7.—4  导  热 】 油 】 7？.4.？2  ？多晶硅生产系统中】三氯：氢硅氢还原、还【原尾气？干法回？收、氯硅烷提—纯、三氯氢硅生产等！工序都？有，可，能选：。择导热油作为热源当！多个生？产工序选择导—热油为热《源时：为减少导热油—输送过程中的热【量损：。失，导热油加热系统应】靠近热量《需求较大的》主要负荷区 【