7.4 】 导  《热  油 ！ ？7.4.2  多】晶硅生产系统中三】氯氢硅氢还》。原、还原尾》气干法回收、—氯硅烷提《纯、三氯《氢硅生产《等工序都有可能选】择导热油作为热【源当多个生》产工序选择导热油为！热源时为减少—导热油输送》过程：中的热量损失导【热油：加热：。系统应靠近热量需求！较大的主《要负荷区 》 ，