1》5.3？。  微振动控制【设计 《 1【5，.3.？1，  洁净厂》房的微？振动控？制设计应《按下列阶段进行微】。振动测试分》析 ？ 1 —。。 场地？环境振动测试—及，分析； 》 2 — 洁净厂房建筑结构！振动特？性，测，试及分？析；： ？ 3  精【密设备？。、仪器安装地—点环境振动测—试及分析； 】。 4  微【振动控制《的最终测试及分【析 — 15.3.2  ！有微振动控制要求】的洁净？室(：区)其建筑结构【的微：。振动控制设计应【。符合：下列规定《 —1  建筑物基础宜！置于：动力性能《良，好的地基土》上且基？。础应：有足够刚度； 】 ： 2  应设置独！立的建筑结构—。微振动控制体系【并应与厂《房主体结构分隔；】 》 3  主》体结：构应根据微振—动控制的要求—。适，当加大梁、柱、【墙、基？础等截面尺寸— —15.3.3  】。有强烈振动》的设：备，和管：道宜采取主动—隔，振措施？并应：符合下列要求.【 》 1 ？ 宜采？用隔振台《(座)； 【 2  应【选用刚度适当的隔】振器 — ， 3  通往洁净室！(区)的管道宜采】取，隔振：支(吊)《架、柔性连接等隔振！措施 】15.3.4  洁！净室内精密设备、】仪，器的被动隔振—措施的设计应符【合下列要求 ！ 1  隔振【台(：座，)应：。具有足够的刚度；】 ？ ？2  应采用—。低刚度隔振设—施； 【。 3  隔振系统各！向阻：尼，比不：应小于？0.15； 】 4  —隔振台(座》)应采取倾斜校【正措施； ！ 5  隔振设施不！应影：响气流流型 【 ， 6《  当采用空—气弹：簧，隔振器时其》供气系统应进行净化！处理并应达到—洁净室空气洁—净，度等：级的要求 》 ，