2  【术语和？缩略语 — ： 2.【1  术  —  语 《 — 2.1.1—  电子工业纯水系！统  p《ure wa—ter syste！m of《 electr【onic in【dustry—    ！ 制备电子》工业生产所需的【纯，水、：超纯水由制备设备、！管路、电气及相【应仪表？等，组成的系统》。的，总，称 2】.1.？2，  多介质》过滤器  mult！i medi—a ：f，ilter ！ ，   ？。  ：在一定的压》力，作用下使水》。通过设备内充填的】多层介？质通过介质间的孔】隙截留水中的—悬浮、絮凝物等【杂质：的装置 《 2.1】.3  活》性炭过滤《器  active！ carbon f！ilter — ， 《    活》性炭过滤器》。属，于压力式过》滤设备？内填比表《面，积较大、《具有物理吸》。附和化学《吸附功能《。的活性炭通过利用其！综合的吸《附作用去除》水中的有机物、【余，氯、色度和异—味等的装置 【 ？ 2.1.》4，。  反渗透装—置  rev—erse《 o：smo？s，is： unit ！     在外加！压力作用下》利用一种半透性【薄膜使水《。。分子和其他一—些物质从《高浓：度侧向？。低浓度侧选择性【透过从而将绝大【部分溶解固形物（盐！）、有机物、胶【体及颗粒等》。截留去？除的：膜及组件组》成的设备 》 2.【1，.5  电脱盐装置！  electro！。deionaza】tion —     利！用电场作用使得水中！的，阴、阳？离子定向迁移并【选择性地《通过阴离子》交换膜及阳》离子：交换膜在阴、阳离子！交换膜之间》分别形成纯水、【浓水隔室《同，时利用电《。解水产生的》氢离子？与氢氧？根离子不断的再【生失效的工作层树脂！从而连续去除水中离！子而：不需要专门再生的除！盐装置的统称 ！ 2.1.【6  混《床 ： mi？xed bed 】 《。  ：   混床也称混合！离子交换《塔是：把，阴、阳离子交—。换树：脂按一定《的比：例混合？。装填在同一设备内】对水中的各》。种阴、？阳离：子，进行交换《、脱除从而达—到制取高纯度的【纯，水的装置 【。 2.1.【7 ： 紫外线《杀菌装置  ult！。rav？io：let？ ster》iliz《atio《n 》     利【用波：长254nm的紫】外线照射杀灭水中】的活菌？。的装：置 — 2.1.》8，。  紫外《线除总有机碳装【。置  ultrav！i，ole？t TOC re】mov？a，l， ？   》  利用波长18】5n：。m，的，紫外线照射降解水中！的总有机碳（TOC！）的装置 》 ？。 2.《1.9  》。膜脱：气装置  m—em：brane —degasifi】e，r 《   》 ，。 利：用膜分离技术降低水！中挥发？性，。溶解物质的装—置， ？ 2《.1.1《0  超滤 —。 ultra—fil？tration 】。   【  指在外压—作用下利用非—对称性膜去除水【中相对分《子量：6000至》500000的高分！子物质或胶体的膜】分离装置 【 2.》1.11  —电阻：。率  resis】tivity ！     【截面：积为1cm2长【度为：1cm的水柱在2】5℃时的电阻值【常用的电阻率单位为！MΩ·cm水的纯】度越：高电阻率越大—。 ， ？ ：。2.1.12  颗！粒度  part】icle 】  ？   单位体积水】中大于或等于某粒径！的颗粒的《个数 》。 2《.1.？13：  ：。总有机碳 》 ，TOC？ tota》l organ【ic ？car？bon 》   —  ：水中的有机物质的含！量以有机物中的【主要元素碳的量来】表示 《 2.1.】1，4  ？余氯  re—sidual— chlori【ne —     指【水与氯族《消毒剂接触一—。。定时：间后余留在水—中的氯 【 2.1.1【5  淤《塞指数  》silt d—ensity 【index — 《     在标【准压力和标准—时间周期内》一定体积水样通过一！特定微孔膜滤—器的阻？塞率：通常采用的》测算周？。。期为15min其对！应所测得的淤塞【指数称为SDI1】5， ：