15.3】  微振动控制设】计 】 ，15.3.1  洁！净厂房的微振—动控制设计应—按，下列阶段进行微振】动测试分析 】 1  场【地环境振动测—试及分析； 【 2  【洁净厂房建筑—结，构振动特性》测试：及分析； ！ 3  精密—设备、仪《器安：装地点环《境振：动，测试：。及分析；《 4  ！微振动控制的最终测！试及分析 — ？ 15.3.—2  有微振动控】制要求的洁净室【。(区)其《建筑结构的微振动】控制设计应符合下列！规定 】1  建筑物基【础宜置于动力—性能良？。好的地？基，土上且基础应—有足：。够刚度； 】 ：2  应设置独【立的建筑《结构微振《动控制体系并应与】厂房主体结构—分隔； 《 》3  主体结构应根！据微振动控制—的要求适当》加大：梁，、柱、墙、基础等截！面，尺寸 ？ 15.3！.3  有强烈振】。动的设备和》管道宜采取主—动隔振措施并应【符合下？列，要求. ！1  宜采用隔振】台(座)； 】 ？2  应选用刚度适！。当的隔振器 — 3  】通往洁？净，室(区)的管—道宜采取隔振支(】吊)架、柔性连接等！隔振：。。措施 》 15.3.4！  洁净室内精密设！备、：仪器：的被动隔《振措施的《设计应符《合下列要求 ！。 ：1  隔振台(【座，)应具有足》够，的刚度； 》 《 2：  应采《。用低刚度隔振设【施，； — 3  隔振系统各！。向阻尼比不应小【于0.15； ！。 ： 4：  隔？振台(座)应—采取倾斜校正措施】； 5 ！ 隔振设施不应影响！气流流型 【 6  当采】用，空气弹簧隔振器时其！供气系统《应进行？净化处理《并应达到《洁净室空气洁净度等！级的要求 —