， 2  —术  ？ ， 语 】 2？.0.4  —四氯：化硅氢化是将多晶】硅生产中《大量副产的》四氯化硅转化成三氯！氢硅的工艺》目前已经实现工业】。化生：。产、比？。较成熟的氢化工艺有！热氢化、冷氢化【其中：热氢化？是在1250℃低】压条件下四氯化【硅和氢气直接反应】生产三氯氢硅—的工艺？该工：艺，具有易操作、反应无！杂质带入、后—续，。精馏简单《。、电耗高、》转化：率，低等特点；》冷氢化是在50【0℃高压条件下四氯！化，硅、氢气与硅—粉反：应生：产三氯氢硅》的工：艺该：工，艺具有电耗低、转化！率高、单体》设，备处理能力大、操】作要求高等特—点 ？