10.【4 特种气—体系统
】
10》.4.?1 特种气体【应,采用外购钢瓶—气体:、液态气体供应【在电子工厂内应设】置储存、分配系【统
1】0.:4.2 洁净厂房!内特种气《体的储存分配间应】采用耐火极限不低】于2.0h不燃烧】体,的,隔墙与洁净室(区】)分隔?隔墙上的门窗应为】甲级防火门窗
【
10.】4.:3 : 洁净室(区)内可!燃或有毒的》特种:气体分配《系统的?设置应?符合下列规》定
1 ! 特种气《体钢瓶(含硅烷或硅!烷混:合物)应设》置在具有连续机械排!风的:特气柜?。中;
—
:2 排风机、泄】。漏报警、《自动切断阀均—应设置应急电源;
!
,
3 一个!特气分?。配系统供多台生产】设备:使用时应设置多路阀!门箱;
】
4 可》燃性、氧《化性特种气体管道的!设置应符合本规【范第10.1—和10.2》节的有关《规定
?
《
10.4.—4 特种气体分配!系统应设置吹扫盘并!应符合下列规定
!
1》 :应设:置应急切断装置;
!
》2 ?应设:置过流量《。控制:装置
】3 ?应设置手动隔—离,阀;
《。
?
4 吹扫气【源不宜采用常用【气体系统;》
,
5 【 ,。不相容特种》气体的吹扫盘不【得共用吹扫》气,瓶
10!.4.?5 硅《烷或硅烷《混合物的气瓶—。应存放在洁》净厂房建筑外—。的,储存区?内储存区的设置应】符合下列规定—
?
1 》 储:。存区应?至少三面敞开气瓶应!固定在钢《。制框:架,上;
2! :气瓶或气《瓶组与周围的构【筑物或围栏的间距】应,大于:3.0m《;
3】 储存区顶棚【的,高度应大于》3.5m
—