10.3】  空气调》节与净？化 — 10》.3.1  厂【房空：气洁净度等级、温度！。、湿度的设计应满】足生产工艺》要求 《 10.【3.：2  存《在下列情况之一时】空调系统应分开设置！ 》   ？  1  》净化空调系统与一】般空调系《统；  ！   2 》 空气中含有易燃】、易爆物质》； —   ？  3  容易【产生交叉《污染对？其他工序《的产品质《。量造成影响； ！    — 4  对》温、湿？。。度控制要求差别【大；  ！ ，  5  工—艺设：备散：热量相差悬殊 】 10.【3.3  保证空气！洁净度等级的送风量！应符合下列规定 】 》 ，   1  5级】～8级洁净室—送风量？应符合现行国—家标准洁净厂房【设计规范GB 5】。。0073的有关规】定；： 》    《。 2  生产太阳能！级多晶硅的还—原炉室？当空调系统为三【级过：滤时其送风》量应按换气》次数：大于或等于6次【／h计算 】 1？0.3？.4：  空调系》统新风量应取—下列两项中的较大】值 《     【1  补偿室—内排风量和保持室】内正压？值所需新风》量之和？； 》。     2【  保证供》。给室内每人每小时的！新风量洁净区不应小！于40m3非洁【净区不应小》于，3，0m：3， ？ ： 10.3.5【  ：。洁净室送风可采用】。集中送风或风机【过滤机组送风的方式！ ？ 10》.3：.6 ？ ，洁净室与《周围区域《的压差应符合下列规！定 —     1 【 不同等《级的洁？净区之间的压差【不应小于5P—a； 《。  》  ： 2  洁净区与】非，洁净区之间的压差】不，。应小于？5Pa；《 《 ：。    《3  洁净区与室】外的压差《不应小于1》0Pa — 10.—3.7  洁净【空调：送风、？回风和排风系—统的启闭应连锁正】压洁净室《连锁：程序应为先启—动送风机《再启动？回风机和排风机；】关闭时连锁程序应】相反 》 10》.3.？8 ： 单向流和》混合流洁净》室的：空态噪声级》不，应，大于65《dB(A)非单向】流洁净室的空态噪】声级不应大于6【0d：B(A？) 》 10.3.9】  还？原车间应独立设置直！流空调送风系—统，不应回风 ！ ，10.3.10【  腐蚀清洗室、】硅棒破碎《室、配？件清洗室的空调送】风，系统不宜回风 【 1—0.3.1》1  洁净》空气调节系统的新】风集中处理时—新风处理机组应【符合：下列规？定  】   ？。1  新风》应经过粗效》过滤器处理； 】 《    2  【。严寒：地区新风应先预热；！ ，  —。   3  送风机！宜采：取变频措《施 》 ， 10.《3.12  —。空气过滤器选用、】布置应符合下列【规定  ！   1《  空气净化处【理应根？据空：气洁净度等级选用】过滤器； 》  —   ？2  空《气过滤器《处理风量不应—大于额定风量—； —   ？  3？  ：。中效(？高，中效)空气过滤器宜！。。集中设置在空—调系统的正压—段； ？ 《。     》4  亚高效和【高效过滤器宜—设置在净化空调【系统的末《端 ？ 1》0，.，3，.13  》风机：过滤机组的设—置应：符合下列规定 】 ，   》  1？  应根据》空气洁净度等级和】送风：量选用； 】 ：    2 — 送风量应能—调节； —     【3  应便于安装】、维修及《。过滤器更换 — 10.】3.14《  净化《空，调系统的送》风机宜采用变频装】置 ？