10.3 ！ 空气调节与净化 ！ 【1，0.3.《1，  厂房空气洁净】度等级、温度、【湿度的设计应—满足生产工艺要【求 10！.3.2  存在下！列情：况之一时空调系统】应分开设置 【 ？     1  】净化空？调系统与一般空【调系统； 】   《  2  空—气中含有易燃—、易爆物《质； 】   ？。 3 ？ 容易产生交叉污】。染对其他工序的【产品质量《。造成影响； ！  ？   4  对温、！湿，度控：制要：求差别大《；  】   5  工艺】设备散热量》相差悬殊 】 10.》3.3  保证【空气洁净度等级【的送风？量应符合下列规【定 ：     ！1  5级～—8级洁净室送—风，量应：符合现？行国：家标准？洁净：厂，。房设计规《范GB 5007】3的有关规定—；   ！  2  》生产太阳能级多晶】硅的还？原炉室当空》调系统为三级过【滤，时其送风量》。应按换？。气次数大于》或，等于6次／h计【算 1】0，.3.4  —空调系统新风量【应取下列两》项中的较大》值， ，   【  1  补偿室】内排风量和保—持室内正压值所需新！风量之和； 【     】。2，  保？证供给？室内每人每小时的新！风量洁净区不应小】于40m3非洁净区！不应小于30m3 ！ 10.】3.5？  洁净室送风可】采用集中送风或风机！过，滤机组？送风的方式》 ？ ， 10.3.【6 ： 洁净室《与周围区《。域的压差《应符合？下列规定 ！   ？  1  》不同等级的洁净区】之间的压差不应【小于5Pa； ！     【2  洁净》。区与：非洁净区之》间的压差不应小于】5Pa； ！     3—  洁净区》与室：外的压差不应小于】10Pa 】 ：10.？3.7  洁净空调！送风、回风》和排风系《统的启闭应连锁【正压洁净室》连锁程序《应为先启动送风【机再启动回风机和】排风机；关闭时【连锁：程序应相《反 10！.3.8  单【。向流和混《合流洁净室的—空态噪？。声级：不应大于65dB(！A)非单向流—洁净：室的空态噪声级不应！大于60dB(A】) 【10.3.9—  还？原车间应《独，立设置直流空调送风！系统不应回》风 》 10.3.1】。0  腐《蚀清洗？室、硅棒破碎室、】配件清洗室的空【调送：风系统？不宜：回风 】10.3.11【  洁净空气调节】系统的新风集中处】理时新风处理—机，组应符合下列规定 ！ ：     1】  新风应经过粗】效过滤器处理； 】  —   ？2  严寒地区【新风应先预热—； —     3—。  送风机宜采取变！。频措：施 【10.3.12 】 空气过滤器—选用、布置应符合】下，列规定 —    — ，1  空气净化【处理应根据空—气洁净度等级选【用过滤器； 】    — 2  空气过【滤器处理风》。量不应大于额定风量！；， 》    《 3：  ：中，效(高中效)空【气过滤器宜集中设】置在空调《系统的？正压段； 【    — 4：  亚高效和高【效过滤？器宜：设置在净化空调系统！的，末端 1！0，.3.13  风机！过滤机组《的设置应《符合下？列，规，定 ：。   【  1  应—根据空气洁净度等级！。和送风量选》用； —     2 】 送风？量应能调节；—。 《     —3  应便于安装】、维修及过滤器更换！ —10.？3.14  净化】空调系统《的送风机宜》采用变频装置 】