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1《 , 总 —则
!1.0.1 为】规范多?晶硅工厂的工程设】计提高工程设计【质量做到技》术先进、《经济合理《、安全?可靠、环保节—能制:定本规范
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1.0.2! :本规范适《用于:采用三氯氢硅氢【。还,原法的新建、扩建和!改建多?晶硅工厂的工程【设计也适用》于硅烷歧化法多晶硅!厂中三氯氢硅合成、!四氯化硅《氢化和氯硅烷提【纯的:。工程设?计
1.!0.3 》多晶硅工厂设计应】积极:采,用节能、环》保、高效、先进的】装备和工艺提高资】源、:能源利用《。率,。实现物料、能源综】合,利用和清洁生产
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1》.0.?4 多晶硅—工,厂设计?。除应:符合:本规:范,外尚:应符合国《家现行有关标准的】规定
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