安全验证
。 : 12.4 【 自:动控制 ! 12.4—.1  《洁,净厂房的自》。动控制系统宜—采用集散式网络【结构并应具有稳定】、可靠、节能—、开放和可》扩展性 】 12.4》.2  洁净—。厂房应对净》。化空:调、供热、供冷、】纯水和气体供—应等系统《进行自动监控 ! 12》.,。4.3  洁净室(!区)内外的压—差监测宜《采用压差变送器通】过控:制系:统调节洁净室(【区)的?送风量或回风量【 : 《12.4.》4  净化空调系统!采用电加《热器时电加热器与风!机应:联锁控制《并应设置无风、超】温断电?保,护;当采用电加湿】器时应设置》。无水、无风断电保】护 》 1?2.4.5  【在满足?。生产工艺要求的【。。前提下?。宜对风机、》水泵等动《力设:备采取变频调速等】节能控制措》施 ?