？ 1：。0，.3  空气调【节与净？化 《 ， 10—.3.1 》 厂房空气》洁净度等《级、温度、湿—度的设计应满足【。生产工艺要求—。 ， ： 10》.3.2  —。存在下列情况之【一时空调系统应分】开设：。置 ： 《     1—  净化空调系统与！。一般空调系统—； 【 ，   2《 ， 空气中含有—易燃、？易爆物质； 【  》   3 》 容易产生交叉污染！对，其他：工序的产品质量【造成影响；》  【   4  对【温、湿度控制要【求，差，别大； 】 ，   ？ 5：  工？艺设备散《热，量相差悬殊 ！ 10.3—.，3  保证空气洁净！度等级的送》风量应符合下—列规定 《     ！1  5级～8【级洁净室《送风：量应符合现行国家】。标准洁净厂房—设计规范《GB 500—。73的有关规—定； 】    《2，  生产太阳—能级多？晶硅的还原》炉室当空调系统【为三级过《滤时其送风量应【按换：气次数大《于或等？于6次／h计算 】 ， 10—.3.4《  空调《。系统新风《量应取下列》两项中的《较大值 《   【  1  补偿室】内排风量和保持【室内：正压值所《需新风量之和； 】 ，  》   ？2  保证》供给室？内每人每小》时的新风《量洁净区不应小于4！。0m3？非洁净？区不应小于3—0m：。3 10！.3：.5  《洁净室？送风可采用》集，中，送风或风机》过滤：机组送风《的，方式 《 ： 1？0.3.6  【洁净室？与周围区域的压差】。。应符合下列规定 】 ？ ：    1  不】同等级的洁净区之间！。的压差？不应小于5P—a； —   《。  2  洁—净区与非洁净区之】间的压？差不应小《于5Pa；》 》   ？  3？  洁净区与—室外：的压差不应小—于10Pa》 ： 10.3.！7  ？洁净空调送风、回】风和排？。风系：统的启闭应连锁【正压洁净《室连：锁程序应为》先启动？送风机再启动回【风机和排风机—；关闭？时连锁程序》应相反？ ： 1》0.3.《8， ， 单向流和混合【流洁净？。室的空态噪声级不】应大于65dB(】A，)非单向流洁净室的！空态噪声《级不应大《于60dB(A【)， 1【0.3.9  还原！车间应独立设置直流！空调送风系》统不：应回风 ！10.3.》10  《腐蚀清洗室、—硅棒破碎室》、配件清《洗室：。的空调送风系统【不宜回风 】 ：10.3.11 】。 洁净？空气调节系统的【新风：集中处理《时，新，风处理机组应符合下！列规定 【    》 1： ， 新风应经过粗【。效过滤器处理；【  【 ，  2  严寒地区！新风应先预热；【 ？     3 ！。 送风？机宜采取变频措施 ！。 《 10.3》.12？ ，。 ，空气过滤器选用、布！置应符合下列规定】 ， ？ ，     1  空！气净化处理应根据空！气洁：净度等级选用过【滤器； 】     》2  空《气过滤器《处理：风量：不应大于额定风量】； 》     —3  中《效(高中效)空气过！滤器宜集中设置【在，空调系统的正压段】；  】   4  亚高效！。和高效过滤器宜设】置，。在净化空调》系统的末端 【 10.3】.13  风机【过滤机组《的设置？应符：合下列规定 —  —   1  —应根据空气洁净度】等，级和送风量选—用；  ！   2 》 送风？量应能调节；—    ！ 3  应便—于安装、维修及【过滤器更换》。 1【0.3.14— ， 净化？空调系统的送风机】。宜采：用变频？。装，置 ？