2 — 术   》 语 — 2.0.4！  四氯化》硅氢化是将多晶硅】生产中大《量副产的四氯化【硅转化成三氯氢硅】的工艺目前》已经实现工业化生】产、：比较成熟的氢化【工艺有？热氢：化、冷氢化其—中热氢化是在12】50℃低压》条，件，下四氯化硅和氢气】。直接反应生产三【氯氢硅的工艺该工】艺具有易操作—、反应无杂质带入】、后续精馏简单、电！耗高、转化》率，低等特？点；冷氢化是在5】00℃高压条件下】四氯化硅、》氢气与硅粉反应生】产三氯？氢硅：的工艺该工艺具【有电耗低、转化率高！、单：体，设备：处理能力《大、操作要》求高等特点》 ：