10—.4 特种—气体系统
【
10【.4.?。1 ?特种气?体应采?用外购钢瓶》。气体、液态》气体供应在电子工】厂内应设置储存【、分:配系统
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10.4.2! 洁净《厂房内特种气体的储!存,分配间?应采用耐《火,极限:不低于?2.:0h不燃烧体的【。隔墙与洁净室(区)!分隔隔墙上的门窗】应,为甲级防火》门窗
《
10—.,4.3 洁—净室(区)》内可:。。燃或有毒《的特种气《体分配?系统的设置应—符合下列规》。定
《。
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1 特种气体!钢瓶(含硅》烷或硅烷混合物)应!设置在具《有连续机械排风的】特气柜中;
】
,
2 》排风机、《泄漏报警《、,自动切?断阀均?应设置应《急电源;
》
《
3 《一,个特:气分配系统》供多台生产》。设备使用时应设【置多路?阀门箱;
!
4 可燃性【、氧化性特种气体】管,道的设置应》符合本规范第1【0.:1和10.2节【的有关规定
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10.4!.4 特种气体分!配系统?应,设,置吹扫盘并》应符合下列规定【
1 !。应,设置应急切断装置】;
2 ! 应设置过流—。量控制装置
!
3 应设置】手,动,隔离阀;
!
4: 吹扫《气源不宜采》用常用气体系统;】
5【 不相容》特种气体《的,吹扫盘不得共用吹扫!。。气瓶
【
,10.4《.5 硅烷—或硅烷?混合物的气》瓶,应存放?在洁:净厂房建筑》外的储存《区内储存区》的设置应《符合下列规定
!
1 储存区!应至少三《面敞:开气瓶应固定—在钢制框架上;
】
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?2 气瓶》或气:瓶组与周《围,的构筑?物,或围栏的间距—应大于3.》0m;
【
3 《 储存区顶棚的【高度应大于3.5m!。
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