10.3】。  空气调》节与：净化 《 ？ 10.3.1！  厂房空气洁净度！等级：、温度、湿度—的，设计应满足生产工艺！要求 — 10.3.2】  存在下列情【况之一时《空调系统应分开设置！ —    《1  净化空调系】统与：一般空调《系统； 》     】2  空气中—含有易燃《、易爆物《质； 】。    3  【容易产生交》叉污染对其他—工序的产品质量造】成影响； ！。   ？  4  对温【、湿度控制要—求差别大《； 【 ，   5《。  工艺设备散热量！相差悬殊 — 10.3】.3  《保证空气洁净—度，等级的送风量应【。符合下列规定 】 《  ：  1？  5？级～8级洁》净室送风量应符【合现行国家》。标准洁净厂房设计】。规范GB 5007！3的有关规》。定； 》 ，     —2  生产太阳【能级多晶《硅的还原炉室—当空：调系：统为三级过滤时【其送风量应按—换气次数大于或【等于6次《／h计算 》 ， 10.【3.4  空调系统！新风量应取下列【两项中的较大—值 ：  —   1  补【偿室：内排风量和》保持室内正》压值所需新风—量之和； 【。 ，   《  2  保证供】。给室内每《人每小时的》新风量洁净区不应】小，于40m3非洁【净区不应小于30】m3 1！0.3.5  【。洁净室送风可采【用集中送风》或风机过滤机—组送风的方式— 》 10.3.6  ！洁净室与周围区域的！压差应符合》下列规定 【。。  《   1  —不同等级的洁净区】之间的？压差：不应小于5P—。。a； 【     2— ， 洁净区与非洁净】区之间的压差不应小！于5Pa； — ：     3 ！ 洁净区与室外【的压差不应小于10！。P，a 1】0.3.7  洁净！空调：送风、回风和排风系！统，的启闭应连》锁正压洁净室连锁程！。序应为先启动送【风机再启动回风【机和排风《机；关？闭时连？锁程序应相反 【 》10.3.8  】单向流和混合流【洁净室的空》态噪声级不应大于】6，5dB(A)非【单向流洁净室的空】。态噪声级《不应大于6》0dB(A) 【 10【.3.9  还原车！间应：独立设置直流空调送！风系：统不应回风 — 10【.3.10  腐蚀！清洗：室、硅棒破》碎室、配《件清洗室的空调送】风，系统不宜回风 【 10【。.3：.11  洁净空气！调，节系统的新风集中】处理时新风》处，。理机组应《符合：下，列，规定 】   ？ 1  新风应经过！粗效过滤器处理； ！   【  2 《 严寒地《区新风应先预热；】    ！ 3  送风机【宜采取变频措施【 》 10.3.12】  空气过》滤器选？用、布置应》。符合下列《规定 】    《1，  空气《净化处理应根—据空气洁净度—。等级：选用过滤器；— ：   —  2  空气过滤！器处理风量不应大】于额定风量； 【 ， 《    3  中效！(高中效)空—气过：滤器宜集中设—置在空调系统—的正压段《； 【    4  亚高！效和高效过滤器【宜设置？在净化空调》系统的末《端 ？ ？ ，10.3.》13  风机过滤机！。组的设？置应符合下列规【定   ！  1？  应根据空—气洁净？度等级和送风量选】用； 《    【 ，2，  送风量应能调节！；   ！。  3？  应？便于安装、维—修及过滤器更换【 ？ 1《0.3.14 【 净化空《调系统的送风机【宜采：用变频装置 — ，