9》.3  废》水处理 《 《 ： 9.3.1—。 ， 处理后废水应优】先回用至尾气淋洗工！艺多余部分》外排 》 9.3.【2  多晶硅工厂产！生的生？产，。废，水主要？为尾气淋洗废液【废，液，处理设施尽》量，与尾：气淋洗设《。施，就近设置同时考【虑处：理用药剂及产生污】泥的运？输 — 9：.3.？4  本条是—强制性条文》硅料清洗产》生的含？氟废酸？氟含量偏高腐蚀性】强在处理时应采取措！施防止液体泄—漏及氢？氟酸挥发至大气中】造成污染故应单独】处理同？。时单独处《理含氟废《酸可减少处理药【剂用量保证整—个工厂处理排水最】终达标排放此—部分废液可先—单独预处《理后再与其他生产废！水混合？处理： 9【.3.5 》 废水调节池、尾气！淋洗水？解池等泄漏时—。会，对地下水造成污染宜！在地下水《下游设置1处—检测点监测地—下水酸碱度》(pH值《)氯、氟及溶解【盐等污染物的含量 ！ ，