， 7.5  】纯，水制备 】 7.5—.3  本条—主要对纯水的水质】提，出，。要求由于纯水主要】用，于清：洗硅料、硅》芯，和石墨件为了避【免对清洗料二次污】染所以对《水质：要求比较高》表，7.5.3中的指标！。数，据主要依据了—美国：电子和半《导体工业用超纯水】标准：指南ASTM D】5，127中E》-1：级的水质标准 】 7.5.4！  本条第2款【规定纯？水系统应采用循环方！式主要是为了保证管！道内水？的流动性减》少死水区减小—管道：材料：对水质的《影响防止《微，牛物及？细菌的滋生 【