安全验证
13—。.2 ? 防:静电措施 —。 13】.2.1  洁净】厂房防静电环境中】防静电?地,面的:面层结构和材料【应符合下列要求 】 : 1  —防静电地面面层【的选择应《。满足电子产品生产】工艺的要求; 【 2—  防?静电地面的表层应采!用静电耗散性—材,。。料静电耗散性材【料表面电阻率应为2!。.5×104~1】×109Ω;—。 —3  防静》电地面?。应设置导静电泄放】设施和接地连—接其地?面对地泄放电阻值】应为1×1》05:~1×108Ω 】。 :。 13.2.2!  洁净厂房防静电!环境:的,。吊顶、墙面和—柱面的装《饰设计应符合下列要!求 【1  ?一级防静电》工作区的《地面、墙面和柱面应!采用导静电型导静】电,型地面、墙面、柱面!的表面?电阻:、对地电阻应—为2.5×10【4,~1×106Ω【摩擦:起电电压不应大【于100V静—电半衰期《不应大于0》.1s; ! ,2, , 二级防静电—工作区的地面、墙】面、柱面、顶棚、门!。和软帘应采用静电】耗散型静电耗散【型地面、墙面、柱面!和顶棚、门的表面】。电阻、对地》电阻应为1×1【06~1×10【9Ω摩擦起电电压不!应大于2《00V静《电半衰期不应大【于1s但《软帘的摩擦起电【电压不应大于—300V; 】 3 》 三级防《静电工作区》的地面、墙面和柱】面宜:根据生产工艺—要求采用《静电耗散《型材料或低》起,电材料顶棚》、门等宜采用低起】电材料选用》静电:耗散型材料的地面、!墙面和柱面》应符合本条第2款的!要求;选用低起【电材料?的地:面、墙面《、柱面、《顶棚、门等的—摩,擦起电电《压不应大于1000!V : : : 13.2.3【。 , 洁净厂房》防静:电环境的门窗—设,计应:符,合下列要求 】 , :1  应《选用:静电耗散材料制作门!。窗或采用耗散材料】贴,面; 【 2  《金属门窗表面应涂】刷静电耗散性涂【层并应接地;— 《 3 《 室内隔《。断和观察窗安装大】面积玻璃《时玻璃表《面应:粘贴静?电,耗散:性透明薄膜或喷涂】。静电耗?散性涂?层 ? 13—.2.4  洁【净厂:房防静电环境的装】修设计应符合下列】要,求 1 ! 各类装修材料应具!有表:面静电耗散性—。能不得使用》未经表面改性处【理的高分子》绝缘的装饰材料;】 《。 2?  各类装修的【饰,面应平整光滑 【 》13.?2.5  洁净厂】房防静电环境的【净化空调系》统送风口和风管【。应,选用导?电材料制作并应接】地 【13.2.》6  洁净厂房防】静,电环境的净化—空调系统、》各种配管使用部分】绝缘性材质时应在】其表:面安装金《属网并应《将其接地当使用导】电,性橡胶软《管时应在软管上安】装与其紧密》结合的金属导体并】应采用?接地引线与其可靠】连接接地 】 13.2—.7  洁》净厂:房防静电环》。境中应根《据生产工《艺,的需要?设置静?电消除器、防静电】安全工作台 【