《10.3《 空气调节与净化!。。
》
10.3【.,。1 厂房空气【洁净度等级、—温度、湿度的—设计应?满足生产工艺要求】
》
10.3.2【 存在下列情况】。之一时?空调系?统应:分开:设置
! : 1 净化—空,调系统与一般空【调系统;
!
》2 空气中—含有易?燃、易爆物质—;,
【 3 —容易产生交叉污染】对其他工《序,的产品质《量造成影响》;,
【 , 4 对温、】湿度控制要求差别】大;
】 : 5 工艺【设,备,散热:量相差悬殊
】
10.—3.3 保证空】气洁净度等级的送】风,量应符合《下列规定
—
《 1 5】级~8级洁净室送】风量应符合现行国】家标准洁净》厂房设?计规范G《B 50073的有!关规定;
》
— : 2 生产—太阳:能级多晶硅的—还原炉室当空—调系统为三级过【滤,时其送风《量,应,按换气?次数大于或等于【6次/h计算
!
10.3.4! 空调系统新【风量应取《下列两项《中的较大《。值
:
】 1 《补偿室?内排风量和保持室】内正压值所需新【风量之和;》
【 ?2, 保证供给室【内每人?每小时的新风量洁净!区不应?小于40m3—非洁净区不》应小于3《0m3
!10.3.》5, 洁净室送风可】采用集中送风或【风机过?滤机组送风的方式
!
?
1?0.3.6 — 洁净室与周围区域!的压差应符合下列】。规,定
!。 1 不同等级!的洁:净区之间的压差【不应小于5Pa【;
?
《 2 洁净!区,。与非洁净区之间的】压差:不应小于《5Pa;
【
《 3《 :洁净区与《室外:的压差不应》小于10Pa
】
:
:10.3.》7 洁《净空调送《。风、回风《。和排风系统》的启闭应连锁正压】洁净:。室连锁程序应为先】启动送?风机再启动回风机和!排,风机;关闭时连锁】程序应相反
【
,
1《0.3.8》。 单向流和混【合流洁净室的空态】。噪声级不应》大于65d》B(A)非单向流】洁净:室的空态噪声级【不应大?于60dB(A)】
》。
10.3.9【 还原车间应【独立设置直流—空调送?风系:统不:应回风
!10.3.10 !腐蚀清洗室》、,硅棒破碎室》、配:件清洗室的》空调送风《系统不宜《回风:
《
10.3—。。.1:1 : 洁净空《气调节系统的—新风集?中处理时新风处理机!组应符合《下列规定
》
【 1 新风应】经过粗效过》滤器处理《;
《
【2 严寒地—区新:风应先预《热;
》
《 3 送风】机宜采取变》频措施
—
1《0.3.1》2 ?空气过滤器选用、】布置应符合下列规定!
,
《。
: 1 —空气净化处理应【根据空气洁》净度等级选用过滤】器;
》
:
2 空!气过滤器处理风量不!应大于?额定风量;
】
? : 3 中效【(高中效)空—。气过滤器宜集中【设置在空调系统【的正压段;
【
,
4】 亚高效和高效过!滤器:宜,设置在净《化空调系统的—末端
【
10.3.13 ! 风机?过滤机组的》设置应符合下列规定!
:
,
【1 应根》据空气洁净度等级】和送风量选用;【
! 2 送风量应能!调,。节;
》
》 ,。 ,3 ?应便于安装、—维修及过滤器更换】
:。
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1《0.:3,.14? 净化《空调系统的》。送,风机宜采用变频【装置
?
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