7》。.，5，  纯水制》备， ？ 》7.5.3》  本条主》要对纯水的水质提】出要求？由于纯水主要—用于清洗硅料、【硅芯和石《墨件为了避免对清洗！料二次污《染所以对水质要求】比较高表7.5.】3中的？指标：数据主要依据—了美国电子》和半导？体工业用超纯水【标准指南ASTM ！D5127》中E：-1级的水质标准】 7.】5.4？ ， 本条第2款规定】纯水系统应采用【循环方式主要是【为了保证管道内水的！流动：。性减：少死水区减小—管道材料对水质【的影响防止微牛【物，及细菌的滋》生 ？