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《9.3  废水【。处理 】 , ,。。9.3.1  【处理:。后废水应优先回用至!尾气淋洗工艺多余】部分外?排 《 9.3.【2  多晶》硅工:厂产生的生产—废水主要为尾气【淋洗废液废液—。处理设施尽量与尾气!淋洗设施就近—。设置同时考虑处理】用药剂及产》生污泥的运输 !。 9.3.4】  本?。条是强?制性条文硅》料清洗产生的含氟】。。废酸氟含量偏高腐】蚀性强在处理时应采!取措施?防止液体《泄漏及氢氟酸挥【发至大气中造—成污染故应》单独处理同》时单独处理含氟【。废,酸可减少处理药【剂用量保《证整个工厂处理排水!最终达标排》放此部分废液可先单!独预处?理后再与其他生产废!水混合处《理 【9.3?.5  废水调【节池、?尾气淋洗水》。。解池等泄漏时会对】地下水造成污染宜在!。地下水下游》设置1?处检测点监》测地下?水酸碱度(pH【值)氯、氟及—溶解盐?等污染?物的:含量 《