安全验证
, 1《2.4  自—动控制 《 , ? 12.4.1! , 洁净厂房的自动】控,制系统宜采》用集散式《网络结?构并应具有稳定、可!。靠,、节能、开放和可】扩展性 — 1《2,.4.2  洁【净厂房应对净化【空调、供热、供【冷、纯?水和气体供应—等系统进行》自动监控 】 , 1:2,.4.3  洁净室!(区)内外的压【差监测宜采用—压差:。变送器通过》控,制系:统调节洁净室—(区)的《送风量?或回风量《 , , ?。 12.4.4【  净化《。空调:。系统采用电加热【器时电?加热器与风机—应联锁控《制并应?设置无风、超—温断电?保护;当采用电加】湿器时应设置—无水、无《风断电保护 】 12.4.】5  在满足—生,产工艺要求的前提】下宜对风机、水【。泵等动力设备采取变!频调速等节》。能控制措施 — ,