。 9.3 】 ，废水处理 【 9—.3：.1：。  处理后废水【应优先回用至尾气淋！洗工艺多余》部分外排 【 9.3—.2  多》晶硅工厂产生的生】产废水主要为尾气淋！洗废液废《液处理？设施尽量与尾气淋洗！设施就近设》置，同时考虑处理用药】剂，及产生污泥的运【输， 9【.3.4《。  本条是强—制性条文硅料—清，洗产生的含氟废酸氟！含量偏高《腐蚀性强《。在处理时应采取【措施防止液体泄【漏及氢氟酸挥发【至大气中《造成污？染故应单独处理【同时：单独处理含氟废酸可！减少处理药》剂用量保证》整个工？厂处理排水最终【。达标排放此部—分废液可先单独【预处理后再》与其他？生产废水混》。合处理 】 9：.3.5  —废水调？节池、尾气淋—洗水解池等泄漏时】会对地下水造成污】染宜：在地下？水，下游设置1处检测】点监测地下》水酸：碱度：(pH值)》氯，、，氟及溶解盐等污【染物的含量 【