D.3  ！洁净：室测试方法 】。。 》D.3？.1  风量—或，风速测？。试应符合下列规【定 1】  对于单向流洁】。净室：应采用？截面平均风速和【截面乘积的方—。法确定送风量并应取！离，高效过滤器30【0m：m垂直于气流的【截面作为测试—。平面应将测试—平面分成相等的栅格！。每个：栅格尺寸应》为，600m《m×600》mm或末《端空气过滤器—尺寸测点应在栅格】中，心或不应少于3【点每一点的测试【时间不应少于10】。s应记？录平均值、最大值】和最小？值并应以算术—平均值作为平均风】速 ？ 2  对于！非单向流洁净室每】一点的测试时间不应！少，于10s 》 ， 3  在】每个末端空》气过滤器或》散流器？处应采？用风口法《、风管法、风罩【法等测量送风风【。。速确定送风》量每个测试》位置的测《点数不？应少于3点》 》 D.3.》2  静压差—测试应符合下列规定！ ？。。 ？1  ？静压差的《。测，定应：。在所：有的：门关闭时《进行 — ：2  仪器宜采【用各种型式的微压计！仪，表灵敏度应》小于1.0Pa 】 ： 3  洁净厂！房，。有多个？洁净室？(区)时应从最里】面，的房间与相》邻房间的压差测试】开始并？应按：顺序向？外，进，。行检测 【 ， ，D.3.3  已】安装的？空气：过滤器泄漏》测试应符合下—列规定 】 1  仪器应【。使用采样量大于1 ！l，／mm的光》学粒子计数器— ？ 2  应在过！滤器上风侧引入【大于等于0.—1μm？(0.5μm)粒】。。子粒子浓度应大于3！.5×107—P／m3的大气尘】或其他气溶胶—；在过滤《器下风侧应用粒【子计数器的等动力采！样头放在距离被检过！滤器：表面20《～3：。0mm处并应以【。5～20mm—／s速度《。移动应检《测包括过滤》器，的整个面和》过滤器？周边、过滤器框架】。及其密封处的扫描 ！ ，。 ？ D.3.》4  洁净》度的检测应符合下】列，规定 — ， ，1 ： 应使用《采样量大于1—。 l／min光学粒！子计数器应根据粒径！鉴别能力、粒子浓】度适用范围和计数】效率等要《求选用仪器仪器应有！有效的标定》合格证书 】 2？  最？少采样？点应按下式计—算 N】L＝A？0.5    (】D.3.4》1) — 式中  N【L最少采样点； 】 A—洁净：室或被控洁净—区的面积(m—2) 《 采样点【应均匀分布于—。洁净室？(区)的整个—面积内并应位于工】作区的？高度 3！  每一《采样点？的每次采样量—应按：下式确定 — 》 《 ，4  ？当洁净？室(区)仅有一【个采样点时则在该点！应，至少采样3次 】 D.3.5！  气流流型的检】测应符合下列规【定 》 1 《 气流流型》的检测宜采用—气流目测法 ！ 2  气流目】测法：有示：踪线法、《。示踪剂注入法并应】用图像处理技术记】录和：处，理示踪线《法所用纤维或示踪剂！的微粒？都不：应成为洁净》室(区)的一种【污染源 — 3  示踪】线，法应：为通过观察放置【在测试？杆末端或气流中细】钢丝格栅上的丝线或！单根尼龙纤维—等直：接目测得到气流方向！或因干扰引起—的波：动 》。 4 《 示踪剂注入法可】采用：纯水喷雾或》化学法生成》的乙醇？／正二醇等示踪剂粒！子的：特性在高《强度光源下》进行：观，察或：做成：。图像 【 5  应采—用图像处《。理，技术进行气流目【测本法？一般：是与示踪法结合将在！摄像机或膜》上的粒子图像等经技！术处：理得到气流特—性， ， ， 6 — 气流目测的—。。测，。点位置、仪器等【。应根据？洁净室(区)—的具体条件》洽商确定 — D.3【.6  《温度：、相对湿度的—检测应符合下—列规定 》 《1  ？温度：、，相对湿？度的检？。测应在洁净》室(区？)内气流分布均匀状！态测试并应》在，净化：空，调系统？试运转？合格后安排进—行温度、《相，对湿：度检测应在净化空调！系统已经运转并【应至少稳定运行1】.0h后《进行 — 2  》相，对湿度检测应将【洁净工作区》划分为等《面积网？格每：格最大面积》。应为100m2【应每格一个测点但】每个房间不应少于2！个测点 《 ： 3  检【测用探测器应设在洁！净室(区)》内的工作高度且【距洁净室(区)【的吊顶、《墙和：地面不？应少于3《00：mm并？应考量洁净室(区】)内可能存在的【热源的影响》 《 4  检—测时间应至少1【.0h并《应至少6mm进【行1次(《30s)读数、记】录， ？。 D.3.7 ！ 噪声检测》应符：合下列规定》 ： ？ 1  洁》净室(？区，)，内的噪声《检测应？采用带？倍频程分析的声级计！。 2  ！洁净室(《区，)内的噪声检测【点应根据《电子：产品生产工艺—要求确定噪声—检测点宜距地面【1，.1～1《。.5m？距墙：应大于3m；检测点！的布置宜《按洁净室(》区)面积均》分宜每1《00m2设一检测】点 ： ： D.3.【8，。  照度测试应【符合下列规定 ！ 1  —洁净室(区)—内，。照度：检测宜采用便携【式自动？记录照度计 】。 2  照【度检测？应在室内温度稳定】、光源光输出稳定】后进：行洁净室(区)照度！检测不应《包括生？产设备等的局部照】明和备？用，照，明 ： 3 【 照度检测点应设】在工作高度宜距【地面0.85m应】每，25m2设一个测】点 — D.3.9—。  微振检测—应符合下列规定【 ： 1  洁净！室(区)内有微振控！制要求的场所—。的，检测：应采用符合精密设备！、仪器？容许振动值要求的微！振测试分析系—统，进行分阶段测试【 —2  微振》检测：点应根据洁净室(】区)内？需进行？微振控制的精密【设备、仪器》的布置和微振控【制设计的《要求设置一般检测】点应：设在微？振控制？相关的地面、—楼面、基础》面，等 ？ 3  【微振控制的检测【应，由具有相应》资质：的单位进行现场检测！数据等应经过科学】分析：后提供微振控—。制检：测报告应包括检【测数：。据的分析、结—。论等： 》 D.3.》10  自净时间】检测：应符合下列规—定 1 ！ 自：净时间的《检测宜用于》非，单向流？洁净室 【 2  自净【时间的检测宜—采用大气《尘或：烟雾发生器》等人工尘源为基准并！宜以粒子《计数器进行》。检测：同时应？符合下列要求 ！。 1)以—大气尘为基准—时则必？须将洁净室停止运行！相，当时间在室内含【尘浓度已接近—于大：气，。浓度时测出洁净室内！靠近回？。。风口处的含尘浓度】(N0)然后开机】。定时读数(一般【可设置每间隔6s】读数一次《)直到回风》口处的含尘浓度回复！到原来的《稳定状态记录下【所需的时间》(t) 【 ， 2：)以人工《尘，源为基？准时：应将烟雾发生器放】置在：。离地：面1.8m以上室中！心发烟1～》2min《后停止？等待1min测【出洁净室《内靠近回风口—处的含尘浓度—(N0)《然后开机方法同上 ！ 《 3  由初始浓】度(N0)、—室内达到稳定—。的浓度(N》)、实际《换气次数《(n)可得》到计算自净时间【(，t0)与实》测自净时《间(t？)进行对比如—果t≤1《. 2t0为合格】。 4【  自净时间检【测方法除《上述方法外还有微】粒浓度变化率评估法！等自净时间》检测方法应洽商确定！ 》 D.？3.11 》 密闭性检测应【。符合：下列规定 】 ：1  密闭性—检测或？称抑：制渗漏测试》是测定洁净室(区】)，有无受污染的空气】从周围具有相同或】不相同？静压的较低洁—净度等？级，的洁净？。。室(区)或非—洁净：室(区)侵入—本检测一般》用于ISO 1～】5级洁净室(区【) 《 2 》 采用粒子计数器法！。检测洁净室(区【)的密闭《性，检测时应先测量紧】靠被测围护结构【表面外部的》悬浮粒子《浓度一？般此浓？度应比洁净室(【。区)内？浓度大104并大】于等于3. 5×1！06个／m3待测粒！径的粒子 】 3  洁净室(！。区)：的施工接缝包—括对墙板《、吊顶的接》缝和管线《、灯具？等的接缝的渗漏检】测应在被《测部位？的50～10—0mm处扫描其扫描！速度为50》m，m／s 【 洁？净室敞开门》。处的渗漏检测—应在距离门0—.3～3.0m处测！定洁净室内的—。悬浮粒子浓度 】 记录并【。报告比？测得的外部相同粒径！粒子：浓度大于《10-3倍的—读数和位置 —。 ，