2》  术？    语 【。 ： 2.0.4！  四？氯化硅氢化是—将多晶硅生产中【大量副产《的四氯化硅转化【成三氯氢硅》的工艺目前已—经实现工业化—生产、比较成熟【的氢化工艺有热氢】。化，、冷：氢化其中热氢化【是，。在1250℃低压】。条，件下四氯化硅和氢】气直接反应》生产三氯氢硅的工】艺该：工艺具有易操—作、反应《无杂质带入、—后续精馏简单、【电，耗高、转化率低等特！点；冷氢化是在5】00℃高压条件下】四氯化硅、氢—。气与：硅，粉反应？生产三氯氢硅—的工艺该工艺—具有电耗低、转化率！高、单体设备处【理能：力大、操作要求高】等特点 》