《1, 总 — ,则,
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1.0》.1 为规范【多,晶硅工?厂的工程设计提高】工程设计质量做【到技术先进、—经济合理、安全可】。靠,、环:。保,节,能制定本规范—。
1.0!.2 本规范适用!于采:用三氯氢硅氢还原】法的新建、扩建【和改:建多晶硅工厂的工程!设,计也适用于》硅,烷歧化法《多晶:硅厂:中三:氯氢硅合成、—四氯:化硅氢化和氯硅烷提!纯的工程设计
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?1.:0,。.3 ? 多晶硅工》厂设计应积极采【用节能、环保、高】。效、先进的装备【和工艺提《高资源?、能:源利:用率实现物料、能】源,综合利用和清—洁,生产
】1.:0.4 多晶硅】工厂:设计除应符合本【。规范外尚应符合【国家现行有关—标准:的规定
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