1 — 总：    则 】。 1.0.！1 ： 为规范《多晶硅工厂的—工程设？计提：高工程设《计质量做到技术先进！、经济合《理、：安全可靠、环保节能！制定本规《范 1】。.，0.2 《 本：规范：。适，用，于采用三氯氢硅氢还！。原法的新建、扩【建和：改，建多晶硅工》厂的工程设计也【适用于硅烷歧化法】多晶硅厂中三氯氢硅！合成、四氯化硅氢化！和氯硅烷提纯的工程！设计 ？ ： 1.0—.3：。 ， 多晶硅工厂设【计应：积极采？用节能、环保、高】效，、先进的装》。备和工艺提高—资源：、能源利用率实现物！料、能源综合利【用和清洁生产 】 1.—0.4？ ， 多晶硅工厂—设计除应符合本规范！。外尚：应符合国家现—行有关标《准，的规定 》