10—.4  特种—气体系统 【 10【.4.？。1  ？特种气？体应采？用外购钢瓶》。气体、液态》气体供应在电子工】厂内应设置储存【、分：配系统 — 10.4.2！  洁净《厂房内特种气体的储！存，分配间？应采用耐《火，极限：不低于？2.：0h不燃烧体的【。隔墙与洁净室(区)！分隔隔墙上的门窗】应，为甲级防火》门窗 《 10—.，4.3  洁—净室(区)》内可：。。燃或有毒《的特种气《体分配？系统的设置应—符合下列规》。定 《。 ， 1  特种气体！钢瓶(含硅》烷或硅烷混合物)应！设置在具《有连续机械排风的】特气柜中； 】 ， 2  》排风机、《泄漏报警《、，自动切？断阀均？应设置应《急电源； 》 《 3  《一，个特：气分配系统》供多台生产》。设备使用时应设【置多路？阀门箱； ！ 4  可燃性【、氧化性特种气体】管，道的设置应》符合本规范第1【0.：1和10.2节【的有关规定 — 10.4！.4  特种气体分！配系统？应，设，置吹扫盘并》应符合下列规定【 1  ！。应，设置应急切断装置】； 2 ！ 应设置过流—。量控制装置 ！ 3  应设置】手，动，隔离阀； ！ 4：  吹扫《气源不宜采》用常用气体系统；】 5【  不相容》特种气体《的，吹扫盘不得共用吹扫！。。气瓶 【 ，10.4《.5  硅烷—或硅烷？混合物的气》瓶，应存放？在洁：净厂房建筑》外的储存《区内储存区》的设置应《符合下列规定 ！ 1  储存区！应至少三《面敞：开气瓶应固定—在钢制框架上； 】 ： ？2  气瓶》或气：瓶组与周《围，的构筑？物，或围栏的间距—应大于3.》0m； 【 3 《 储存区顶棚的【高度应大于3.5m！。 ：