： 15.3—  微振动控制设】。计 — ？15.？3.1  洁净厂房！的微振动控制设【计应按下列阶段进】行微振动测试分【析 1】  ：场地环境振动测试及！分析； 【 2  洁—净厂：房建：。筑结构振《动，。特性：测试及分析； 【 》3  精密》。设备、？仪器安装地点环境振！动测试？及分析？； —。 4  微振—动控制的《最终测试《及分析 》。 ， 15.3.2！  有微振动控制要！求，的，洁净室(区)其建筑！结，构的微振动》控制设计应符合下列！规定 【 1  建筑—物，。。基础宜置于》。动，力，性能良？。好的地基土》上，且基础？应有足够刚度； ！。 《2  应设》。置独立的建筑结【构微振动控制—体系并应《与厂：。房主：。体，结构分隔《。； 3 ！ 主体？结构应根据微—振动控制的要求适当！加大梁、柱》、墙：、基础等截面尺【寸 【15：.3：.，3  有强烈振动的！设备和管《道宜：。采取主动《隔振措施《。并应符合下列—要求. ！1，  宜采用隔—振台(？座，)； 】2  ？应选用？刚度适？当，的隔振器 】 3  通往洁净！室(区)《的管道宜采取—隔，振支：。(吊)架《、柔性连接等—隔振措施 》。 ： ： ，15：.3.4  洁净室！内精密设备、仪【器，的，被，动隔振措施》的设计应符合下【。列要求 》 《1  隔振台(座】)应：具有足够的刚度； ！ 》。2，  应采用低刚度隔！振设施？； — 3  《隔振：系统各向阻尼比【不应小？于0.？。。。15； 【 4 《 隔振台(》座)应采取倾斜【校正措施； 】 5《。 ，。 隔：振，设施：不应影响气》。流流型 ！6  当采用空气】弹，簧隔：振器时其供气系统应！。进行净化处理并应达！到洁净室空》气洁净？度，等级的要求 【