12.4 ！ 自动控制 ！ ： 12.4.1 ！ 洁净厂《房的自？动控制系统》宜采用集散》式，网络结构并应具【有稳：定，。、可靠、《节能：、开放和可扩展性 ！ 1—2.4.2  洁净！厂房应对净化空调、！。。供热：、供冷、纯水和气体！供应等系统进行自动！监控 1！2，.4.3 》 洁净室(区)【内，外的压差《监测宜采用压差变】送器：通过控制系》统调节洁净》室(区)的送风【。量或：回风量 【 1？2.4.4  净化！空调：系统采用电加—热器时电《加热器与风机应【联锁控制《并应设？置，无风、超温断—电保护；当采用电】。加湿：器时应？设置无水、无风断】电保护 — 12.4【.5  在满足【。生产工？艺要求的前提下宜对！风机、？水泵等动力设备【采取变频调速等【节能控？制措施 》