安全验证
《10.3  —空气调节与净化 ! , 1—0.:3.1 《 厂房?空气洁净度等级、温!度,、湿:度的设计《应满:足生产工艺要求 ! 10.3】.2  《存在:下,列情况之一时空调】系,统应分开设置 【 ?   《  :1  净化空调【。系统与一般空—调,系,统; 【     2—  :空气中含有》易燃、易爆物—质; 】    3  【容易产生《交叉污染对其—。他工序的《产品质量造》成影响;《 —    4  对温!、湿度控制要求差别!大; 【 ,    5 — 工艺设《备散热量相差—悬殊 【 10?.,3.3  保证空】气洁净度等级—的,送,风量应符合下—列规定? —    1 — 5级?~,8级:洁净室送风》。量应符合现行国家】标准洁净厂》房,设,计规范GB 500!73的有关》规,定; ?  —  : 2  生产—太阳能级多》晶硅的?还原炉室当空调系统!为三级过滤时其送】风量应按换气次数大!于或等于6次/【h计算 》 10.3.!4  ?。空调系统新风量【应取下列两项中的较!大值 —    》 1  补偿室内】排风:量和保?持室内正压值所需】新风:量之和?; ? 《    2  保证!供给室内每人每小】时的新风量洁—净区不应小》于40?m3非洁净区不【应小:于,30m3 【 , 10《.3.5《  洁净室送—风可采?用集中?送风或风机过滤【机组送风的方—式 》 10.3—.6 ? ,洁净室与周围区域的!压,差应符合下》列规定 《 》 ,  : 1  不同等【级的洁净区》之间的压《差不应小于5Pa;! ? ,  ? ,  :2  洁《净区与非《洁净区之间的压【差不应小于5P【a;: ?   》  3  》洁净:区与室外的压差不】应小于1《0Pa !10.3.7— , 洁净空调送—风、回风和排—。风系:。统的启闭应连锁【。正,压洁净室连锁程【序应为先启动—送风机再启动回风机!和排风?机,;关闭时连锁程【序应相反 》 , 1》。0.:3.8 《 单:向,流和混合流洁净室】的空态噪声级—不应大于65dB(!A)非单向》流洁净室的》空态噪声级不应大于!6,0dB(A) 【 1—0.3?.,9  还《原车间应独立设【置直:流空:调送风系统不应回】风 : ? :10:.3.10 — ,腐蚀清洗室、硅【棒破碎室、配件清】洗,室的空调送风系统】不宜回风 ! ,10.?3.11《  洁净空气—调,节系统的新风集中处!理时新风《处理机组应符合下】列规定 《 ?    》 1:。  新风应经过粗效!。过滤器处理; !   》  :2  严寒地区【新风应先预热; ! ?     3  】送风机宜采取变【频措施 【 10.3.1】2 : 空气过滤器选用、!布置应符合》下列规定 【     1】 , 空气净《化处理应根据—空气洁净度等级选用!。过滤器?;,  【。   2 》 空气?过滤器处《理风量不应大于额】定风量; 》   【 , ,3  ?中效(高中效—)空:气过:滤器宜集中设—置在空调《系统的正压段; 】  —  : 4  亚高—效和高效过滤器【宜设置在净化空【调系统的末端 】 10.3.!13  风机过滤机!。组的设置应符—合,下,列规定 》。     】1  应根据—空气洁净度等级和】送风量选用; 【 : :     》2  送风量应能调!。节,;   !  3  应便【于,安装、维修》及过滤器更换 】 《10.3.》14  净》化空调系统的送风机!宜采用变频装置 】 ,