： ：15.3  —微振动控制》设计： ？ 》15.3《.1  洁净厂房的！。微振动控制》设计应按下列阶段】进行微振动测试分析！ ？ 1《  场地《环，境振动测试及分析】； 2】  洁净厂房建【筑结构振《动特性测《试及分？析； 【 3：  ：精密设备、仪器【。安装地点环境振动】测试及分析；— ， ， 《4  微振动控【制，的最终测试及分析 ！ 15【.3：.2  有》微振：动控制要求》的洁净室《(区)？其建筑结构的—微振动？控制设计应符合【下列规？定， —1  建筑物基础】宜置于？动力性？能良好的《地基土？上且基？础应有足够刚度；】 2 】 应设置独立的建】筑结：。构微振动控》制体系并《应与厂房主体—结构分？隔； 3！  主体《结构应根《据，微振：动控制的要》求适当加大梁、【柱、墙、基础等截面！尺寸： —1，5.3.3  有强！。烈振动的设备和【管道宜采《取主动隔振》措施并应符合下列】要求. — ？。1 ： 宜采用隔振台【(座)； 【 ， 2？  ：。应选用刚度适当的】隔振器 ！3  通往》洁净室(区)—。的管道宜采取隔振】。支(吊)架、柔【性连接等隔振措施】 ？ ， 15.3.4】。。  洁净《。室内精密设备、仪】器，的被动？隔振措施的设计应】。符合下列《要求 【 ，1  隔振台(座)！。应具有足够的—。刚，度； 【 2：  应采用低刚【。度隔振设《施； 】3  隔振系统各向！阻尼比不应小于【0.15； ！。 ，。。 4  隔》振，台(座)应采—取倾斜校正措施【； ？ 5  隔振！设施不应影响气流】流型 【 6  当采用空气！弹簧隔振器时其供气！。系统应？。进行净？化处：理并应？达到洁净室空气【。洁，净度等级的要求 ！