D.3 】 洁净室测试方【法 — D.3.【1  风量或风速测！试应符合《下列规定《 ，。 1—  对于《单向流洁净室应采用！截面平均风》速和截？面乘积的方法确定送！风量并应取离高效过！滤器300mm垂直！于，气流：的，截面作为《测试平面应将测试平！面分成相等》的栅格每个》栅格尺寸应为60】0mm×600mm！或末端空气》过滤器？尺，寸，。测点应在栅格中【心或不应《少于3点每》一点的测试时间不】应少于10s应记录！平均值、最大值和】最小值并应》以算术平均值作【为平：均风：。速， 2  ！对于非单《向流洁净室每—一点的测试时—间不应少于10【s ： ： 3  在每个！末端空？气过滤器《或散流器《处应采用风口—法、风管法、风罩法！等，。测量送风风速确定送！风量每个测试位置的！测点数不应少于3】点， D.3！.2  静压差测】试应符合下》列规定 — 1《  静压差的测定应！在所有的《门关闭时进行 ！。 ？2  仪《器宜采用各种型式的！微压计仪表灵敏度】应小于1《.0Pa 【 3  —洁，净厂：房有多？个洁净室(区)时】。应从最里面的房间与！相邻：房间的压差测—试开始？并应按顺序向外进行！检测 】D.3.3  已安！装的空气过滤器【泄漏测试应符合【下列规定 — 1  【仪器应？使，。用采：样量大？于1 l／mm【的，光学粒子计数—器 ： ： ， 2  应—在过滤器上风侧引入！大于等于《0.1μm》(0：.5：μm)粒《子粒子浓度应大于3！.5×107P【／m3的大气—尘或其他气溶胶；在！。。过滤器下风侧—应用粒子计数器的】等动力？采样头放《。在距离被检》过滤：器表面？20～30m—m处并应以5—～20mm／—s速度移动应检【测包括？过滤器的《整个：面和过？。滤器周边、过—滤器框架及其—密封处的扫描 】 D.3.】4  洁净》度的检测应符合【下列规定 ！ 1 ？ 应使用采样—量大于1 l—／mi？n光学粒子计数器】应根据粒径鉴别能力！。、粒子？浓，。度适用范围》和计数效《率等要求《选用仪器仪器—应有有效的标—定合格证书 —。 2  】最少采样点应按下式！计算 ？ NL【＝A0.5   】 (D.3.41】) 【式，中  NL》最少采样点；—。 ？ ， ：A，洁，净室或被《控，洁净区的《面积(m2) 】 采样点应】均匀分布《于洁净室(区)【的整个面积》内并应？位于工作区的—高度 ？ 3  】每一采样点的每次】采样量应按下式确定！ ？ ！4  当洁净室(区！)仅有一个采样点】时则在该点应至少采！样3次 — ？D，.3.5 》 气流流型的检【测应符合下列规定 ！ ， ： ：。。1  气流流型的检！测宜采用气流目测】法 《 ： 2  气流目测法！有示踪线法》、示：踪剂注入法并应【用，图像处？理，技术记录和处理【示踪线法《所用：纤维或示踪》剂的微粒都不应成】为洁净？室(区)的一—种污染？。源 ？ ？ 3：  示踪线》法应为通过观察放】置在：测试杆末端》或气流中细钢—丝格栅上的丝线或单！根尼龙纤维等直【接目：测得到气流》方向或因干》扰引：起的波动 — 《4  示《踪剂注入法》可采用纯水喷雾或化！学法生成的乙醇／】正二醇等示踪剂【粒子：的特性在高强—度光源下进行—观察或做《成图像 — 5  应【采用图？像，。处理技术进行气【流目测本法一—般是与示踪法结合将！在摄像机或膜上的粒！子图像等经技—术处理得到》气流特性 》 6  气！流目测的《测点位置、仪器【。等应根据洁》净室(区)的具体】条件洽？。商确定 — ， ， D.3.》。6  温《度、相对湿度的检】测应符合下列—规定 》 ？1，  温度、相—对湿度的检》。测，应在洁净室》(区：)内气流分》布均匀状态测试并】。应在净化空调—系统试运转合—格后安排进行—温度、相对湿—度，检测应在净化空调系！统已经运转》。并应：至少稳定运行1【.0：h后进行《 ： 2 — 相对湿度检测应】将洁净工《作区划分为》等面积网格每格【。最大面积应为—100m2应每格】一个测点但每个房间！不应少于《2个测点 — 3》  检测用探测器】。应设在洁净室(区】)内：的工：作高度且距洁净【室(区)的吊顶、墙！和地面不应少于30！0mm？并应考量《洁净室(区)内可能！存在的热源》的影响 》 《4，  检测时间应至少！1.0h并应至【少6mm《进行1次(30【。s)读数、记—录 ？ D.3.7！  ：噪声检测应符—合下列规定 ！ 1 《 洁净室《(区：)，内的噪声检测—应采：。。用带：倍频程分析的声级】计 — 2  洁净室【。。(区：)内的噪声》检测点应根据电子产！品，生产工艺要求确定】噪声检测点宜距地面！。1.1？～1.5m距墙应大！于3m；检测点【的，布置宜按洁》净室(区)面—积均分宜每》100m2设一检】测点 》。 D.》3.8  》照度：测试应？符合下列规》定 — 1：  洁净室(区【)内照度检测宜【采用便携式》自动记录《照度：计 ： ： 2  照度检！测应在室《内温度稳定、光【源光输出稳定后【进，行洁净室《(区)照度检测【不应包括《生产设备等的局【部照明和备用照明 ！。 》3  照度》。检，测点应设在》工作高度《宜距：地面0.85m【应每25m2设一】。个，测点 【 D.3.9—  微振检测应【符合下列规定 】 1  【洁净室(《区，)内有微《振控制要求》的，场所的检测应—采用符合《精，。密设备、仪器容许振！动值要求的微振测】试分析系统进—。行分：阶，段测试 】 2：  微？振检测点应根据洁净！室，(区：)内需进行》微，。振控：制的精密设》备、仪器《的，布置和微振控制设】计的要求设置—。。一般检？测点应设在微振【控制相？关的地？面、楼？面、基？础面等 ！3  微振控制的检！。测应由具有相应资】。质的单位进》行现场检测数—据等应经过》科学分析后提—供微振控制》检测报告应包括检测！数据的？分析、结《论等 ？ D.【3.10  —自净时间《检测应符合下列规】定 1 ！ 自净？时间的？检测宜用于非—单向：流洁：净室 ？ 《 2  自净时间的！检测宜采用大气尘】或烟雾？发生：器等人工尘源为基准！并宜以粒子计数【器进行检《测同时应符合下列要！求 ？。。 ？ 1)以《大气尘为基准—时则必须《将洁净室停止—运行相当时间在室】内含尘浓度已接近】于，大气浓度《时，测出洁净室内靠【近回：风口处的含尘—浓度：(N0)《然后开机《。。定时读？数(一般可设置【每间隔6s读数【一次)直到》回风口处的含—尘浓度回复到—原来的稳定状态【记录：下所需？的时间(t)— ： 2)以人】工尘源为基》准时应将烟雾发生器！放置在离地面1【.8m以上室—中，心发烟？1～2？min后停止等待】1min测出—洁净室内靠近回【风口处？。的含尘浓度(N0】)然：后，开机方法同》上 —。 3  《由初始？浓度(N《0)、室内达到稳】。定的浓？度(：N)、实际换气【次数(n)可得到】计算自净时间(t0！)与实测自净—时间(t《)进行对《比如：果t≤1. 2t0！为合格 — 4 》 自净时间检测【方法除上述》。方，。。法，外还有微《粒浓度变化》率评估？法等自净时间—检测方法应洽商【确定 ？ 《 D：.3.11》  密？闭，性检测应符合下列】规定 ？ 1 【 密闭性检测或称】抑制渗？漏测试？是测定洁《净室(区)》有无受？污，染，的空：气，从，周围：具有相同或不相【同静压？。的较低洁净度—等级的洁净室(区)！或非洁？净室：(区)？侵入本检《测一般用于》。ISO 1～—。5级洁净室》(区) 《 《 2  采用粒子计！数，。。器法：检测洁净室(区)】的密闭性检测时应先！测量：紧靠被测围护结【构表面外部的—悬浮粒子浓》度一般此浓度—应比洁净室(区)内！浓度：大1：04：并大于等于》3. 5×》106个／m—。3待：测粒径的粒子 ！ 3《  洁净室(区【)的施工接缝—包括对墙板、吊顶的！接缝：和管线？、灯具？等的接缝的渗漏【检测应在《。被测部位的50～】100mm处—扫描：其，。。扫描速度为50mm！／s 】洁净室敞《开门处的渗漏检测】应在距离门0.3】～3：.0m处测定洁净】室内的悬浮》粒子浓？度 ： ： 记录并报【。告比测得《的外部相同粒径粒】子浓度大《于1：0-3倍的读数和位！置 ？