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,13:。.2 防》静电措施
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13—.2.1 洁【净,厂房防静电环境中】防,静电地面的面层【结构和材料应符合】。下,列要求
!1 防静电地面】面层的选择应满【足电子产品生产【工艺的要《求;
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2 《防静电地《面的表层应采—用,静电耗散性材料静电!耗,散性材料表》面电阻率应为—2.5?×104~》1×109Ω;【
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3《 防静《电地面?应设置?导静电泄放设施【和接:地连:接其地?面对地泄放电阻值】应为1×《105~1》×108Ω
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》13.2.2— 洁净《厂房防静电环境的吊!顶、:墙,面和柱面《的装饰设计应符【合下列要求
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1 — 一级防静电工作】区的地面、墙—面和柱面应采—。。用导静电型导静【电型:地面、?墙面、?柱面的表面电阻、】对地电阻应为2.5!×104~1×【106Ω摩》擦起电电《压不应大《。于,100V《。静电半衰期》不应:大于0.1s—;
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2 二级!防静电工作区的地面!、墙面、柱》面、顶棚、》门和:软帘应采用》静电:耗散型静电耗—散型地面、墙面、】柱面和顶《棚、门的表面—。电阻:、对:地电阻应为》1×106》。~,1×109Ω摩擦】。起电电压不应大【于,200V静电半衰期!不应大于1》s但:软帘的摩擦起电电压!。不应大于300【V,;
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3 《 三级防静》。电,工作区的地面、墙】面和柱面宜根—据生产工艺要求采】用,静电:耗散型材料或—。低起电材料顶—棚、门等宜采用低起!电材料选用静电【耗散型材料的地面、!墙面和柱面应符合本!条第:2款的要《求;选用低起电材料!的地:面、墙面《、柱面?。、顶:棚、门等的摩擦起】电电压不应大于10!。00:V
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》13.2.》3 洁净》厂房防静《电环:境的:门窗设计应》符,。合下列要求
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1 应选!用,。静电耗散材料—制作门窗《或采用耗散材料【贴面;
《
2 金!属门窗表面应涂刷】静电:。耗散性涂层并应【接地:;
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3 【。室内隔断和》观察窗安装大面积】玻璃:时玻璃表面应粘贴静!电耗散性透明—薄膜或喷涂》静电耗散性涂层
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13【.,2.4 》洁净:厂房防静电环境【的装修设《计应符合《下列要求
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1 各类【。。装修材料《应具有表面静电【耗散性能不得—使用未经《表面改?性处理的高分子绝缘!的装:饰材料;
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,2 各类装修【的饰:面应平?整光:滑
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13.2.5 !洁净厂?房防静电环境的净】化空调系统送风口】和风:管应选用导》电,材料制作并应接地】
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1:3.:2.6? 洁净厂房防静】电环:境的净化空调—系统、各种》配,管,使用部?分绝:缘性材质时应在其表!面安装?金属网并应将其接地!当使用导电性橡胶软!管时应在《软管上安装与—其紧密结合的—。金属导体并应采用】接地:引线与其可靠连接接!地
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1《3.2.《7 ?洁净厂房防静电环境!中应根据生产工【艺的需要设》置静:电消除器、防静电安!全工:作台:。
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