： 7.5  纯水！制，备 ！7.5.3  【本条主要对》纯水的水质提—出要求？由，于纯水主要用于【清洗硅料、硅芯和石！墨件为了避》免对清？洗料二次污染—所以：对水质要求比较【高表7.5》.，3中的指标》数据主要依》据了美国电子和【半导体工业用—超纯水标准指—南AST《M ：D5127中E-1！级的水质标准 ！ 7.5.【4  本条第2【款规定纯水》系统应采用循环方式！主要是为了保证管道！内水的？流动性减少》死水区减小管道材料！对水质的影响—防止微牛《。。物及细？菌的滋生 —