D.3 】 洁净？室测试方法》 【 D.3.1 【 风量或风速测试应！符合下列规定— 1【  对于单向流洁净！室，应采用截面平均【风速和截《面乘积的方法—确定送风《量并应取离高效过滤！器300《mm：垂直：于气流的截面作【为测试？平面应将测试平【面分成相等》的栅格每个》栅格尺寸应为6【00m？m×6？00mm或》末端：空气：过，滤器尺寸测》。点应在栅格》中心或不《。应，少于3点每一—。。点，的测试时间不应少】于10？。s应记录平均—值，、最大值和最小【值并应以算术平均值！作为平均风》速 ？ ： 2  对于【非单向流洁》净室每一《点的测试时间—不应少于10s 】 ？ 3  在每个】末端空气过滤器或】散流器处《应采用风《口法、？风管法？、风罩法等》测量送风风速确【定送风量每》个测试位置的—测点数不应少于3点！ ： ？ D.3.2  】静压差测试应符合】下列：规，定 — 1  静》压差的测《定应在所《有的门关闭时进行】 —2  仪器》宜采用各《种型式的微压计仪表！灵敏度应小于1.0！。Pa 《。 3 — 洁净厂房有多个】洁净室(区》)时应从最里—面的房？间与相邻房间的【压差测试开始—并应按顺序向—外进行检测 【 《D.3.3  已】安装的？。空气过滤《器泄漏测试应符合】下列规定 — ： 1  》仪器应使《用采样量《大于1？ l／mm的光【学，粒子计数《器 2 ！ 应在过滤器上风侧！引入：大于等于0.1μ】m(0.5μm)粒！子粒子浓《度应大于《3.5×1》07：P／m3的》大气尘或其他气溶胶！。；在过滤器下—风侧应用粒子计【数器的等动》。力采样头放在—距离被检《过滤器表面20～】3，0mm处并》应，以5～20mm【／，s速度移动应检【测包括过滤器的【整个面和过滤器【周边、过《滤器框架及》。其密封处的扫—描 D】.3.4  洁【净，度的检测应符—合下列？规定 》 1  应【使用采样量大—于1 ？l／min光学粒子！计数器？。应根据粒径》鉴别能力、》粒子浓度适用范【。围和计数《效率等要求选用仪器！仪器应？有有效的标定合格】证书 】2  最少采样点应！。按下式计算 】 NL＝A0】.5： ，。  ： (D.3.—。41) ！式中：  NL最少采样】。点；： 《。 ， A洁净室》或被控洁净区的面】积(m2) 【 采》样，点应：均，匀，分布于洁净》室(区)的整个面积！内并应位于工作【区的高？度 《 ， ， 3  每一采样】点的每次采样量应按！下式确定 【 ？ 4 】。 当洁净《室(区)仅有—一个采样《点时则在该点—应至少采样3次 】 《 D.3.5 【 气流流型的—检测应符《合下列规定》 》 1 ？ 气流流型的检测】宜采用气流目测法】。。 ？ 2  气流】目测法有示踪—线法、示踪剂—。注入法并应》用，图像处理技》术记录？和处理示踪线—法所用纤维或示【踪，。。剂的微粒都》不，应，。。成，为洁净？室(区)的一种污】染源： 3 】 示踪？线法应为通》。过观察放《置，在测试杆末端或气流！中细钢丝格栅—上的丝？线，或单根尼龙纤维【等直接目测得—到气流方向或因干】扰引起的波动— ：。 4  示】踪剂注入法》可采用纯水喷雾或化！学法生？成的：乙醇／正二醇—等示踪剂粒》子的特性在高—强度光源《下进行观察或做成图！像 ？ ， 5  应【采用图像处理技术】进行气流目测本法】一般是与示踪法【结合将在《摄像机或膜》上的粒子图像等经】技术：处理得到气》流特性 《 6 【 气流？目测的？。测点位置《、仪器等应根据洁净！室(：区)的具《体条件洽商确定【 》 D.3.6  温！。度，、相对湿度的—检测应符《合下列规定》。 ， 1  】温度、相对湿度的】检测应在洁净—室(区)内》气流分布均匀状态】测试并应在净化【空调系统试运转合】格后安排进》行温：。度，、相：对湿度检测应在净】化空调系统已经运转！并应至少稳》定运行1《.0h后进行 】 2》  相对湿度检测应！将，洁净：工作区划分》为等面积《网格每格最大面积应！为，100m2应每格】一，个测点但每个—房间不应少于—2，个测点？ 3  ！检测用探《测器应设在洁—净室(区《)内的工作高—度且距洁净室(【区，)的吊顶、》墙和地面不应—少，于300mm并应考！量洁净室(区)【内，可能存？在的热源《的影响 —。 4 》 检测时间应至【少1.0h并应至】少6mm进行1次】(30s)读—数、记录 ！ D.3.7  】噪声：检测应符《合下列规定 — ？ 1  洁净室(！区)内的噪声—检，测应采用带倍频程分！析，的声级计 【 ， 2  洁净【室，(区)内《的噪声检测点应根】据电子产品生—产工艺要求确—。定噪声？检测点宜距地面1.！1～1？.5m距墙应大于】3m：；检测点的布—置宜按洁净室(【区，)，面，积均分宜每100】m2设？一检测点《 ？ D.》3.8  照度【测试：应符：合，下列规定 】 1  》。洁净室(区)内照度！。检测宜采用》便携式自《动，记录照度计 【 2》  照度检测—应在室内温度—。稳，定、光源光输出【稳定：后进行洁净室(区)！照度检测不》应包括？生，产设备等的局部照明！和备用照明》 3【  照度《。。检测点应设在工【作高：度宜距地面0.8】5，m应每？2，5m2设一》个测点 》 D.3【.9  《微振检？。测应符？合下列？规定 【 1  洁》净室(区)内有微振！控制要求的场—所的检测《应采用符合》精密设备、仪器容】许，振动值要求的微【。振测试分析系—统进：行分阶段测试 ！。 ， 2？  微振检测点【应根据洁净》室(区)内需进行微！振控制的精密设备、！仪器的布置和微振】控，制设：计的要求设》置，一般检测《点，应设在微《振控制相《关的：地面、楼面、基础面！等 3 ！ 微：振控制的检测应由具！有相应？资质的单《位进行现场检—测，数据等应经过科学分！析后提供《微振：控制检测报》告应包括检》测数据的分析、结】论等 》 ， ， D.3《.10 《 自净时《间检测应符合—下列规定 【。 ？1  自《净时间的检测—宜用：于非单向《流洁净室《。 ？ ？2  自净时间【的检测宜《。采用大气尘或烟【。雾发生器等人工尘源！为基准并宜以—粒子计数器进—行检测同时应—符合下列要求— 》 1)以《大气尘为基准时【则必：须将洁净室停—止运行相《。。当时：间在室内含尘—。。浓度已接近》于，大气浓度时测出洁】净室内靠近回风口】处的含尘浓》度(N0)然后【开，机定：时读数(一般—可设置每间隔6s读！数，一次)直到回风口】处的含尘浓度回复】。到原来的稳定状【态记录下所需的【时，间(：t) 】2)以人工尘源【为基准时应将烟【。雾发：生器放置在》离地面1.》8，m以上室中心发烟1！～2min后停止】等待1？min测《出洁净室内靠近【回风口处的含尘【浓度：(N0)然后—开机方法同上 ！ 3  由初】始浓度(N0)、】室，内达到稳《定的浓度(N)、实！际换气次数》(n)可《。得到计算自》净时间？(t0)与实测自净！时间(t《)进行对比如—果t≤1. —2t：0为合格 】。 4  自净【时间：检测：方法除上述》方法外还有微粒浓度！变化率？评估：法等自？净时间检测方法【应洽：商确定 】 ，D，.3.？11  密》闭，。性检测应符合下列】规定 1！  密闭性检测或称！抑制渗漏测试是【测定洁净室(区)有！无受：污染：。的空气从周围—具，有相同或不相—同静压的较低洁【净度等？级的：洁，净室(区)或—非洁净室(区)【侵入本检测一般用于！。ISO？ 1～5《级洁净室(区) ！ 《2  采用粒子计】。数，器法：检测洁净室(—区)的密闭性检测】时应先测《。量紧靠？被测：围护结构表》面外部的悬浮粒【子浓：度一般此浓度应比】洁净：室(区)内浓度大】104并大于等于3！。. 5×1》06：个，／m3待测》粒径的粒子 — 《。 3  洁净室【(区)的施》工接缝包《括对墙？板、吊顶的》接缝和管线、灯具】等的接缝的渗—漏检测应在被测部】位的50《。～100mm—处扫描其扫描速【。度为50mm—／，s ：。 ？ 洁净室》敞开门处的渗漏检】测应在距《离门0.3～3.】0m处测定洁净【室内的悬《浮，。粒子浓？度 记录！并报告比测得的【外部：相同：粒径粒子《浓度大于10-【3，倍的读数和位置 ！