9.4 】 循环？冷却水系统
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9.—4.2 部分设】备对：冷却水的温度、压力！、水：质的要求比较严格】一旦超出其设定【的参数就自动报警停！机严重影响正常生】产所以冷却水—系统应根据工艺设】备的具体要》。求单独设置避免【相互干扰
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9.4.—3 本条是强制】性条文硅《芯，拉制炉、还》原炉和单晶》炉在循环水》供电：系统：出现事？故时设备内产生的】热量无？法被循？环水带走《将会导致设备—损坏设备《内物：料泄漏为防》止上述？事故发生《在循环水系统中增设！保安水箱及柴油水泵！(或柴油电源)【当水泵供《电系统？事故时由柴油泵(】或柴油电源)向设】备供水以保证循【。环水供给不》中断：
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9.4.4 针！对开式循环水系统应！。设旁滤系统及缓蚀】阻垢药剂投加系【。统；针？对闭式循环水系【统从国内工厂现【。场运行情《况看仅在系统中增】加管道过滤》器即能满足》运行：要求：
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