： ：。2 ： 术 ？   语 — 2【.0.4  四氯化！硅氢化是将多晶硅】生产中？。大量副产的四氯化硅！转化成三氯》氢硅的工艺目前已】经实现？。工业化生产》、比较成熟的氢化工！艺有热氢化》、冷氢化其中热【氢化是在《1250℃低压条】件下四氯《化硅和氢《气直：。接，反应生？产，三氯氢硅的工艺该】工艺具？有，易操作、反》应无：杂质带入、后续精馏！。简单、？电耗高、《转化率低等特点；冷！氢化是在500℃高！压，。条件下四氯化硅、氢！气，与硅粉反应生产三氯！氢硅的工艺该工艺具！有电耗低、》转化率高、》单体设？备处理能《力大、操作要求高】等特点 》