15.【3  微《振动控制设计 ！ 《 15？。.3.1《  洁净厂》房的微振动控—制设计应按下列阶】段进行微《振，动测试分析 ！ 1  场地环】境振动测试》及分析；《 2【  ：洁净厂房建筑—结构振动特性测【试及分？析； — 3  精密【。设备、仪器安装地点！环境振动测试及【分析； 》 4  微】振动控制的最终测】。试及分析 ！ 15？.3.2  —有微振动控》制要求？的洁：净室(区)其建筑结！构的微振《动控制设计应符合下！列规定 【 ， 1  建筑物【基础宜置于动力性能！良好的地基土上且】基础应有足》够刚度；《 ， ， 2》  ：应设置？独立的建筑》结构微振《。动控制体系并应与厂！。房主体结构分—隔； 3！  主体《结构应根据》微振动控《制的要求适》当加大梁、柱—、墙、基础》等截面尺寸 】 ， 15《.3.？3  有强》烈振动？的设备和《管道：宜采：取主动隔振措施并】应符合下列要—求. — 1  宜—采用隔振台(座)；！ 》 2  《应选用刚度适—当的隔振《器 ？ 3》  通往洁净室【(区)？的管道宜采取隔振】支(吊)架、—柔性连接等隔—振措：施 》。 15.3.4 ！ 洁净？室内：精密设备、》。仪器的？被动隔振措施的设计！应符合下《。列要求 【 1  》隔振：台(座)应具有足】。够的刚？度； 》 2《  ：应采用低《刚度隔振设施；【 《。 3  隔振系统！。各向：阻，尼比不应小于0.】15； 《 ： 4  隔振】台(座)应采—取倾：斜校正措施； 】 《5  ？隔振设施不应影响气！流流型 》。 6》  ：当采用空气弹簧隔振！。器时其？供气系统应进行净】化处理并应达到洁】。净室空气洁净度【等级的要求 —。 ，