13—.2 防静电措施!
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1《3.2.1 【洁净厂房防》。静电环境《。。。中防静电《地面的面《层结构和材料应符】合,下列要?求
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1 》防静电地面面层的选!择应满足电子产【品,生产工艺的要求【;
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2 防静电地】面的表层应采用静电!耗散性?材,料静电?。耗散性材料》表面电阻率应—为2.5×》10:4,。~1×109Ω【;
【3 防静电地【面应:设置导静电泄—放设施和接地—连接其地面对地【泄,放电阻值应》为1×?105~1×10】8,Ω
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13—.2.2《 洁净《厂房防静电环境【的吊顶、《。墙面和柱《面,的装饰设计应符【合下:列要求
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1 ? 一级防静电—工作区的《地面、墙面》和柱面?应采用导静》电型:导静:电型地面、墙面、】柱面的表《面电阻、对地—电阻应为2.5×】104?~1:。×106《Ω摩擦起电》电,压不应大于》1,00:V静电半衰期不【应大于0.1—s;
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2 二级防静电!工,作区:的地面、墙面—、柱面、顶棚、门】和软帘应采用静电耗!散型静电《耗,散型地面、墙面、】柱面:和顶棚、门的表面电!阻、:对地电阻应为—1,×106~1×1】09Ω摩擦》起电电压不应大于】200V静》电半:衰期不应大于1s】但软帘的摩》擦起电?电压:不应大于300V;!
3 !三级防静电工—作区的地面、—墙面和柱面宜根【据生产工《艺,要求采用静电—耗散型材料或低起电!材料顶棚、门等宜】采用低?起电材?料选用静《。电耗散型材》料的地面、墙面和柱!面应符合《本,条第2款的要求【;选用低《起电材料的地面、墙!面,、,柱面、顶棚、门等】的摩擦起电电压不应!大于1000V【
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13.《2.:3 洁《净厂房防静电环境】的门窗设计》应符合下列要—求
1 ! 应:选用静电耗散材【料制:作门窗?或采用耗散材—料贴面;
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2 【金属门窗表面—应涂刷静电耗散性涂!层并应接《地;
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3 【 室内隔《断和观察《窗安:装大面积玻璃—时玻璃表面应粘【贴静电耗散性—透明薄膜或喷涂静】电耗散性涂层
】
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13.2.【4 洁净厂房【防静电环境的装【修设计应符合—。下列要求
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1 各类装【修材料?应具有表《面静电耗散性能不得!使用未经表面改【性处理的高分子【绝缘的装饰》材料;
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2 各类装】修的饰面应平—整,光滑
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13.2【.5: , 洁净厂房防静【电环境的净》化空:调系:。统,送风口和风管—应选用导电材料【制,作并应接地
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13.【2.6 洁—净厂房防静》电环境的净化空调系!统、各种配》管使用部分绝—缘性材质时》应在其表面安装【金属网并应将其接地!当使用?导电性橡《胶软管时《应在软管上》安装与其紧密结合的!金属导体并应采用接!地引线与其可—靠连接?接地
1!3.2.7》。 洁净厂房防【静,。电环境中应根—。据,生产工艺《的需要设置静电【消除器、防静电安】全工作台
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