过：调节地脚螺栓的支】撑，长度或基《础垫片？的有效厚度逐—。步调：平设备并应确保【锁紧螺母无间隙且】每一个地脚都落实在！地板：的对应基础》垫片上 】。 3.？4，。.3  在台面上】。直接安装微组—装，设，备应符？合下列？规定 《 ？     1  安！装设备的工作台【面应水平、平—稳、牢？固；：  【   2  台面】上应铺有防》静电材料并与厂房】防静：电接地系统有效连接！  ： 3.【4.4 《 ，。设备的水平调整宜采！用，框式水？平，。仪进：行测：量精度要求》。高的设备《可使用？两支架式水平—仪， —3.4.5  【微，组装设备的接地应有！效可：。靠接地引出》端，应与厂房《接地系统稳固连【接设备接《地电阻不应大于【4Ω：；接：。地，系统应符合现行【。国家标准电》气装置安《。装，工，。程接：地装：置施工及验收—规范GB《。 5：0169的有关【规定 《 ， 3《.，4.6  》设备就位后应由技】术人员？核查设备《的动力？配置 — 3.4.7  ！设备安装《完毕后应《填写安装工程记录】内容及格《式应符合本规范表】A.0.2的规定 ！ ，