15.【3 微《振动控制设计
】
15】。.3.1 洁【净厂房的微振动【控制设计应按下【列阶段进行》微振动测试分析
!。
,
?1, 场地环》境振:动测试?及分析;
—
《2 : 洁净厂《。房建筑结《。构振动?特性测试及分析;】
3【 , 精:密设备、仪器安装】地,。点环境?振动测试《及分析;
》
《。
4: 微振动控制的最!终测试及分析
!
15.—3.:。。2 有微振动【控制要求的》洁净:室(区)其建筑【结构的?微振动控制设—计应符合下列规【定
1】 , 建筑物基础宜置】于动力性能良好的】地基土上且基—。础应有足够刚度;】
《
,
2 应设置独立!的建筑结构微—振动控制《体系并应与厂—房主体结构分隔;】。
3【 主体结构应根据!微振动控制的—要,求,适,当加大梁、柱、【墙、基础等》截面尺寸
》
,
15.3.!3 ?有强:烈振动的设备和管】道宜采取主》动隔振措施并应符合!下列要求.
【
1 — ,宜采:用隔振台(座);】
》
2 应》选用刚度适当的隔】振器
?
:
3 通往】洁净室(区)的【管道宜采取隔振支(!。吊)架、柔性连接】等隔振?措施:
1【5.3.4 【洁净:室,内精:密设备、《仪器的被动隔—振,措施的设计应—符合下?列要求
—
1 —隔振台(座)应【具有足够的》刚度;
》
2》。 应采用低刚度】隔振设施;
【
3》 隔振系》统,各,向阻尼?比不应小于0.1】5;
【
4 隔振台(座!)应:采取倾斜校正措施;!
》
5 《隔振:设施不应影》。响气流流《型,
?
6 当采】用空气弹簧》隔,振器时其供》。气系:统应:进行净化处理并应达!到,洁净室空气洁—净度等级的要—求
?