： ：13.？2，  ：。防静电措施 】 13.2！。.1  《洁净厂房防静电【环境中防静电地面的！面层结构和》材料应符合下列要求！ 》 1：  ：防，静电地面面》层，。的选择应满足电子产！品生产工艺的要【求，； ： ？ 2  防静电地！面的表层《应，采用静？电耗散性材》料静电耗散性—材料表面电阻—率应为2.》5×104～1【。×109《。Ω，； —。 3  防静电地面！应设置导静电泄【。放设施？和接地？连接其地面对地【。泄放：电阻值应为》1×10《5，～1×108Ω【 ， 13【.2.？2  洁《净，厂房防静电环境的吊！顶、墙面和柱面的装！饰，设计应符《合下列要求 】 1  —一级防静电工作区】的，地面：。、墙：面和柱面《应采用导静电型导】静，。电型地面、墙面、】。柱，面的：表面电阻、对—地电阻应为2.【5×104～1×】106Ω摩》擦起电电压不应大】于，100V静》电半衰期不应大于0！.1s？； 2】  二级《防静电工作区的【地面、墙《面、柱面、顶—棚、：门，和，软帘应采用》静电耗散型》。。静电：耗散：。型地面、墙面、【柱面和顶棚、门的】表面电阻、对地电】阻应为1×10【6～：1，×109Ω摩擦起电！。电压不应大于—。200V静电半【衰期不应《。大于1？s但：软帘：的摩：擦起电电压不—应大于3《00：V； 【 3：  三级防静电【工作区的地面、墙】面和柱面宜》根据生产工艺要求采！用静电耗散型材料】或低：起电材料《。顶，棚、门等《宜采用低起》电材料选用静电【耗散型材料的地面】。、墙面？和柱面应符合本条】第2款的要求；【选用：低起电材料的地面、！墙面、？柱，面、顶？棚、门等的摩擦起】电电压不应大于1】。000V 】 1？3.2？.3  洁净厂房】防静电环《境的门窗设计应【符合下列要求 ！ ？1  应《。选用静电耗散材料制！作，门窗：或采用？耗散材料贴面—； — 2  金》属门窗表面应涂刷静！电耗：散性涂层并应接地；！ ？ 3 》 室：内隔断和观察窗安装！大面积玻《璃时玻璃表面应粘贴！静电：耗散性？透明薄膜《。或喷涂？静电耗散性涂层 ！ 13.【2.4  洁净厂房！。防静电环境的装修设！计，应符：合下列要求 【 1  【各类装修材》料应具有《表面静？电耗散性能不得使用！未经表？面改性处理的—高分子绝《缘的装饰材料； ！ ： 2  各类【装修的饰面应—平整光滑《 —13.2.5  】洁净厂房防静电【环境：的，净化空？调系统？送风口和《风管应选用》导电材料制作—并应接地 】 13《.2.6  洁【净厂房防静电环境的！净化空？调系统？、各：种配管使用部分【绝缘性材《质时应？在，其表面安《装金属？网并应将其接地当】使，用导：电性橡胶软》管时应在软管上安】装与其紧《密结：合，的金属导体并—应采用接《地引线与其可靠连】接接地？ 13】.2：.7  洁净厂【房防静电环境中【应根据生产工艺的】需要设置静电消除器！、防：静电：安全工作台 【