。 D.3【  ：洁净室测《试方法 】 D.3.1 ！ 风量或《风速测试应符—合下列规定 — 1  】。对于单向流洁净【室应：。采用：截，面平均风速和截面】乘积：的，方法确定《送风量并应取离【高效过滤器30【0mm垂直于气流的！。截面作为《测试平面应将测【试平面分成相等【的栅格每个栅格尺】寸应为60》0mm×600mm！。。。或末端空气》过滤器尺《寸测点应在栅格中】心或不应少于—3点每一《点的测试《时间不应少于10s！。。应记录平均值—、最大值和》最小：值并应以算术—平均：值作为？平均风？速 《 2《  ：对于非单向流—洁净：室每：一点的？测试时间不应少于】10：s 3 ！。 ，在每个末端》。空气过滤器或散【流器处应采用风口】法、风管法、风罩法！等测量送风风速【确定送风量每—个测试位置的—测点数？不应少于《3点 《 D.3.】2 ： 静压？差测试应符合—。下列规？定 【1  静压差的测】定应在所有》的门关？闭时进行《 ， 》2  仪器宜采用】各种型式《的微压计仪表灵敏】度应小？于，。1.0？Pa 《 ？ 3  洁净厂【房有多个洁》净室(区)时应从最！里面的房间与相邻房！间的压差测试开【始并应？按顺序向外进行检测！ 》 D.3.3 【 已安装的空气过滤！器泄漏测试应符合下！。列规定？ ？ 1  仪器】应使用采样》量大：于1 l《／mm的光》学，粒子计数《器 2】 ， 应在过滤器上风侧！引入：。大于等于0》.1μm(0.5μ！m)：粒子粒子浓》度应大？于，。3.5×《107P《／m3的大气尘或】其他气溶胶；—在，过滤器下风》侧应用粒《子计数器的等动力采！。样头放在距离—被检过滤《器，表面20～》30mm《。处并应以5～20m！m／s速度移动【应检测包括过滤器】的整个面和》过滤器周边、过滤】器框：架及其密封处的扫】描 D.！3.4？  洁净度的检测应！符合下列规定 【 1 【 应使用采样量大】。于1： ，l／min》光学粒子计数器应】根据粒径鉴别能力、！粒子浓度适用范围和！计数效率等要求选用！。仪器仪器应有有效】的，标定合格证书 ！ ， ：2  最《少，采样点应按下—式计算 】 NL＝A0.【5    》(D.3《.41) ！ 式中 《 NL最少采—样点； 】 A：洁净室或被控洁【净区的面积(—m2) 》 《采样点应均匀分【布于洁净《室(区)的整个面】积内并应位》于工作区的高度 ！ 3  【每一采样《点的每次采样量应】按下：式确定 》 》 ， 4  当洁！净室(区)仅有一个！采样点时则在该【点应至少采样—3次 【。 D.？3.5  气流【流型的检测应符【合，。下，列规定 《。 1  】气流流型《的检测宜采用气【流目测法 — ： ：2  ？气流目测法》有，示踪线法、示踪【剂，注入法并应》用图像？处理技术记录和【处理示踪线法—所用纤维或示踪【剂的微粒都不—应，。成为：洁净室(区)的一种！污染源 》 3  示踪！线法：应为通过《观察放置在测试【杆末：端或气流中细钢【丝格栅上的丝—线或单根尼》龙纤维？等直接目测得—到，气流方向或因干扰】引起的波动 】 4  示踪剂！注，入法可采用纯—水喷：雾或：化学法生成的乙【醇／正二《醇等示踪剂粒子【。的特性在高》强度：光源下进行观察【或做成图像》 ，。 《 5  应采用图】像，处，理，技术：进行气流目》测本法一般》是，与示踪法结》。合将在摄像机—或膜上的粒子图像】等经技术处》理得到？气流特性 》 ？ 6 《 气流目测的测点】位置、仪器等—应根据洁净》。室(区)的具体条件！洽商确定 】 D.《3.6  》温度、相对湿度的】检测应符合下列规定！ 1【  ：温度、相对湿度的检！测应在洁净室—(区)内气流—分布均匀状态—。测试并应在》净化空调《。系统试运转合格【后安排进行温—度、相对《湿度检测应在—净化空调《系统已经运转并【应，至，少稳定运行》1，.0h后进行—。 2  ！相对：湿度检测应将洁【净工作区《划分为等《面积网格《每格最大面积应为1！00m？2应每格一个—测点但每个房—间不应？少于2个测》点 3】  检测用探测器应！设在洁净室》(区)内《。的工：作高度且距》洁净室(区)的吊】。顶、：墙和地面不应少【于3：00：mm并应考量洁净室！(区)内可》能，存在的热源的—影响 ？ 4  检！测时间应至少1【.0：h并应至少6m【m进：行1次(30s【)读数、记录 ！ ： ，D.3.7》  噪声检》测，应符合？。下列规？定 1】  洁净室(区)】内的噪声检》测应：采用带倍频程分【。析的声？级计 — 2  洁净室】(区)内的噪声检测！点应根据电子—产品生产工》艺要求确定》噪，声检测点《宜距地面1.1～1！.5m距墙应大【于3m；检测—点的：布置宜按洁净—室(区)面积—均分宜？。每100m2—设一检测点 】 D《.3.8  照度】。测试应符合下列规定！ ： 1  洁】净室(区)内照度检！测宜采用便携—式自动记录照度计】 ？ ，。 2  照度检测！应在室内温度稳定、！光源光？输出稳定后进—。行洁净室《(区)照度检测【不应包括生产—设，备等的局《。部照明和备用照【明 — 3  照度检【测点应设在》。工作高度《宜距地面0.—85m应每》25m2设一个【测点 】D.3.《9 ： 微：振检：测应符合下列规【定 》 ， 1  洁净室【(区)内有微振控】制要求的场所—的检测应采用符合】精密：设备、仪器容许振动！值要求的微振测试】分析系统进行分【阶段测试 ！。 2  微》振检测点应根据洁净！室(区？。)内需进行微—。振控制的精密设【备、仪？器的：布置和微《振控制？设计的要求设置一】般检：测点：应设在微振控制相】关的地面《、楼：面、基础面》等 —。 3 ？ 微振？控制的检测应由具】有相应资质的—单位进行现场检测数！据等应？经过科学分析后提】供微：振控制检《测报告应包括检【测数据的分析、结论！等 【。D.3？。.10  》自净时？间检测应符合下列】规定 】1，  自净《时间的检测宜用于非！单向流洁《净，室 【2  自净时间的】检测宜采用大—气尘或？烟雾发生器等人工尘！源为基准并宜以粒】子计数器进行—检测同？。时应符合下列要求 ！ 1—)以：大，气尘为基准时则【必，须将洁？净室：停止运行相》当时间在室内含尘】浓度已接近》于大气浓度》时测出洁净》室内靠近回风口【处的含尘浓度(N】0，)然：。后开机定《时读数(一般可【设置每间隔》6s读数一》次)直到《回风口处的含尘浓】度回复到原来—的稳定状态记录下】。所需的时间(—t) 《 ： 2)以人—。工尘源为基准—时应将烟雾发生【器，放置在离地面1【.8m以上室中心】发烟1～《2min后停—止等待1mi—n测出洁《净室内靠近回风口】处的含尘浓度(N0！。)然后开机方法同上！ —3 ：。 由初始浓度(N】0)：、室内达到稳定【的浓度(N)、【实际：换气次数(n—)可得到计》算自净？时间：(t0？)与实测《自净时间(t)进行！。对比如果t≤—1. 2t0为合】格 ： ： 4《  自净时间检测】方法除上述方法外】还有微粒浓度—变，化率：评估法等自净时【间检测方《法应洽商确定 【 ： D.3—.11  》密闭性？检测应符合下列规定！。 》 1  密闭性检测！或称抑制渗漏测试】是测：定洁净室(》区)有无受污染的空！气从周围具有相【同或不相同静压的较！低，洁净度等级的洁【净室(区《)或非洁净》。室(区)侵入本【检测一般用于—ISO 1～5级】。洁净室(区)— 2 】 采用粒《子计数器法检测【洁净室(《区)的密《闭性检测时应—先测量紧靠被测围护！结构表面外部的悬浮！粒子：浓度一般此》浓度应比《洁净室(区)内浓度！大104并大于等】于3. 5×106！个／m？3待测？粒径的？粒，子 3】  洁净室(—区)的施工接缝【包括：对墙板、吊顶的【接缝和管线、灯具等！的接缝的渗漏—检测应在被测部位的！50～100m【m处扫描其扫描【速度为50mm【／s —。 洁？净室敞开门》处的渗漏检测应在距！离门0.《3～3.《0m处？测，定洁净室内》的，悬浮粒？子浓度 》 记录—并，报告比测得》的外：部相同粒径粒子浓度！大于10《-，3倍的读数和—位置 《