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:13.?2, :。防静电措施
】
13.2!。.1 《洁净厂房防静电【环境中防静电地面的!面层结构和》材料应符合下列要求!
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1: :防,静电地面面》层,。的选择应满足电子产!品生产工艺的要【求,;
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2 防静电地!面的表层《应,采用静?电耗散性材》料静电耗散性—材料表面电阻—率应为2.》5×104~1【。×109《。Ω,;
—。
3 防静电地面!应设置导静电泄【。放设施?和接地?连接其地面对地【。泄放:电阻值应为》1×10《5,~1×108Ω【
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13【.2.?2 洁《净,厂房防静电环境的吊!顶、墙面和柱面的装!饰,设计应符《合下列要求
】
1 —一级防静电工作区】的,地面:。、墙:面和柱面《应采用导静电型导】静,。电型地面、墙面、】。柱,面的:表面电阻、对—地电阻应为2.【5×104~1×】106Ω摩》擦起电电压不应大】于,100V静》电半衰期不应大于0!.1s?;
2】 二级《防静电工作区的【地面、墙《面、柱面、顶—棚、:门,和,软帘应采用》静电耗散型》。。静电:耗散:。型地面、墙面、【柱面和顶棚、门的】表面电阻、对地电】阻应为1×10【6~:1,×109Ω摩擦起电!。电压不应大于—。200V静电半【衰期不应《。大于1?s但:软帘:的摩:擦起电电压不—应大于3《00:V;
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3: 三级防静电【工作区的地面、墙】面和柱面宜》根据生产工艺要求采!用静电耗散型材料】或低:起电材料《。顶,棚、门等《宜采用低起》电材料选用静电【耗散型材料的地面】。、墙面?和柱面应符合本条】第2款的要求;【选用:低起电材料的地面、!墙面、?柱,面、顶?棚、门等的摩擦起】电电压不应大于1】。000V
】
1?3.2?.3 洁净厂房】防静电环《境的门窗设计应【符合下列要求
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?1 应《。选用静电耗散材料制!作,门窗:或采用?耗散材料贴面—;
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2 金》属门窗表面应涂刷静!电耗:散性涂层并应接地;!
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3 》 室:内隔断和观察窗安装!大面积玻《璃时玻璃表面应粘贴!静电:耗散性?透明薄膜《。或喷涂?静电耗散性涂层
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13.【2.4 洁净厂房!。防静电环境的装修设!计,应符:合下列要求
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1 【各类装修材》料应具有《表面静?电耗散性能不得使用!未经表?面改性处理的—高分子绝《缘的装饰材料;
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2 各类【装修的饰面应—平整光滑《
—13.2.5 】洁净厂房防静电【环境:的,净化空?调系统?送风口和《风管应选用》导电材料制作—并应接地
】
13《.2.6 洁【净厂房防静电环境的!净化空?调系统?、各:种配管使用部分【绝缘性材《质时应?在,其表面安《装金属?网并应将其接地当】使,用导:电性橡胶软》管时应在软管上安】装与其紧《密结:合,的金属导体并—应采用接《地引线与其可靠连】接接地?
13】.2:.7 洁净厂【房防静电环境中【应根据生产工艺的】需要设置静电消除器!、防:静电:安全工作台
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