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1《 总 — 则
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1.0.1 !为,规范:多晶硅工厂的工【程设:计提高工程》设计质?量做到技术》先进、经济合理、】安全可靠、环保节能!制,定本规?范
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1.—0.2 本规范适!用于采?用三氯氢硅氢还原法!的新:。建、扩建《和,改建多晶硅工—厂的工程设计—也适用于硅》烷,歧化法多晶》硅厂中三氯氢硅【合成、四氯化—硅氢化?和氯硅?烷提:纯,的,工程设计
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》1.:0,。.3 多晶—硅,工厂设计应》积极采用节能、环保!、高效、先进的【装,备,和工艺?提高资源、能—源利用率实现—物料、能源》综合利?用,和,清洁生产
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《1.0.4 多】晶硅工厂《设计除应符》合本:。规范外尚应符合国家!现行有关标》准的规定
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