。 12.【。4，  自动控制 ！ ： 12》.4：.1  《洁净厂房《的自动控制系统宜】。采用集散式网络结构！并，应，具，有稳定、可靠、【节能、开《放，和可扩展《性 【。12：.4.2  —洁净厂房应》对净化空《。调、供热、供冷、】纯水和气体供—应等系？统进行？自动监控 】 12《.4.3《  洁？净室(区《。。)内外的压差—监测宜采用》压，差变送器通过控【制系统调节洁净室】(，区)的送《风量或？回风量 】 12.4.4  ！净化空？调系统采用电—加热器时电加热【器与风机应》。联锁控制并应设【置无风、超温—断电保护；当采用电！加湿器时《应设置？无水、无风断—电保护 《 ： 12.—4.5  在—满，。。足生产工艺要—求的前提下》宜对风机、水泵【等动力设备采—。取变频调速等节【能控制措施 【