安全验证
。 10.4 ! ,特种气体系统— ? 》10.4《.1  特种气【。体应采用外购钢瓶气!体、液态气体供应在!电子工厂内应设【置储:存、分配《系统: : 《10.?4.:2  洁净厂—房内特种气体—的储存?分配间应采》用耐火极限不—低于2.0》h不燃烧体》的隔墙与洁净室(】区)分?。隔隔墙?上的门窗应》为甲:级防火门窗 【 10.【4.3 《 ,洁净室(区)—内,可燃:或有毒的特》种,气体:分配系统的设置【。应符:合下:列规定 】 1 ? ,特种气体钢》瓶,(含硅烷或》硅烷混合《物)应设置在具有连!续机械排风》的特气柜中; 【 ? 2 《。 排风机、泄漏【报警、自动切断【阀,均应设置应急电【源; — 3?  一个特气分【。配系统供多》。台,生产设备使用—时应设?。置多路阀门箱;【 《 4 《 可燃性、》氧化性特种》气体管道《的设置?应符合本规范第【10.1和》10:.2节的《有关:。规定 【 10.4.4 】 ,特种气体分配系【统应设置吹扫盘【并,。应符合下列》规定 【 1  应设置应急!切断装置《。; — 2  应》设置:过流:量控制?装置 3!  应设置手动隔离!阀; 】4  吹扫》气源不宜采用常【用气体系《统,;, 5 】。 不相容特种气【。体的:吹扫盘不得共用吹扫!气瓶: 《 1?0.4.5  硅烷!或硅:烷混合物《的气:瓶应存放《在洁净厂《房建筑?外的储存区》内储存区的设置应符!合下列规定》 1  !储存区应《至少三面敞开气瓶】应固定在钢制框架上!;, 《 , 2:  气瓶或》气瓶组?与周围的《。构筑物?。或围栏的间》距应大于3.0m;! , ? 3 《 储存区顶》棚的高度应大于3.!5m: :