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13.2 防!静,电措施
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13.》2,.,1 : 洁净厂房防静【。电,环境中防静电地面的!面层结构和材料【应符合下列要求
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1 防静电!地面面?层的选择应》满,足电子?产品生产工艺的要求!;
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2 防—静电地面的表层应采!用静电耗散性材【料,静电耗散性材料表面!电阻率应为2.5】。×104《~1×109Ω;
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,3 ?防静电地《面应设置导静—电泄放设施》和接:地连接其地面对地】。泄放电阻值应为【1×105~1×1!08Ω
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?13.2.2 】洁净厂房防静电环】境的吊顶、墙面和柱!面的装饰设计应符合!下列要求
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1 》 一级防静电—工作区的地面—、墙:面和柱面应》采用导静《电型导静电型地【面、墙?面,、柱:面的表面《电,阻、对?地电:阻应为?2,.5×104~【1×106Ω摩【擦起电?电压不?应大于100—V静电?半,衰期不应大于—。0.1s;
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2 】二级防?静,电工作区的地面、】墙,面、柱面、顶棚、门!。和软帘应《采用静电耗散型【静电耗?散,型地面、墙面—、柱面和顶棚、门的!表面电阻、对—地电阻?应为1?×106~1×10!9Ω摩擦《起电电压不应大于】200V《静电半衰期不应【大于:1s:但,软,帘的摩擦起》电电压不应》大,于3:00V;
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3 三!级,防静电工作区的地面!、墙面和《柱面宜根据生产工】。。艺要求采《用静电?耗,散型材?料或低起电材料【顶棚、门等》宜采用低起电材【料选用静电》。耗散型材《料的地面、墙面【和柱:。面,应符:合本:条,第2:款的要求;选—。。用低起电材料—的地面、墙》面、柱?面、顶棚、门等的】摩擦:起,电电压?不应大于1000V!
1【3.2.3》 洁净厂房防【静电环?境的门?窗设计应符》合,下列要求
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1 应选用!静电耗散材料—制作门窗《或采用耗散》材,料,贴面;
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2 金属门窗表!面,应涂刷静《电耗散性涂层并【应接地;
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3 室内隔【断,和观:察窗安装大面积玻璃!时玻璃表面应粘贴静!电耗散性透明薄【膜或喷涂静电耗【散性涂层
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1《3.2.4》 洁?净厂房防《静电环境的》装修设?计应符合下列要求
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1 各!类装修材料应具有表!面静电耗散性能【不得使用未》经,表面改性处》。理的:高分子绝缘的装饰材!料;
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2 《 各类装修》的饰面?应平整光滑》
13.!。2.5 洁净【厂房防静电环—。。境的净?化空调系统》送风口和《风管应?选用导电材料制【作并应?接地
】13.2.6— 洁净《厂房:。防静电环境的净化空!调系统、各种配【管使:用部分绝缘性材质时!应在其表面安装金属!网并应将《其接地当使用导电】性橡胶软管时—应在软管《上安装与其紧—密结合的金属导体】并应:采用接?地引线与其》可靠:连接接?地
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》13.2《.7 洁净—厂房防静电环境【中应根据生》产工艺?的需要设置》静电消?除器、防静》电安全工《作台
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