《15：.3 微振—动，控，制设：。计
《
15【.3.？1 洁《净厂房的微振动控】制，设计应按下列阶段】。。。进行微振动测试分析！
—。1 ： 场地环《境，振动测试及分—析；
【
2 洁》净厂房建《筑结构振动特—性测试及分》析，；
？
：
3 精密设】备、仪器安装地点】环境振动测试—及分析；
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4 微振！。动控制的《最终测试《及分析
》。
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15《.3.2 —有微振动控制要求】的，洁净室(区)其建筑！。结构的微振动控【制设计应符合下列规！定
1】 建筑物》基础宜？置于动？。。力性能良好的地基土！上且基？础应有足够》刚度；
【
2？ 应设置独立的】建筑结构微》。振动：控制体系并应与厂房！主体结？构，分隔；？。。
《
：3 主体》结，构，应根据微振动控【。制的要求适当加大梁！、柱、墙《、基础等截》面尺寸
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15.3【.，3 有《强烈振动的设—备和管道宜》采取主动《隔振措施并应—符合下列要》。求.
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1 宜采用】隔振台(座)；【
，
：
2 应【选用刚？度适当的《隔振器
】
3 通往洁【净室(区)的管【道宜采取隔振—支(吊)架、柔【性连接等隔振措施
！
？
1？5.3.4 【洁，净室内精密设备、仪！器的被？动隔振措施的设计应！符合下列《要，求
：
1 【。 隔振？台(座)应》具有足够的》刚度；？
2 ！应采用低刚》度隔振设施；
【
3 隔！振系统？各向阻尼比》不应小于《0.15《；
4 ！ 隔振？台(座？)应采取倾斜—。校正措施；
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5 【 隔振设施不应影响！。气流：。流型：
6 】 当：采用空气弹簧隔【振器：。时其：供气系统应进行【净化处理并》应达到？洁，净室空？气洁净度等级的【要求
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