安全验证
。。 《10.3  空【气调节与《净化: , 《 10.—3.1  厂房空】气洁净度等级—、温度、湿度的设计!应满足生产》工艺要?求 — 10.3.2 】 存在下列情—况之一?时空:调系统应分开—设置: 》 ,    《。。1  净化空—。调系统与一》般空调系统;— 《     2 】 空气?中含有?易燃、易《爆物质; !     3 【 容易?产生交叉污染对其他!工序的?产品:质量造成影响; ! 《。   ? ,4  对温》、湿度控制要求差别!。。大; ? 》    5》。  工艺设》备散热量相》差悬殊 !。10.3.3 【 保证?空气洁净度》等,级的送风量应符合】。下列规?定  】   1 》 5:级~8级洁净室送】风量应符合现—。行国:家标准洁《净厂房设计规范GB! 500《73:。的,有,关规定; 】    》 2  生产太【。阳能级多晶》硅的:还原炉室当空调系统!为三级?过滤:时其送风量应按换】气次数大于或等于】6次/h计算 ! 10.3【.4  空》调系统新风》量应取下列两项【中,的,较大值 《  —   1《  补偿室》内排:。风量和?保持室内正压值所需!。新,风量之和; — 》  :  2  》保证供给室内每人】每小时的新风量洁净!区不应小于40m3!非洁净区不应小于】30m3 】。 1?0.3.5  【洁净室送《风可采用《集中:送风或风《。机过滤机组送—风的方?式 — 10.3.6  !洁,净室与?周,围区域的压》差应符合《下列规定 — :  ?   1  不【同等级的洁净—区之间的压》差,不应小于5Pa【; 【    2  【洁净区与非洁—净区:。之间的压差不应小】于5Pa; —  —   3  洁净区!。与室外的压差不【应小于10Pa【 ,。 : 10.3.】7  洁净空调送风!、回风和排风—系统的启闭应—连锁正压《洁净:室连锁程《序应:。为先启动送风机再启!动回风?机和:排风机;关闭—时连锁程序》。应相反? 10】.3.8 》 单向流和混合【流洁净室的空—态噪声级不》应大于65dB(】A)非单向流洁【净室的空态》噪声级不应》。大于:60:dB(?A) ? 10.】3.9?  还原车》间应独立设置直流空!调送风系统》不应回风 【。 10.3.】10  腐蚀清【洗室、硅棒》破碎室?、配件清《洗室的空调》送风系?统不宜回风 【 1》0.3.11  洁!净,空气调节系统的新】风集中处理时—新风处理机组应符合!下,列规定 《 ?     1【  新风应经过粗效!过,。滤,器处理?;   ! , 2  严寒地区新!风应先预热;— ,。   【  3  送风【。机宜采?取变频?措施 1!0.3.12 【 ,空气过?。滤器:选用、布《置应符合下列规定】    ! ,。1  空《气净化处理应—根据空气《洁净度等级选—用过滤器; ! :  :  2  》空气过滤器》处理风量不应大于额!定风量; — 《    3 — ,中效(高中》效)空气过滤器宜集!中,设置在空调系—统的正压段; 】 : ,    《 4 ?。 亚高效《和高:效过滤器宜设置在净!化空调系统的—末端 【 10.3.1【3, , 风:机过滤机组的设置应!符合下列规定 【 : :     》。1  应《根据空气《洁净度等级》和送风量选用;【 ? :   ?  2  》送风:量应能调节》; : : , ,     3  】应便于安装、维修及!过滤器更换 ! 1?0.3.《1,4  净化空—调系:统的送风机宜—采用变频装置 【 ,