， ， 9.3》  废水处理 【 — 9.3.1  处！理后废水应》优先回用《至尾气淋洗工艺多】余部分外排 ！ ：9.3.2  【多晶硅工厂产生的】生产废水主要为【尾气淋洗废液废【液，处理设施《尽量与？尾，。气淋：洗设施就《近设置？同时考虑处理用【药剂：及产生污泥的—运，输 ？ 9.—3.4  》本条：是强：制性条文硅料清洗产！生，的含氟废酸氟含量】。偏高腐蚀性强在处理！时应采取措施防【。止液体泄漏及氢氟】酸挥发至《大气中？造成污染故应—单独处理同》时单独？处理含氟废酸可【减少：处理药剂用量—保证整个工》厂处理排水最终【达，标排：放此部？分废：液可先单《独预处理后再与【其他生产废水混【合处理 【 9.3》.5  废水调节池！、尾气淋洗水解池】等泄：漏时会对地下水【造成污？染宜在地下水—。下游设置1处检测】点监测地下水—酸碱度(pH值)氯！、氟及溶解盐等【污，染物的含量 — ，