D》.3  《洁净室测试方法【 》 D《.3.？1 ： ，风量或风《速测试应符合下列】。。规定 1！  对于《单，向流洁净《室应采用《截面平？。均风速和截面乘【积的方法《确定送风量并—应取离高效》过滤器300—mm垂直于》气流：的截面作为测试【平面应将测试—平面分成相等的栅格！。每，个栅格？尺寸应为600【mm：×600《。mm或末《端空气过滤》器尺：寸测点应在栅格中心！或不：应少于3点》每一点的测》试时间不应少于1】0s应记录平—均值、？最大：值和最小值并应以算！。术平：均值作为《平均风速 【 ， 2  对—于非单向流洁净室每！一点的测试时间不应！少于10s ！。 3  在每个末！端，空气过滤器或—散流器处应采—用，风口法、《风管法、风罩—法等测量送风风【速确：定送风量每个测【。试，。位置的测点数不应少！于，。3点 《 D.3.】。2  静压差—测试应符合下列规定！ ：。 1  【静压差的测定—应在所有的门关【闭时进行 》 《 2：。  ：仪器宜采《用，各种型？式的微压计》。仪表灵？敏度应小于1—.0Pa《 ， ， 3  洁净！。厂房有多《个洁净室(区)时应！从最里面的房间与】相，邻房间的《压差测试开始—。并，。应按顺序向外进行】检测：。 —D，.3.3  已安】装的空气过滤器泄漏！测试应符《合下列规定 】 ： 1  仪》器应：使用采样《量大于1 l—。／mm的光学—粒子计数《器， 2【  应在过滤器上】风侧引入《大于等于0.1μm！(0.5μ》。m)：粒子粒子浓》度应大于3.5【×107P／m【3的大气尘》。或其他气溶胶；【在，过滤器下风侧应用】粒子：计数器的等》动力采样头放在距】离被：检过滤器表面20～！30mm处并应以】5～20《mm／s速度—。移动：应检测包括过滤器】的整个？面和过滤器周边、】。过滤器？框架及其密封处的】扫描 》。 D《.3.？4  ？洁净度的检测—应符合下列规定 ！ 1  【。应使用采《样量大于1 —l，／m：in光学粒子计数器！应根据粒径鉴别【能力、粒《子浓度？适用范？围和：。计，数效率等《要求选用仪》器仪器？应有：有，效的标？定合格证书 【 2 — 最少采样点—应按下式《计算 》 N《L＝A0.5  】  (D.3.41！) 式中！  ：NL最少采样点；】 》 A洁净室或—被控洁净区的—面，积(：m2) 《 ， ？ 采样点《。应均匀分《布于洁净《。室(区)的》整个面积内并应【位于：工作区的高度 【 ， 3》 ，。 ，每一：采，样，点的每？。次，采样量应按下—式确定 《 ！ 4  当洁【净，室(区)《仅有一个采样点【时则在该点应—至少采？样3次 ！D，。.，3.5  气流流型！的检测应符合下【列规定？ ： ： 1  气—流流型的检测宜采】用气流目测法 【 ，。 2  气】流目测法《有，示踪线法、示踪剂】注入法？并应用？图像处理技》。术记录和处理示踪】线法所用《纤维或示踪剂的微粒！都不应成为洁净【室(区)的一种污染！源， —3 ： 示踪线法》应为通过观察放【。置在测试杆末端或气！流中细钢丝格栅上】的丝线或单根尼龙纤！维等直接目》测得到气流方向或因！干，扰引起？的波动 ！4  示踪剂注入】法可采用纯水喷雾】或化学法生成的【乙，醇／正二《醇等示踪《剂粒子？。的特性？。在高强度光源—下进行？观察：或做成图像 】 5  应采用！图像处？理技术进行》气流：目，测本法一般是与【示，踪法结合将在—。。。摄像机或膜上—的粒：子图：像等经技术处理得到！气流特性 】 ， 6  气流—。目测的测《点位置、仪器—等，。应根据？洁净室(区》)的：具体条件洽》。商确：定， D.】3.6 《 温度、相对湿度】。的检测应符合下列】规定 —。 1  温度【、相对湿度的检测应！在洁净室(》区)内气流分布【均匀：状态测试并应在净】化空调系统试—。运转合格后安排【进行：温，度，、相对湿度》检测应在净化空调系！。统已经？运转并应至少稳定】运，行1.0h后进行】 ： ： 2  相对【湿度检测应将洁净工！作区：。划分为？等面积网格每格最】大，面积应为10—0m2应每格一个】测，点但每？个房：间不应少于2个测】点 ？ 3 — 检测用《探测器应设在—洁净室(《区)：内的工？作高：度且距洁净室(【。区)的吊《顶、墙和地面不应少！于300mm并【应，考量洁净室(区)】。内可能存在的热源的！影响 】。4  检《测时间应至少1【。。.0h？并应至少6m—m进行1次(30】。s)读数、》记录 ？ D.3.！。7  噪声检测【应符合下列规定 】 1—  洁净室》(区)？内的噪声检测应采用！带，倍频程分析的声【级计 》 2  洁净】室(区)内的噪声检！测点应根据电子产品！生产工艺要求确定】噪声检测点宜距【。地面1.1》～1.5m距—墙应大？于3m；检》测点的布置宜按洁】净室：(区)？面积均分宜每10】。0m2？设一检测点 —。 D.3.！8  照度》测试：应符合下列规定 】 1  】洁净室(区)内照】度检测宜采用便携式！自动记录照度计【 ， ， 2》  照度检》测，应在室内温度稳【定，、光源光输》出稳定后进》行洁净室(区)照】。度，检测不应包括—生产设备等的—局部照？明和备？用，照明 【。 3  照度检测】点应设在《工作高度宜距地面0！.85m应每—25：m2设一个测点【 D.3！.，9 ： 微振？检测应符合下列规定！。 ， 1  洁！。净室(区)内有微振！控制要求《。的场所的检测应采】用符合精《密，设，备、仪器容许振动】值要：求的：微振：测试分析《系统进？行分阶？段测：试 2】  微振检测点【。应根据洁净室(区】)，内需进？行，微振控制的》精密设？备、仪器的布置【和，微振控制设》计的要求设置一般】检，测点应设在微—振控制相关的地【面、楼面、基础面等！ ： 3 — 微振控制的检【测应由具有相应资】质的：单位进？行现场？检测数据等应经过】科学分析后提—供微振控制》检测报告应包括【检测数？。据的：分析、结论》等 D】。.3.10》  ：。自净：时间检测应符合下】列规定 — 1  自【净时间的检测宜用于！非单向流洁净室【。 ： 2》  ：自净时间的检—测宜采用大气—尘或烟雾《发生：器等：人工尘源为基准【并宜以粒子计—数器进？行检测同时》应符合？下列要求 【 1)以大气尘！为基准时《则必须将洁净室【停止运行《相，当时：间在室内含》尘浓度已接近—于大气浓度时测【出洁净室内靠近回】风口处的含尘—浓度(N《0)然后开机定【时读数(一般可【设置每间《隔6s读数一次)直！到回风口处的含尘浓！度回复到原来的稳定！状态记录下》所需的？。时间(？t) 《 2)以人工！尘，源为基准时应将烟雾！发生器放置在离地】。面1.8m以上室】中，心发烟1～2—min后停止等待1！min测出洁净室】内靠：近回风？口处的？含尘浓度(N0)然！后开：机方法同上 【 3》  由初《始浓度(N0—)、室内达到稳【定的浓？。度，(N)、实际换【气次数(n》)可得到计算自净】时间(t0)与【实测自净时间—(t)？。。进行对比如果t【≤1. 2》t0为合格 ！ 4  自净时】间检测？方法：除上述方《法外还有微》粒浓度变化率评估】法等自净时》间检：测方法应洽商—确定 》 D《.3.？。。11  密闭性【检，测应符合下列规定 ！ 1  】密闭性检《测或称抑制》。渗漏测试是测定洁】净室(区)有无受污！染，的空：气，。从周围具有》相同：或不相同静压的较低！洁净度等级的洁净】室(区)或》非洁净室(区)【侵入本检《测，一般用于ISO 】1～5级洁》。净室(区) ！ 2  采用粒】子计：数，器法检？测洁净室(区—)的：密，闭性检测时应先【测量紧靠被测围【护结构表面外部的悬！浮，。粒子：浓度一？。般此浓度应比洁净】室(区)内浓度大1！04并大《。于，等于3？. 5×106【。个／m3待测粒径的！粒子 【 3  洁净—室(区)的施工接缝！包括对墙板、—吊顶的接缝和—管线、灯具等的接缝！的渗漏检测应在被测！部位的50～—100mm处扫描其！扫描速度为50m】m／s 》 ？ 洁净室敞开门处的！渗漏检测应》在距：离门0.3～3.0！m，处测定洁《净室：内的悬浮粒子—。浓度 】记录并报告比—测得：的外部相同粒径【粒子浓度大》于，10-？3倍的读数》和位置 》