。。 《10.3  空【气调节与《净化： ， 《 10.—3.1  厂房空】气洁净度等级—、温度、湿度的设计！应满足生产》工艺要？求 — 10.3.2 】 存在下列情—况之一？时空：调系统应分开—设置： 》 ，    《。。1  净化空—。调系统与一》般空调系统；— 《     2 】 空气？中含有？易燃、易《爆物质； ！     3 【 容易？产生交叉污染对其他！工序的？产品：质量造成影响； ！ 《。   ？ ，4  对温》、湿度控制要求差别！。。大； ？ 》    5》。  工艺设》备散热量相》差悬殊 ！。10.3.3 【 保证？空气洁净度》等，级的送风量应符合】。下列规？定  】   1 》 5：级～8级洁净室送】风量应符合现—。行国：家标准洁《净厂房设计规范GB！ 500《73：。的，有，关规定； 】    》 2  生产太【。阳能级多晶》硅的：还原炉室当空调系统！为三级？过滤：时其送风量应按换】气次数大于或等于】6次／h计算 ！ 10.3【.4  空》调系统新风》量应取下列两项【中，的，较大值 《  —   1《  补偿室》内排：。风量和？保持室内正压值所需！。新，风量之和； — 》  ：  2  》保证供给室内每人】每小时的新风量洁净！区不应小于40m3！非洁净区不应小于】30m3 】。 1？0.3.5  【洁净室送《风可采用《集中：送风或风《。机过滤机组送—风的方？式 — 10.3.6  ！洁，净室与？周，围区域的压》差应符合《下列规定 — ：  ？   1  不【同等级的洁净—区之间的压》差，不应小于5Pa【； 【    2  【洁净区与非洁—净区：。之间的压差不应小】于5Pa； —  —   3  洁净区！。与室外的压差不【应小于10Pa【 ，。 ： 10.3.】7  洁净空调送风！、回风和排风—系统的启闭应—连锁正压《洁净：室连锁程《序应：。为先启动送风机再启！动回风？机和：排风机；关闭—时连锁程序》。应相反？ 10】.3.8 》 单向流和混合【流洁净室的空—态噪声级不》应大于65dB(】A)非单向流洁【净室的空态》噪声级不应》。大于：60：dB(？A) ？ 10.】3.9？  还原车》间应独立设置直流空！调送风系统》不应回风 【。 10.3.】10  腐蚀清【洗室、硅棒》破碎室？、配件清《洗室的空调》送风系？统不宜回风 【 1》0.3.11  洁！净，空气调节系统的新】风集中处理时—新风处理机组应符合！下，列规定 《 ？     1【  新风应经过粗效！过，。滤，器处理？；   ！ ， 2  严寒地区新！风应先预热；— ，。   【  3  送风【。机宜采？取变频？措施 1！0.3.12 【 ，空气过？。滤器：选用、布《置应符合下列规定】    ！ ，。1  空《气净化处理应—根据空气《洁净度等级选—用过滤器； ！ ：  ：  2  》空气过滤器》处理风量不应大于额！定风量； — 《    3 — ，中效(高中》效)空气过滤器宜集！中，设置在空调系—统的正压段； 】 ： ，    《 4 ？。 亚高效《和高：效过滤器宜设置在净！化空调系统的—末端 【 10.3.1【3， ， 风：机过滤机组的设置应！符合下列规定 【 ： ：     》。1  应《根据空气《洁净度等级》和送风量选用；【 ？ ：   ？  2  》送风：量应能调节》； ： ： ， ，     3  】应便于安装、维修及！过滤器更换 ！ 1？0.3.《1，4  净化空—调系：统的送风机宜—采用变频装置 【 ，