安全验证
12.4】  自?动控制 】 12.4【.1  洁净厂【房的自?动,控,制,系统:宜采用集散式网络结!。构并应具有稳定、可!靠、:节能:、开放和可扩—。展性 — 12.4.2 !。 ,洁,净厂房应对净—。化空调、供》热、供冷、纯水【和气体供应等系统进!行自动?。监控 《 12—.4.3 》 洁净室(区)【内外的?压差监测宜采—用压差?变送器通过》控制系统调节洁净】室(区)的送风量或!回风量? 》 1:2.4.4  【净化空调《系统:采用电加热器时电】加热:器与风机应联锁控制!。并应设?置无风、超温断【。电保护;当》采用电加湿》。器时应设置无—水、无风断电保【护 1】2,.4.5  在满足!生产工艺《要求的前提下宜对】。风机、水泵等动【力设备采取》变频调?速等节?能控制措施 — ,