D.—3  洁净室测【。。试方法 《 【D.3.1》  风量或风速测】试应符合下》列规定 ！1  ？对于单向流》。洁净室？应采用截面平—均风速？和截面乘积》的，方法确定送风—量并应取离高效过滤！。器30？0mm垂直于气【流的截面作为测【试平面应将测—试平面？分成相等的》栅格每个《栅格尺？寸应为？600m《m×600》mm或末端空气【。过，滤器尺寸测点应在栅！格中心或不应—少于3？点每：一点的测试时间不】应少于10》s应记录平均—值、最大《。值，。和最小值并应以算术！平均值作为平均风速！ ： ： ：2  对于非单【。向流洁净室每一点】的测试时间不应少于！10：。s ： ？。 ：。3  在《每个：末端空气过》滤器或散流器处应】采用风口法、风【。管，法、风罩法等测【量送风风速确—定送：风量每个测试位置的！测点数不应少于3】点 《 D《.3.2  静压差！测试应符合下—列规定 》 1 — 静压？差的测定应在—所有：。。的门关闭时进—行 《 2  仪器宜！。采用各种型式的微压！计仪表灵敏度应小】于1.？。0，Pa 》 3《 ， 洁：净厂房有多》个洁净？室(：区)时应从最里面的！房间与相邻房间【的压差测《试开始并应》。按顺序向外进行检】测 ： 《 D.3.》3  ？已安装的《空气过滤器泄—漏测试应符合下【列规定 — 1  —仪器应使用采样量】大于1 《l，／mm的光学粒子计！数器 《 2  应】在过滤器上风侧引入！大于：等于0.1μm(】0.5？μm：)粒子粒子浓度【应大：。于3.？5×107P／【m，3的：大气尘？或其他气《溶胶；在过滤器下】风侧应用粒子计【数器的等动》。力采样头放在距【离，被检过滤器》表面20～》30mm处》并应以5《～20mm／—s速：度移动应《检测包括过滤器的】整个面和过》滤器周边、过滤【。器框架及其》密封处的扫描 ！ ？D.3.4  洁净！度的检测应》符合下列规定— ： 1  【应，。使用采？样量：大于1 l／—min？光学粒子《计数器？应根：据粒径鉴别能力【、，粒子浓度适用范围】。和，计数：效率等？要求选用《仪器仪器应有—有效的标《定合格证书 — 2  最！少采：样点应？按下式计《算 》 NL＝A—0.5  》  (？D.3.41) ！ 《式中 ？。 NL？最少：采样点； — ， ， A？洁净室或被控洁净区！的，面积：(m2) ！ 采：样，点应均匀《分布于洁净室(区】。)的整个《面积内并应位于【。工作区的高》度 3】  ：每一采样点》的每次采样量应按】下式确定 ！ — 4  当洁净室(！区)仅有一个—。采样点时则在该点】应，至少采？样3次 】 D.3《。.5  气》流流型的检测应【符合下列规》。定 ： ， 1  【气流流？型的检？。。测宜：。采用气流目测法【 》。 2  气流—目测法有示踪线法、！示踪剂注入法并应用！图像处理技》术记录和处理示踪】线法所用纤维或【示踪剂的《微粒都不应成为【洁净室(区》)，的一种污染源— 3  ！示踪：线，法应为通过》观察放置《在测试杆末端—或气流？中细：钢丝：格栅上的丝线或单】根尼龙纤维等—直接目测得到气【流方向或《。因干扰引起的波动 ！ ： 4  示踪】剂注入法可采用纯】水喷雾？或化学法生成的乙醇！／正二醇等示踪剂粒！子的特性《在高强度光源下【进行观察《或做成图《像 5】  应采用图像处理！技，术进行气流目测本】法一般？是与示踪法结合将】在摄像机或》。膜上的粒《子图像等经技术处】。理得：到气流特《性 — 6  气》流目测的测点—位置、仪《器等应？根据：洁净室(区)的具体！条，件洽商确定》 《 D.3.6  ！温度、相对》湿度的检测》应符合下列规定 】 ， ： 1  温度【、相对湿《度的检测应》在洁净室(区—)，内气流分布》均匀状态测试并【应，在净化空《调系统试运转合格后！。。安排进行温度、【相对湿度检测应在净！化空：调系统已经运转并】应至少稳定运行1.！0h后进《行 ： 2 【 相对？湿度检测《应，将洁净工作》区划分为《等面：积网格？每格最大《面积：应为1？00m2应每格【。一个测点《但每个房间不应少】于2个测点 — ？ 3 《 检测用探》测器：应，设在洁净室(区)】内的工作《高度且距洁净室(区！)的吊？顶、：墙和地面不应少于3！00mm《并应考量洁》净室：。(区)内可》能，存在的热源的—影响 ？ 4  】检测：时间应？。至，少1.0h并应至少！6，mm进？行1次(30s)读！。数，、记录 ！D.3.7 — 噪声检测应符合】下列：规定 】1  洁《净室(？区，)，内的噪声检测应采用！带倍频程分析的声】级计 》 2  洁【净室：(区)内的》噪声检测点应根【据电子产品生产【工艺：要，求确定噪声检测【点宜距地面》1.1？～，1.5m距墙应大于！3m；检《。测点的布《置宜按洁《净室(？区)面积均分宜每1！00m2设》一检测点《 D.】3，.8：  ：照度测试应符—合下：列规定？ —1 ：。 洁净室《(区)？。内照度检测宜采【用便携式自》动记录照度计 【 2— ， 照度检《测，应在室内温度稳【定、光？源光输出稳定—后进行洁净》室(区)照》度检测不应包括生】产设备等的局部照】明和备用照明 】 3  照度！检测点应设在工作高！度宜距地面0.【85：m应每2《5m2？设一个测点 — D—。.3：.，9  微《振检测应符合下列】规定 》 1 》 洁净室(》区)内有微振控制要！求的场所的检测【应采用符合精密设备！、仪器容许振—动值要求的》微振测试分析—系统进行分阶段测】试 ： 《 2 ？ 微振检测点应【根据洁净室》(区)内需》进行微振控制—的精密设备、仪【器的布置和微振【控制设计《的要求设置》一般检测点应—设在：微振：控制：相关的地面、楼面】、基础面等 — ， 3  微振！控制的检测应—由具有？相应资质的单位进行！现场检测数据等应经！过科：学分：析后提供微振控【。制检测报告应—包括检测数据的【分析、结论等 】 ， ： D.？3，.10  》自净时间检测应【。符合下列规定—。。 《 1  》自净时？。间的：检测宜用于非单向】流洁净？室 ？ 2 — 自净时间的检测】宜采用？大气尘或烟》雾发生器等人—工尘源为基准并宜以！粒子计数《器进：行检测同时》应，符合下列要》求 1】)以大气《尘为基准时则必须将！洁净室停止运行相当！时间在室内含尘浓】度已：接近：于大气？浓，度时测出洁净—室内靠近回》风口处的含尘浓度】(N0)然后开机定！时，读数(一般可设置】每间：隔6s读数一次)】直到回风口》处的含尘浓度回复到！原来的稳定状态记录！下所需？的时间(《t) 【。 2)以人工尘源为！基准时应将》烟雾发生器放—置在离地面1—.8m？以上室中心发—烟1：～，2min后停止等待！1，mi：n测出洁净室—内靠近回《风口处的含》尘浓度(《N0)然后开机【。方法同上 》 ， 3 —。。 由初？始浓度(《N0)、室内达【到稳定的浓度(【N)、实际换—气次数(n)可【得到计算自净—时，间(：t0)？与实测自净时间【(t)进行对比如】。果t≤？1. 2t0—为合格 —。 4《  自净《时间检？测方法除上述方法外！还有微粒浓度变化】率评估法等自净时】间检：测方法应洽商确定】 ？。 ， D.3.11 ！ 密闭性检测应【符合：。。下列规定 】 ， 1：  密闭性检测或】称抑制渗漏》。测试是测定》洁净室(区》)有无受污染的【空气从周围具有相同！或不相同静压的较】低洁净度等级的洁】净室(区)》或非洁净《室，(，区)侵入《本检测一《般用于ISO— 1：～5级洁净室(【区，) 》 2  》采用粒子计》数器法检测洁净室(！区)的？密闭性检测时—应先测量《紧靠：被测围护《。结构表面外部—的悬浮粒子浓度一】般，此浓：度应比？洁净室(区)内【浓度大1《04并大《于等于3. 5×】106个／m3【待，测粒径的粒子 ！。 ？3 ： 洁净室(区)的】施工接缝包括对墙板！、吊顶的接缝和管线！、灯具等的》接缝：的渗漏检测应—在被测部位的50】～1：00mm处扫描【其扫描速度》为50mm／s【 ？ 洁净室—敞开门处的渗漏【检测应在距离门0.！。3～3.《0m处测定》洁净室内的悬浮【粒，子浓度 — ： 记录并报告比测得！的外部相同粒径粒】子浓度大于10【。-，3倍的？读数和位置 【