？ 3.4 》。。 设：备安装 — 《 ，3，.4：.1  微组—装，。设备的？。安装应符合下列规】定 ？    【 1  《设备定位时》应预留电气箱全开空！间和：操作、？。维修空间； ！。     2 】 ，电源、气源、水源】和接：地端子一次配管配线！应已到位； ！   《  3  》安装：时应保护设》备表面密封面不【应，被损伤、划伤设备】的安装应牢》固，、可靠沉头螺钉安】装后不应突出被连】接件表面；》 》     》4  设备有防微振！控制或特别承重要求！时应：采取：对应的防微》振或提高承载—能力的措施； 【 ？ ， ， ，。。 ，  5  应根【据设备？技术要？求由专业人员完成设！备的：二次配管配线接【入设备的真空管【路宜采用S》。S316L》不，锈，钢管道纯水、压缩空！气等的配管与设备】连接宜？。采用聚？四氟乙烯、聚氨酯】软管连接《 《 ， 3.4.2  在！地坪上直接安装微】组装设备应符—合下列规定 — ？ ，。    《 ，1  应《先在地面放置基【础，垫片并应确认—基础垫片能均匀支】撑设备； 】    》 2  操作时不得！将手放？置于基础垫片上方】； 【    《3  若设备配置有！地脚螺栓则应使【每，一支地脚《螺栓正确装入—其螺孔中移动设备】时应使用气垫搬运；！。  【   ？4  应通》过调节地脚》。螺栓的支撑长度或】基础垫片《的有效厚度逐—步调：平设备并应确保锁紧！螺母无间隙》且每一个地脚都【。落实在地板的对应】。基础垫？。片上 ？。 》3.4.3》  在台《面上直接《安装微组装》设备应符合下—列规定 —。 ，    》 1：  安装设备—的工作？台，面应水平《、平稳、《牢，固，； 》    》 2  台面上应铺！有防静？电材料并与厂房防静！电接地系统有—效连接 《 ：。 ？。 3.4.4—  设备的水平【调整宜采《用框式？水平仪进行测量精】度要求？高的设备《可使：用两支架式水平仪】 3.4！.5  微组装设备！的接地应《有效可靠接地引出】端应与？厂，。房接地？系统：稳固连接设备—接地电阻不应—大于4Ω《；接地系统应符合现！行，国家标准《电气装置安装工程】接，地装：置施工及验》收规范GB 5【。01：69的有关》规定： 3.4！.6  设》备就位后应由技【术人员核查设备【的动：力配置 《 3.【4.7  设备安装！完，毕后：应，填写安装工》程，。。记录内容及格式应】符合本规范》。。表A.0《.2的规定 【