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1《2.4 自—动控制
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12.4.1! , 洁净厂房的自动】控,制系统宜采》用集散式《网络结?构并应具有稳定、可!。靠,、节能、开放和可】扩展性
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1《2,.4.2 洁【净厂房应对净化【空调、供热、供【冷、纯?水和气体供应—等系统进行》自动监控
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1:2,.4.3 洁净室!(区)内外的压【差监测宜采用—压差:。变送器通过》控,制系:统调节洁净室—(区)的《送风量?或回风量《
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12.4.4【 净化《。空调:。系统采用电加热【器时电?加热器与风机—应联锁控《制并应?设置无风、超—温断电?保护;当采用电加】湿器时应设置—无水、无《风断电保护
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12.4.】5 在满足—生,产工艺要求的前提】下宜对风机、水【。泵等动力设备采取变!频调速等节》。能控制措施
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