1》5.3？  微振动》控，制设计 《 1】5.：3.1  洁净厂房！的微振动控制设计】应，按下：列阶段进行微—振动测试分》析 《 ？1  场地环境振】动测：试及分？析； — 2  》洁净厂房建筑结构振！动特性测《试及分析； ！ 3 《 精密设备、—仪器安装地点环境】。。振动测试及》分析：； 》 ， 4  微振—动控制的《最终测试及分析 ！ ， 15》.3.2  —有微振动控制要【求，的洁：净室：(区)其建筑结构的！微振动？控制设计应符合下】列规定 】 1：  建筑《。物，基础宜置于动—力性能？良好的地基土上且基！础应有足够刚—度，。； ？ ， 2 》 应设置独立—的建筑结构微振【动控：制体系并《应与厂房主体—结构分隔；》。。 ， 》3，  主？体结构应根据—微振动控制》的要求适当》加大：梁、柱、墙、基【础等截面尺》寸 》 15.3—.3  有强烈【振动的设备》和管道宜采取—。主动隔？振措施并应》符合：下列：。要求：. 1 ！ 宜采用隔振台(】座)； 《。 ， ？。 2  应选用【刚度适？当的隔振器 】 3  通【往洁净室(区)的】管，道宜采取隔振支(吊！)架、柔性连接等隔！振措施 】。 15.3.4【  洁净《室内精？密设备？、仪器的被》动隔振措施的设【计应符合下》列要求 【 ， ，1，。。  ：隔振台(座)应具】。有足够的刚度； 】 2—  应？采用低刚度隔振设施！； — 3  《隔，振，系统各向阻尼比不应！小，于0.15； 【 4  】隔振台(座)应采取！倾斜校？正措施； 【 ， 5 《 隔振设《施不应影响》气流流型 】 6  当—采用空气弹簧隔振】器时其？。供气系统应进行净】化处：理并应达到洁净室空！气洁：净度等级的要求 ！