12.4】  自？动控制 】 12.4【.1  洁净厂【房的自？动，控，制，系统：宜采用集散式网络结！。构并应具有稳定、可！靠、：节能：、开放和可扩—。展性 — 12.4.2 ！。 ，洁，净厂房应对净—。化空调、供》热、供冷、纯水【和气体供应等系统进！行自动？。监控 《 12—.4.3 》 洁净室(区)【内外的？压差监测宜采—用压差？变送器通过》控制系统调节洁净】室(区)的送风量或！回风量？ 》 1：2.4.4  【净化空调《系统：采用电加热器时电】加热：器与风机应联锁控制！。并应设？置无风、超温断【。电保护；当》采用电加湿》。器时应设置无—水、无风断电保【护 1】2，.4.5  在满足！生产工艺《要求的前提下宜对】。风机、水泵等动【力设备采取》变频调？速等节？能控制措施 — ，