。 10.4 ！ ，特种气体系统— ？ 》10.4《.1  特种气【。体应采用外购钢瓶气！体、液态气体供应在！电子工厂内应设【置储：存、分配《系统： ： 《10.？4.：2  洁净厂—房内特种气体—的储存？分配间应采》用耐火极限不—低于2.0》h不燃烧体》的隔墙与洁净室(】区)分？。隔隔墙？上的门窗应》为甲：级防火门窗 【 10.【4.3 《 ，洁净室(区)—内，可燃：或有毒的特》种，气体：分配系统的设置【。应符：合下：列规定 】 1 ？ ，特种气体钢》瓶，(含硅烷或》硅烷混合《物)应设置在具有连！续机械排风》的特气柜中； 【 ？ 2 《。 排风机、泄漏【报警、自动切断【阀，均应设置应急电【源； — 3？  一个特气分【。配系统供多》。台，生产设备使用—时应设？。置多路阀门箱；【 《 4 《 可燃性、》氧化性特种》气体管道《的设置？应符合本规范第【10.1和》10：.2节的《有关：。规定 【 10.4.4 】 ，特种气体分配系【统应设置吹扫盘【并，。应符合下列》规定 【 1  应设置应急！切断装置《。； — 2  应》设置：过流：量控制？装置 3！  应设置手动隔离！阀； 】4  吹扫》气源不宜采用常【用气体系《统，；， 5 】。 不相容特种气【。体的：吹扫盘不得共用吹扫！气瓶： 《 1？0.4.5  硅烷！或硅：烷混合物《的气：瓶应存放《在洁净厂《房建筑？外的储存区》内储存区的设置应符！合下列规定》 1  ！储存区应《至少三面敞开气瓶】应固定在钢制框架上！；， 《 ， 2：  气瓶或》气瓶组？与周围的《。构筑物？。或围栏的间》距应大于3.0m；！ ， ？ 3 《 储存区顶》棚的高度应大于3.！5m： ：