？ 4.5  —半，。导体材料制备 【 《 4.》5.1  本条对硅！。、锗材料《制备废气治理作【出要求 【     3 】 高纯三氯氢—硅，还原尾气中主—。要含有氢气、氯化氢！和氯硅烷还原—尾气干法回收—技术是利用还原【尾气中各种组分【物理：性能(露《点、沸点)上的差异！通过加压冷凝、吸】。。收-脱吸、活—性炭吸附等》物理手段把尾—气中的氢气、氯化氢！、三氯氢硅、二氯】二氢硅、四氯化硅逐！一分开分别》返回主工《艺中四氯化硅通过】氯化转变成的三氯】。氢硅也？返回系统使用由【于还原尾《。气干法回收》系，统完全密闭不外排】尾气分离回收—的上述副产物全【。。部返回工艺系统使】用从而达到了回收副！产物：、变废为《用的目的本规—范推荐采用》还原尾气《干法回收技术— ，    】 5 ？ 硅粉仓、》锗精：矿仓进、出》料产生的粉尘应【设计高效布袋除【尘器净化回收的尘粉！即硅粉、锗精矿粉】应，返回原料制备车【间 【 ，   6  氧化锗！制备过？程产生的尾气中含】有氯：化氢、氯气应设【计氢氧化钠碱—液一：。级，淋洗净？。化还原锗锭、—区熔锗锭腐蚀过【程产生含氟化—氢、氮氧化物的【废气应设《计氢：氧化钠碱液两级淋洗！。才，能使氟化物、—氮，氧化物达标排放 ！ ， ，   《  7  单晶硅】、单晶？锗酸洗过程产生含】氟化氢、氮氧化物】的废气也应设—置碱：液淋：洗装置净化 —。 4.5】.2  合》成砷化镓《时发生石英管爆【裂的概率很低持【续时间？。也很短(最长5【。min)这》种事故发生的—时间一般在合成炉】。。升温的前3》0min和》降，温的后30mi【n由于炉内温—度高于4《00℃砷会迅速挥】发产生？三氧化二砷剧毒【。气体：因此必须设置事故】排放的含砷废气处理！设，施妥善？处理事故排放—的含砷废气三氧【化二砷气《。体是剧毒气体—因此将本条设为强】制性条文必须严格】执行 《