10.【4  特种气—体系统 】 10》.4.？1  特种气体【应，采用外购钢瓶—气体：、液态气体供应【在电子工厂内应设】置储存、分配系【统 1】0.：4.2  洁净厂房！内特种气《体的储存分配间应】采用耐火极限不低】于2.0h不燃烧】体，的，隔墙与洁净室(区】)分隔？隔墙上的门窗应为】甲级防火门窗 【 10.】4.：3 ： 洁净室(区)内可！燃或有毒的》特种：气体分配《系统的？设置应？符合下列规》定 1 ！ 特种气《体钢瓶(含硅烷或硅！烷混：合物)应设》置在具有连续机械排！风的：特气柜？。中； — ：2  排风机、泄】。漏报警、《自动切断阀均—应设置应急电源； ！ ， 3  一个！特气分？。配系统供多台生产】设备：使用时应设置多路阀！门箱； 】 4  可》燃性、氧《化性特种气体管道的！设置应符合本规【范第10.1—和10.2》节的有关《规定 ？ 《 10.4.—4  特种气体分配！系统应设置吹扫盘并！应符合下列规定 ！ 1》  ：应设：置应急切断装置； ！ 》2  ？应设：置过流量《。控制：装置 】3  ？应设置手动隔—离，阀； 《。 ？ 4  吹扫气【源不宜采用常用【气体系统；》 ， 5 【 ，。不相容特种》气体的吹扫盘不【得共用吹扫》气，瓶 10！.4.？5  硅《烷或硅烷《混合物的气瓶—。应存放在洁》净厂房建筑外—。的，储存区？内储存区的设置应】符合下列规定— ？ 1 》 储：。存区应？至少三面敞开气瓶应！固定在钢《。制框：架，上； 2！  ：气瓶或气《瓶组与周围的构【筑物或围栏的间距】应，大于：3.0m《； 3】  储存区顶棚【的，高度应大于》3.5m —