《12.4  自动】。控制： ， ， 12】.4.1《  洁净厂房—的自动控制系统宜】采用集散式网—。络结构并应具有【稳定、可靠》、，节能、？开放和可扩展性 ！。 《12.4.2—  ：洁净厂？房应对？净化：空调、供热、供冷、！纯水和气《体供应？等系统进行自—动监控？ 12】.4.？3 ：。 洁净室(区)内】。外的压差监》测宜采用压差变送】。器通过控制》系统调节洁净室(区！)的送风量或回风】量 1】2.4.4》  净化空调系统采！用电加热器时—电加：热器与风机应联锁】控制并应《设置无风、超温断电！保护：；，当采用电《加湿器？时应：设置无水《。、无风断《电保护 】 1：2.4.5  【在满足生产工艺【要求：。的前提下宜对风【机、水泵等》动力设？。备采取变频调速等节！能控制措《施 ？