：。 ：4.：5  半《导体材料制备— 4！.5.1  本【条对硅？。、锗：材，。料制备废气治理作】出要求 【 ：   ？ 3  《高纯三氯氢硅还原】尾气：。中主要含《有氢气、《氯化：氢和氯？。硅烷还？原尾气干法回收技术！是利用还原》尾气中各种组—分物理性能(—露点、沸点)上的】差异通过加》压冷凝、吸》收-脱吸、活性炭】吸，附，等物：理，手段把尾气中的【氢气：。、氯化氢、三氯氢硅！、二：氯二氢硅、四氯化硅！逐一：分开分别返回主【工艺中四氯》化硅通？过氯化转《变成的三氯》氢硅也返回系统【使用由于还原尾【。气干法回收》系统完全密闭不外】排尾气分离回—。收的上述副产物全】部返回工《艺系：统使用从而达到了回！收，副产物、变废为【用的目的《本规范推《荐采用还原尾—气干法回收》。技术 — ， ，  ：。  5  硅粉仓、！。锗精矿仓《进，、出料？产，生的：粉尘应设计高效布】袋除尘器净化—。。回收的尘粉即硅粉】。、锗精矿《。粉应返回原料制备车！间 》 ，   ？  6  氧化【锗制备过《程产生？的尾气中含有氯化】氢、：氯气应设计氢氧化】钠碱液一级》淋洗净化还原—锗锭：、区熔锗锭》腐蚀过程产生—含氟化？氢、氮氧《化物的废气》应设计氢氧化钠【。碱液两级淋》洗才能？使氟化物《、氮氧化物达—标排放 — ，   《  7？。  单晶硅、—单晶锗酸洗》过程产？生，含氟化氢《。、，氮氧化物的废气也应！设置碱液淋洗装【置净化 》 4》.5.2  —合，成，砷化镓？时发生石英管爆【裂的概率《。很低：持续时间也很短(最！长5min)这【种事故发生的—时间一？般在合？成炉升温《的前30《min和降温—。的后30《min由于炉内【温度高于40—。0℃砷会迅速挥发产！生三氧化二砷剧【毒气体因此必—须设：置，事故排放的》含砷废气处理设【施妥善处理》事故排放的》含砷废气《三氧化二砷气—。体，是剧毒气《体因此？将本：。条设为强制性条文】必须：严，格，执行 ？ ，