《7，.5：  纯水制备 ！ ： 7.5.3】  本？条主：要对纯水的水质提】出，要求由于纯水主要用！于清洗硅料、硅【。芯和石墨件为—。了，避免对清洗料—二次污染所》以对水质要求比较】高表7.5.—3中的指标数据主】要依据？了美国电《子和半导体工—业，用超纯水标》准指：。南ASTM D5】127？中E-1级的水质标！准 【7.5.《4  本条第2【款，规，定纯水系统应采用循！环方式主要是为了保！。证管道内水的流动】性减：少死水区减小—管道材料《对水质的影响防止】微牛物及细菌的滋生！ ：