7.—5，  纯水制》备 》 7.5.3！  本条主要对纯水！的水质提出要求由】于纯水主要》用于清洗《硅料、硅芯和—石墨件为了避免对】清洗料二次》污染所以对》。水质要求比较高表】7.5？.3：中的指标数据—主要依据了美国电子！。和半导体工业用【。超纯水标准指南【ASTM D51】27：。中，E-：1级的水质标—准 《。 7.5—.4  《本条第2款规—定纯水系统应采用】循环方式主要是为了！保证：管道内水的》流动性减《少死水？区减小管道材—料对水质的影响防止！微牛物及细》菌的滋？生 ？