： 9.3  废水！处理： 《 9.3.】1  处理后废水】应优先回用至尾气】淋洗工艺多余—部分外排 ！。 9.3.2—  多晶硅工厂产生！的生：产废水主要为尾【气淋洗废液废液处理！设施尽量与尾气淋洗！设施就近设置—同，。时考虑处理用—药剂及产生》污泥的运输 【 9.—。。3，.，4  本条是强制性！条文硅料清》洗产生的含氟废【酸，氟含：量偏高腐蚀》性强在处理时应采取！措施防？止液体泄漏及氢氟】酸挥发至大气中【造成污染故应单【独处理同时》单独处理含氟—废酸可减少处理药】剂用量保证整个工厂！处理排水最》终达标排放此—部分废液可先—单独预处理后再与其！他生产废水混合处】理 《 ？。9.3.5  【废，。水调节池、尾气淋洗！水解池等泄漏时会对！地下水造成》污染宜？在地：下水下？游设置1处检—测点监测地下水【酸碱度(pH值)】氯，、氟：及溶解盐等污染物的！含量 《