《2  术《   ？ 语 ？ 2.！0.：4  四《氯化硅氢化》。是将多晶硅生产中大！量副产的四氯化【硅转化成三氯氢硅的！工艺：。。。目前已经实现工业化！生产、比较成熟的氢！化工艺有热氢—化，、冷氢化其》中热氢化是在—。1250℃低压【条件下四《氯化硅和氢》气直接反应生产三氯！氢，硅的工艺该工艺【具有易操作、反应】无杂：质带入、后续—精，馏简单、电耗高、】转化率低《等特点；冷》。氢化是在500℃高！压条件下四氯化【硅、氢？。气与硅粉反应—生产三氯氢硅的【工艺该工艺具—有电：。耗低、转化率高、】单体设？备处理能力大、操作！要求高等特点— ：