： 2  术  】 ， 语 》 2.0】.4  《。四氯化硅氢化是将多！晶，硅生产中大》量，副产：的四氯化硅》转，化成三氯氢硅的工艺！目前已经《实现工？业化生产、比较成熟！。的氢化工艺有热【氢化、冷氢化其【中热氢化是在—1250℃低压条】件下四氯化硅和氢气！直接反应生》产三氯氢硅的工艺】。该工艺具有易—操作：、反应无杂质带入】、后续精馏简单、】电耗高、转化率低等！特点；冷氢》化是：在，。500℃高压条【。件下四氯化硅、【氢气与硅粉反应生产！三氯氢硅的工艺该工！艺具有电耗低—、，转化率高、单体设备！处理能力大、操作】要求高等特点 【 ，