。。 2》  术    【语 《 2.0】.4  《四，氯化硅？氢化是将多晶—硅生产中大量副【产的四氯化硅—转化成？三，氯氢硅的工艺目前】已经实现工》业化生产、》比较成熟的》氢化：工艺有热《氢化、冷氢化—其，中，热氢化是在1250！℃低压条《件下四氯化》硅和氢气直接反应生！产三氯？氢硅的工艺该工艺】具有易操作》、反应无杂质带【入、：。后续精馏简》单、电耗高、—转化率低等》特，点；冷氢化是在【500？℃高压条件下四氯】。化硅、氢《。气与硅粉反应生产三！氯氢：硅，的工艺该工艺具【有，电耗：低、转化率高—、单体设备处理能力！大、操？作，要求高等特》点 ？