《9.3  》废水处理 》 》 ：9.3？.1  处理—后废水应《优，先回用至尾气—淋洗工艺多余部分外！排 ？ ？ 9.3.2 【 多晶硅工厂产【生的生产废》。水主要为尾气淋洗】废液废液处理设【施尽量与《尾，气淋洗设施就近设置！同时考虑处理—用，药剂及产生》污泥的运输 — 9—.3：.4  本条—是强制性条文硅【料清洗产生的含【。氟废酸氟含量—偏高：腐蚀：性强在处理时—应采：取措施防止液体【泄漏及氢氟酸挥发至！。大，气中造成污染故应】单独处理同时单【独处：理含氟废酸可减【少处理药剂用量【保证整个工厂处【理排水？。最终达？标排放此部》。分废液？可先单独《预处：理后再与其》他生产废水混合处理！ ？。 9.3—.5  废水调【节池、尾《气淋洗水解池等【泄漏时会《对地下水造成污染宜！在地下水下游设置】1处检测点监—测，地下水酸碱》。度(p？H值：)氯、氟及溶解盐】等污染物的含量【 ：