10.3 ！ 空气调节与净化 ！ 10！.3.1  厂房】空气洁净度等—级、温度、湿—度的设计应满—足生：产工艺要求 —。 ， 《10.3.2  存！在下列？情况之一《时空调系统应—分，开设置 】     1 【 ，净化空调系统与一】般空调系统； 【。 《 ，。    2  空气！中含有易燃、—易爆物质；》 ， ， ，     3】  容易产生交叉污！。染对其他工序的【产，品质量？造成：影响； 】。     4 【 对温、《。湿度控？制要求差别》大； 【    《 5  工艺设【备散热？量相：差悬殊？ ：。 ？ ，10.3.3  保！证空气洁净》度等级的送风—量应符合下》列规定 —。     【1  5级》～8级洁净室送风】量应符合现行国家标！准洁净厂房设—。计规：范GB 50—073的《有关规定； 【   —  2  生产太】。阳，能级多？。。晶硅的还原炉—室当空？调系统为《三级过滤时其送风】量，应按换气次数大于】或等于6次／h【计算 1！0.3.4  空】调系统新风》量应取下列两项中的！较大值 】     》1  补偿室内【排风量和保持室【内，正压值所需新风量之！。和； 】 ，   ？2  保证供给室】内每人每小时的【新风：。量洁净区不应小于4！0m3非《洁净区不应小于【30m？3 10！.3：.5  洁净室送】风可采用集中送风或！风机过滤机》组送风的方式 ！ ， ：10：.3.6  —洁净室与周围—。。区域的压差应符合】下列规定《 ？     【1  不同等级的】。洁净区之间的压差不！应小于5Pa；【。。 《     2 】 洁净区与非洁【净区之间的压差不】应小于5Pa—； ：   【  ：3  ？。洁净区与室》外的压差不应小于】10P？。a 10！。.3.7  洁【净空调送风》、回风和排风系统的！启闭应连锁正压【洁净室？连，。锁程：序应为先启动送风机！再启：动回风机和排风机；！关闭：。时连锁程《序应相反 】 10.》3.8  单向流】和，混合流洁《。净室的空态噪声【级，不应大于《65dB(A)非单！向流洁净《室的空？态噪声？。级不应大《于60dB(A) ！ ， ： 10.3.9】  还原车间应【独立：设置直？流空调送风系统不】应回风？ —10：.3.10  腐】蚀清洗室《、硅棒破碎室、配】件清洗室《的空调？送风系统《不，宜回风 ！10：。。.，3.11  —洁净空气调节系统的！新风：集中处理时》新，风处理机组应符合下！列规：定   ！  1  新风应】。经过粗效过滤器【。处，理； —   《  ：2，  严寒《地区新风应先预【热； 》  《 ，  ：3  ？送风机？。宜采取变频措—。施 ： ？ 10.3.【12  《空气过滤器选用、布！置应符合下列规定 ！ 》    1  空气！净化处理《应根据空气洁—净度：等级选用过滤器；】。 —   ？ 2  空气过滤】器处理风量不应【大于额定风量； 】 ：    —。 3  中效(高中！效)空气过滤器【宜集中设置在空【调系：统的正压《段； —   《  4  亚—高效和高效过滤器宜！设置：在，净化空？调系：统的末端 【 1《0.：3.1？。3，。  风机《过滤机组的设置【应符合下《列规：定  】   1《  应根据空气【洁净度等级和送【风量选？用； 》   》  2  送风【量应能调节； ！     3 ！ 应：便于安装、维—。修，及过滤器《更换：。 ： 《10.3《.，14  净》化空调系统的送【风机宜采用变频装置！ ：