？ ，7.5  纯水制】备， 《 ，。 7.5.【3  本条主要【对，纯水的水质提—出要求？由于纯水主要用于】清洗硅料、硅—芯和：石墨件为了避—免对清洗料二次污】染所以对水质要求】比较：高表7.5.3中的！指，标数据主要依—据了美国电子—和半：导体工业《用超纯水标准指南】AS：TM D5》127中E-—1级：。的水质标准 【 7.5【。。.4  本条第【2款规？定纯水系统应采【。用循环方式主要【。是为了保证管道内】水的流？。动性减少死水区减】小管道材料》对，水质的影《响防止微牛物及细菌！的，滋生 《