。 ： 10.》4  特种气—体系：。统， — 10.》4.1  特种气体！应采用外购钢瓶气】体、液？态气：体供应在电子工厂内！应设：置储存、分配—系统 】。10：.4.2《。  ：洁净：。厂房：内，特种气体《的储存？分，配间：应，采用耐火极》限，不低于2.0h不】燃，。烧体的隔墙与洁净室！(，区)分？。。隔隔墙上的门窗【。应为甲？级防火门窗 】。 1《0.4.3》  洁净《室(区)内可燃或】有毒的特种气体分】。配系统？的设置应符合下列规！。定 【。1  特《种气体钢《瓶，(含硅烷或硅—烷混合物)应设置】在具有连续》机械排？风的特气柜中； 】 ？ ：2  ？排风机、泄漏报【警、：自动切断阀均应【设置应急电源—； 【3，  一？个特气？分配：系统供多台生产设】备使：用，时应设置多路—阀门箱； ！ 4  可燃性、氧！化性特？种气体？。管，道，的设置应符合本规】范第10《。.1和1《0.2节的有—关，规定 《 ： ：10.4.4 【 特种气体》分配系统应》设置吹扫盘并应符】合，下列规定 【 ， ， 1：  应？设置：应急切断装》置； 【 2  应》设，置过：流量控？制装置 》 3 — 应设置手动隔离阀！； ：。 4 【 吹：。扫气源不宜》采用常？用，气体：系统； ！5  不相》容特种气体的吹【扫，盘，不得共用《吹扫气？瓶 【10：.4.5 》 硅：烷或硅烷混合物【的，。气瓶应存放在洁【净厂房建筑外的储存！区内储存区的—。设置应符合下列规定！ 1 】 储：存区应？至少三面敞开—气瓶应固定在钢【制框：架上； ！2  气瓶或气【瓶组与周围的构【筑物：或围栏的间距应大】于3.0m》； 《 3  储存区！顶棚的高度应大于】3.：5m 《