1》5.3?。 微振动控制【设计
《
1【5,.3.?1, 洁净厂》房的微?振动控?制设计应《按下列阶段进行微】。振动测试分》析
?
1 —。。 场地?环境振动测试—及,分析;
》
2 — 洁净厂房建筑结构!振动特?性,测,试及分?析;:
?
3 精【密设备?。、仪器安装地—点环境振动测—试及分析;
】。
4 微【振动控制《的最终测试及分【析
—
15.3.2 !有微振动控制要求】的洁净?室(:区)其建筑结构【的微:。振动控制设计应【。符合:下列规定《
—1 建筑物基础宜!置于:动力性能《良,好的地基土》上且基?。础应:有足够刚度;
】
:
2 应设置独!立的建筑结构—。微振动控制体系【并应与厂《房主体结构分隔;】
》
3 主》体结:构应根据微振—动控制的要求—。适,当加大梁、柱、【墙、基?础等截面尺寸—
—15.3.3 】。有强烈振动》的设:备,和管:道宜采取主动—隔,振措施?并应:符合下列要求.【
》
1 ? 宜采?用隔振台《(座);
【
2 应【选用刚度适当的隔】振器
—
,
3 通往洁净室!(区)的管道宜采】取,隔振:支(吊)《架、柔性连接等隔振!措施
】15.3.4 洁!净室内精密设备、】仪,器的被动隔振—措施的设计应符【合下列要求
!
1 隔振【台(:座,)应:。具有足够的刚度;】
?
?2 应采用—。低刚度隔振设—施;
【。
3 隔振系统各!向阻:尼,比不:应小于?0.15;
】
4 —隔振台(座》)应采取倾斜校【正措施;
!
5 隔振设施不!应影:响气流流型
【
,
6《 当采用空—气弹:簧,隔振器时其》供气系统应进行净化!处理并应达到—洁净室空气洁—净,度等:级的要求
》
,