《10.3  —空气调节与净化 ！ ， 1—0.：3.1 《 厂房？空气洁净度等级、温！度，、湿：度的设计《应满：足生产工艺要求 ！ 10.3】.2  《存在：下，列情况之一时空调】系，统应分开设置 【 ？   《  ：1  净化空调【。系统与一般空—调，系，统； 【     2—  ：空气中含有》易燃、易爆物—质； 】    3  【容易产生《交叉污染对其—。他工序的《产品质量造》成影响；《 —    4  对温！、湿度控制要求差别！大； 【 ，    5 — 工艺设《备散热量相差—悬殊 【 10？.，3.3  保证空】气洁净度等级—的，送，风量应符合下—列规定？ —    1 — 5级？～，8级：洁净室送风》。量应符合现行国家】标准洁净厂》房，设，计规范GB 500！73的有关》规，定； ？  —  ： 2  生产—太阳能级多》晶硅的？还原炉室当空调系统！为三级过滤时其送】风量应按换气次数大！于或等于6次／【h计算 》 10.3.！4  ？。空调系统新风量【应取下列两项中的较！大值 —    》 1  补偿室内】排风：量和保？持室内正压值所需】新风：量之和？； ？ 《    2  保证！供给室内每人每小】时的新风量洁—净区不应小》于40？m3非洁净区不【应小：于，30m3 【 ， 10《.3.5《  洁净室送—风可采？用集中？送风或风机过滤【机组送风的方—式 》 10.3—.6 ？ ，洁净室与周围区域的！压，差应符合下》列规定 《 》 ，  ： 1  不同等【级的洁净区》之间的压《差不应小于5Pa；！ ？ ，  ？ ，  ：2  洁《净区与非《洁净区之间的压【差不应小于5P【a；： ？   》  3  》洁净：区与室外的压差不】应小于1《0Pa ！10.3.7— ， 洁净空调送—风、回风和排—。风系：。统的启闭应连锁【。正，压洁净室连锁程【序应为先启动—送风机再启动回风机！和排风？机，；关闭时连锁程【序应相反 》 ， 1》。0.：3.8 《 单：向，流和混合流洁净室】的空态噪声级—不应大于65dB(！A)非单向》流洁净室的》空态噪声级不应大于！6，0dB(A) 【 1—0.3？.，9  还《原车间应独立设【置直：流空：调送风系统不应回】风 ： ？ ：10：.3.10 — ，腐蚀清洗室、硅【棒破碎室、配件清】洗，室的空调送风系统】不宜回风 ！ ，10.？3.11《  洁净空气—调，节系统的新风集中处！理时新风《处理机组应符合下】列规定 《 ？    》 1：。  新风应经过粗效！。过滤器处理； ！   》  ：2  严寒地区【新风应先预热； ！ ？     3  】送风机宜采取变【频措施 【 10.3.1】2 ： 空气过滤器选用、！布置应符合》下列规定 【     1】 ， 空气净《化处理应根据—空气洁净度等级选用！。过滤器？；，  【。   2 》 空气？过滤器处《理风量不应大于额】定风量； 》   【 ， ，3  ？中效(高中效—)空：气过：滤器宜集中设—置在空调《系统的正压段； 】  —  ： 4  亚高—效和高效过滤器【宜设置在净化空【调系统的末端 】 10.3.！13  风机过滤机！。组的设置应符—合，下，列规定 》。     】1  应根据—空气洁净度等级和】送风量选用； 【 ： ：     》2  送风量应能调！。节，；   ！  3  应便【于，安装、维修》及过滤器更换 】 《10.3.》14  净》化空调系统的送风机！宜采用变频装置 】 ，