15.【3  微《振动控制设计 】 15】。.3.1  洁【净厂房的微振动【控制设计应按下【列阶段进行》微振动测试分析 ！。 ， ？1，  场地环》境振：动测试？及分析； — 《2 ： 洁净厂《。房建筑结《。构振动？特性测试及分析；】 3【 ， 精：密设备、仪器安装】地，。点环境？振动测试《及分析； 》 《。 4：  微振动控制的最！终测试及分析 ！ 15.—3.：。。2  有微振动【控制要求的》洁净：室(区)其建筑【结构的？微振动控制设—计应符合下列规【定 1】 ， 建筑物基础宜置】于动力性能良好的】地基土上且基—。础应有足够刚度；】 《 ， 2  应设置独立！的建筑结构微—振动控制《体系并应与厂—房主体结构分隔；】。 3【  主体结构应根据！微振动控制的—要，求，适，当加大梁、柱、【墙、基础等》截面尺寸 》 ， 15.3.！3  ？有强：烈振动的设备和管】道宜采取主》动隔振措施并应符合！下列要求. 【 1 — ，宜采：用隔振台(座)；】 》 2  应》选用刚度适当的隔】振器 ？ ： 3  通往】洁净室(区)的【管道宜采取隔振支(！。吊)架、柔性连接】等隔振？措施： 1【5.3.4  【洁净：室，内精：密设备、《仪器的被动隔—振，措施的设计应—符合下？列要求 — 1  —隔振台(座)应【具有足够的》刚度； 》 2》。  应采用低刚度】隔振设施； 【 3》  隔振系》统，各，向阻尼？比不应小于0.1】5； 【 4  隔振台(座！)应：采取倾斜校正措施；！ 》 5  《隔振：设施不应影》。响气流流《型， ？ 6  当采】用空气弹簧》隔，振器时其供》。气系：统应：进行净化处理并应达！到，洁净室空气洁—净度等级的要—求 ？