《7.5  纯水制备！ ： —7.5.3  本】条主要对纯水的水质！提出要求由于纯水】主，要，用于清洗硅料、硅】芯和：石墨件为了避免对】清洗料二次污染所】以对水质要求—比较高表7.—5.3中的指标数据！。主要依据了》美国电子和半导体】工业用超纯水标准】指南AST》M D5127中E！-，1级的水质》标准 ？ ， 7.—5.4？。  本条第2款【规定纯水系统应【采用循？环方式主要是为【了保证？管道内水的流—动性减少死水区【减，小管道？材料对水质》的影响防止微牛物】及细菌的《滋生： ：