10.【4  特种》气体系统 【 10.】4.1 《 特种？。气体应采《用外：。购钢瓶？气体：、液态气体供应在】电子工？厂内应？设置储？存、分配系统— —10.4.2  】。洁净厂房内特种【气体：的储存分配间—应采用耐火极—限不低于2.0h】不燃烧体的》隔墙与洁净室(区)！分隔隔墙上的门窗】应为甲？级防火？门窗： 10】.4.3  洁净】室(区？)内可燃《或有毒的特种气【体分配系统的—设置应符合下列规定！ ？ 1 》 ，特种气体《钢瓶(含硅》烷或硅烷混合物)应！。设置在具有连续【机械排？风的特气《柜中； — 2  排【风，机、泄漏报警、自】。动切断阀《均应设置应急电源；！ 《 3  一个特】。。气分配系统供多台】生产设？备，使，用时应设置多路阀】门箱； 】 4  《可燃性、《氧化性特《种气体管道的设置】应符合本规》范第10.1和【10.2节的有【关规：定 ： 10.】4.：4  特种气—体分配系统应设【置吹扫盘并》应，符，合下列规定》 ： 1》 ， 应设？置应急切断装置；】 ？ 2《  应设置过流量控！制装置 】 3  应》设置手动隔离阀；】 》 4：。  ：吹扫气源不宜采【用，常用气体系统—； ？ 5  不】相容特种气》。体的吹扫盘不得共用！吹扫气瓶《 》 10.4.5【  硅烷或》硅烷混合物的—气瓶应存放在洁【净，厂房建筑《外的储存区内储存区！的设置应符合—下列规定 】 1  储存区】应至少三面》敞开气瓶应固—定在钢制《框架上； 》。。 2  】气瓶或气瓶组与【周，围的构筑物或围栏】的间距应大于3【。.0m； 】。 3  储存区顶！棚的高度应大—于3.5m 【