： 7.《5  纯水制备 ！ ： 7.—5.3  本条主】要对纯水《的水质提出要—。求由：。于纯水？主要用于清洗硅【料、硅芯《和石墨件《为了避免对清—洗料二？次污染所《以对水质要求比较高！表7.？5.3中的指标数据！主要依据了美国电】。子和半导体工业用超！纯水标准指南AST！M， D5？127中E-1级的！水质标准《。 7.】5.4  本条第2！款规定纯水》系统应采《用循环？方式主要是》为了保证《管道：内水的流《动性减少死水—区，减，小管道材料对水质的！影响防止微牛物及细！。菌的滋生 —