安全验证
12.4 ! 自动?控制 》 12.】4,.1  洁》净厂房的自动控【制系统宜采用—集散:式网络结构并应具】有稳定?、可靠?、节能、开放和可扩!展性 《 12.4】.,2 : 洁净厂房应对净化!空调、供热》、供冷、纯水和气】体,供应等系统进—行,自动:监控 1!。2.:4.3  洁净室】(区)内外的压差监!测宜采用压差—变送器通过控制系统!调节洁净室(区【)的送风量或回【风,量 》 12.4—。.4 ? 净化?空调系统《采用电加热器—。时电加热器与风机】应联:锁控制并应设置【无风、超温断电【保护:;当采用电》加湿器时应设置【无水、无风断电【保护 【 12.4.—5  在满足生产】工艺要求的前提【。下宜:对风:机、:水泵等动力设备采取!。变频调?速等节能控制措施】 :