， 10.4 】 特种气体系统【 ： 1【0.4.1 — ，特种气？体应采用外购钢瓶气！体、液态气体供应在！电子工厂内应—设置储存、分配系统！ —1，。0.4.2  洁净！厂房内特种气体的】储存分配间应—采用耐火《极限不低于2—.0h不燃烧体的】隔墙与洁《净室(区)分隔隔】墙，上，的门窗应《为甲级防《火门窗 — 1《0.4.3  【洁净室？(区)内可燃或【有毒的？特，种气体分配》系统的设置应—符，合下列规定》 《 1 《 特种气体钢瓶【(，含，。硅烷或硅烷混—合物：)应设置在具有连】续机械排风》。的特气柜中； 】 2》 ， 排风？机、泄？漏报警、自动—切断阀均应设—置应急电源； ！ 3 》。 一：个特：气分配系统》供多台生产设备使用！时，应设置多路阀—门箱； 】 4  可》燃性、氧《化性特种气体—管道的？设置应符合本规【范第1？0.：。1和10.2节的】有关规定 — ？ 10.4.4【  特种《气体分配系统应设】置吹扫盘并》应符合下列规定 】 》1  应设》置应：急切：断装置；《 2  ！应设置过流》量控制装置 】 3  应【设置手动隔》离阀； 》 ， ： 4：  ：吹扫气源不宜采用常！用气体系《统； 【 5  不相容【特种气体《的吹扫盘不得共用吹！扫气瓶 【。 ：10.4.5  硅！烷或硅？烷混合物《的气瓶应存放在洁净！厂房建？筑，外，的，储存区内储存—区的设？置应符合下列规定 ！ ？ 1  储存区应！至少三？面敞开气《瓶应固定在》钢制框架上； ！ 2  气【瓶或气瓶组与—周围：的构筑物或围栏【。的间距应大于3【.0m； — ？ 3 ？ 储：存区顶棚的高—度，应，大于3.5m 】