7.5【  纯水制备 】 7【.5.3 》 本条主要对纯水】的水质提出要求【由于纯水主要—用于清洗硅料、硅芯！。和石墨件《。为了避免对》清洗料二次》污染：所以对？水质要求比较高【。表7.5.3中的指！。标数据主要》依据了？美国电？。子，和半导体工业用【超纯水标准指—南ASTM —D5127中—E-1级《的水：。质标准 】 7.5.4—  本条第2—款规定纯《水系统？。应采用循环方式主】要是为了保证管【道内：水的流动性减少死水！区减小管道材料对】水质的？影响防止微牛—物及细菌的滋生 】 ，