D.3  ！洁净室测试》方，法 ！D，.3.1  风【量或风速测试—应，符合下列规》定 《 1 》 对于单向流—洁净：室应采用截面平【。均风速和截面乘【积的方法确定—。。送风量并应取离【高效过滤器》300mm垂直【于气流的截》面作为测试平面应将！测试平？面分成相等的栅格】每个栅格尺寸应为6！00mm×》600m《m或末端空气—。过滤器尺寸测点【应在：栅格中心或不—应，少于3点每一点【的测试？时间不应少于1【0s应记录平均值】、最大值和最小值】并应以算术平均【值作为平均风—速 2】  对于非单向【流洁净室每一点的测！试时间？。不应少于10s【 》 3  在每个末】端空：气过：滤器或散流器—处应采用《风口法、风》管，。法，、风罩法等》测量送？风风速确定送风量】每，个测试位置的测【点数不应少于3点】 《 D.3.2【  静压《差测试应符合—下列规定 — ： 1？  静压差的测定应！在，所，。有的门关闭时进行】 2  ！仪器宜采用各种【。。型式的微压计仪【表，。灵敏度应小》于1.0《Pa 】3，  洁净厂房有【。多个洁净室(区)时！应从最里面的房【间与：相，邻房间的压》差测试开始并应按顺！序向外进行检—测 D.！3.3  已安装的！空气过？滤器：泄漏测试应符合下列！规定 ？ ， ： 1 《 仪器？。应使用采《样量大？于1 l／m—m，的光学？粒，子计数器 》 》2  应在过—。滤，器上风侧《引入大于等》于0.1μm—(0.5μm—)粒子粒子》浓度应大于3—.5×10》7，P／m3的大气尘】或其他气溶胶—；在：过滤器下《风侧应用粒子计数器！的等动力采样头放在！距离被？检过滤器表面2【0，～30？mm处并应以5～2！0mm／s速度【移，。动应检测包括过【滤器的整个面—和过滤？器周边、《过滤器框架及其【密封处的《。扫描 — D.3.4  ！洁净：度的检测应》符合下列规定 【 《 1  应使用采】样量大于1 —l／m？in光学粒子计数】器应根据粒》径鉴别能力、—粒子：浓度适用范》围和计数《效率：等要求选用仪器仪器！应有有效的标—定合：格证书 ！2  ？最少采样《点应：按下式计算 — ？。 N？L＝A0.5 【   (D.3.4！1)： ， 式中 】 ，。N，L最少采样点；【 A洁净！室或被控洁净区的面！积，(m2) 》 》采，样点应均匀分布于】洁净室(区》)的整个《面，积内并应位于工作】区的高度 》 ？ 3 《 每一采《样点的每次采样【量应按下式》确定 《 【 ， 4  当洁【净室(区)仅—有一：个采样点时则在【。。该点应至少采—。样3次 — D.3.【5  气《流，流型的？检测应符合下—列规定？。 》 1  气流—流型的？检，测宜采用气》流目测法 — ： ：2 ： 气流目测法有示】踪线法？、示踪剂注》入法并应用图像【处理技？术记：录和处理示踪线【法所用？。。纤维或？示踪剂的微粒都【不应成为《洁净室(《区)的一《种污染源 》 3 【 示踪线法应为通】过观察放置在测【试杆末端或气—流中细钢丝格—栅上：的丝线或单根—。尼龙纤维《等直：接目测得到气流方向！。或因干扰引起—的波动 —。 ？4  示踪剂注入法！可采用纯水》喷雾：或化学法生成—的，乙醇／？正二醇？等示踪剂《粒子的特性在高【强度光源下进行观】察或做？成图像 —。 ？。5 ： 应采用图像处理技！术进行气流目—测本法一般是与示】踪法结合将在摄【像机或膜上》的粒子图像等—经技术处理》得到气流特》性 【6  气《流目测？。的测点？位置、仪器等—应根据洁净室(【区)的？具体条件洽商确定 ！ D.3.！6  温度、相【对湿度的检测应符合！下列：规定 】1  ？温度、相《对湿度的检》测应：在洁净室(区)内】气流分布均匀状【态测试并应在净化空！调系统试运转合格后！。安，排，进行温度、相对【湿，度检测应在净化空调！系统已经运转并【应至少？稳定运行1.0h】后进行？ 2  ！相对湿度检测应【将洁净工作区划分为！等面积网格每格【最大面积应为100！m2应？每，格，一，个测点但每个房间不！应少于2个测点【。 》 ，3  检测用探测器！应，设在：洁净室？(区：)内：的工作高度且距【洁净室(区)的吊】顶、墙和地》面不应少于30【0mm？并应：考量洁净室(区)】内可能存在的—热源的影响》 4【  检测时间—应至少1.0—h，并应至？。少6mm《进行1次(30s】)读数、记录— 《 ：D，.3.7  噪【声检测应符合—。下列：。规定 》。 1  洁【。净室(区)内—的噪声？。检测应采用》带倍频程分析—的，声，级计： 《 2  洁净【室(区)《内的噪声检》测点应根据电—子产品？生产工？艺，要求确定噪声检测点！宜距：地，面1.1～》1.：5m距墙应大—于3m；检测点的布！。置，。宜，按洁净室(》区)面积《均分宜？每100m2—设一检测点 】 D.3.8 ！ 照度测《。试应：符合下列规》定 》 1  洁—净室(区)内照度】检测：宜采用便携式—自，动记录照度计 【 2 【 照度检测应—在，室内：温度稳定、光源【光，。输出：稳定后进行洁净室】(区：)照度检测不应【。包括生产《。设备等的《局部照明和备—用照明 ！3  照度检—测点应设在工作【高，。度宜距地面》0.85m》应，每2：。5m2设一》个测点 《 》D.：3.：9  微振检—测应符合《下，列规：定 《 1  洁净】室(区)内有微振】控制要求的场所【的检测？应采：用符合精《密设备、仪器容许振！动值要求的微—振测试分析系—。统进行分阶段测【试 》。。 2  微振检测！点应根据洁净—室(区)内需进行】。微振控制的精密【设备：。、仪器的布置和微振！控制设计的要求设置！一般检测点应—设在微振控》制相关的地面—、楼面、基础—面等 — 3  微振控制！的，检测应由具》有相：应资质的单位进【。行现场检测数据【。等应经过科学分析】后提供微《振控制检测报告应】包括检测数据—的分析、结》论等 D！.3.1《0，  自？。净时间？检测应符合》下列规？定 》 1  自净时】间的检？测宜用于《非单向流洁净室 ！ 《2  自净时间的】检测宜采用大气尘或！烟，雾发生器等人工【尘源为基准》并宜以粒子计数【器进行？检测同时应符—合下列要求》 》 1)以《大气尘为基准时【。则必须？将洁净室停止运行相！当时间在室内含【尘浓度？已，接，近于大气浓度时【测，出洁净室内》靠近回风口处的含】尘浓度？(N0)《然后开？机，定时读？数(一般《可设置？每，间隔6s读数一次】)直到回风口处【的含尘浓度》回复到原来的稳定】状，态记录下所需的【时间(t) — ？ 2)以人工尘】源，为基：准时应将烟雾发生器！放置在离地面—1.8m以上室中】心发烟？1～2？m，in后停《止等待1min测】出洁净室《内，靠近回？风口：处的：含尘浓？度，(N0)然后开机】方法：同上： 》。 3： ， 由初？始浓度(N0—)、室内达到稳定的！浓度(N《)、实际换》气次数(n)可【得到计算自净时间(！t0)与实测—自净时间(t)进】行对：比如果t≤》1. 2t0为合格！ 》 ，4  自《净，。。时间检测方法除上】述方法外还》有微粒浓度变化率评！估法等自净时间检测！方法应洽商》确定 》 ： D.3《。.11  密闭性检！测应符？合，下列规？。定 1 ！ 密闭性检测或称】抑制：渗漏：测试是测《定洁净室(区)有】无受污染的空—气从周围具有—相同或不相同静压的！较低洁净度等级【的洁净？。室(区)或非洁【净室(？区)侵入本检测一】般用于ISO 1～！5级洁？净，室(：区) 》 ， 2  采用【粒子：计数器法《检，测洁净室《(，。区)的密闭性检【测时应先测量紧靠被！测围护？结构表面外部的【悬浮粒子浓度一般此！浓度应比《洁净室(区)内浓度！大104并大于【等于3. 5×1】06：个／m3待测粒【径，的粒子？ ： 3 — ，洁净室(区》)的施工《接缝包括对墙板【、吊顶的接缝和管】线、灯具等的—。接缝的渗漏检—测应：在被测部位的50】～100mm处【扫描其扫描速度为】5，0mm／s》 洁净】。。室敞开门处的—渗漏检测应》在距离门0.3～3！.0m处测定洁净室！内的悬浮《粒子浓度 — ， ： 记录？。。。并报告比《。测，得的外部相同粒径粒！。。子浓度大于10-】3倍的读数和—位置 《