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1 总》 则
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1.0.》1 为规范多【晶硅工厂的工程【。设计提高《。工,程,设计:质量:做到技?术先进、经济合理、!安全:可靠:、环保节能制定本】。规,范
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1.0.2】 本规范适用【于采用三氯氢硅【氢还原法的新—建、扩建《和改建?多,晶硅:工厂的?工程设计《也适用于硅烷歧化】法多晶硅厂中三【氯氢硅?合成、四氯化硅氢】化和氯硅烷》提纯的工程设计
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1.【0.3 多—晶硅工厂设》计应积极《采,用节能、环保、高】效、先进的装备和工!艺提高资源》、能源?。利用率实现物料【、能源综合利用和】清洁生产《。
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1.—0.4 多晶硅工!厂设计除应符合本】规范外尚应符—合国家现行有关标准!的规定
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