1》 总 则】
》
1.0.【1 本《条提出的“技—术,先进:、经济合理、安【全可:靠、环保节能—”,是国家的基》本技:术经济政策也是【多晶硅工《厂设计应贯彻实【施的方针《;,建设:资源节约《型、环境友好型【社会发展循环经【济是:国家:经,济,发展的一项重大战略!思想:
?
1《.0.2 已经】实现:工业化生产的多晶】硅生产工艺有冶金】法、:三氯:氢硅氢?还原法以及硅烷【法等其中三氯—氢硅氢?还原工艺成熟适合】大规模工《业化生产是》目前国内外主—流生产?工艺采用《此方:。法的产能占多—晶,硅总:产能的85%以【上本规范适用于三】氯氢硅氢还原—生产工艺;以歧【。化工艺?为主的硅《烷法的?三氯氢硅《合成:。、四氯化《硅氢化和精馏环【节与三氯氢硅氢【还原工艺基本相同也!按本规范的有—关规定?执行
《