。 ： 10.》4  特种》气体系？统 【。 ：10.4.1  特！种气体应采用—外购：。钢瓶气体、液态气】体供应？在电子工厂内应设置！储存、分配系—统 — 1：0.：4.2 《 ，洁净厂房内特种气体！的储存分配间应采】用耐火极限》不低于2.0h【不燃烧体《的隔：墙与洁净室(区)】分隔隔？墙上的？门窗应？为甲级防火门窗 】。 ， 1》0.4.《3 ： 洁净室(》区)内可燃》或有毒的特种气【体分配系统的设置应！符合下列规定 【 ？ ， 1  特种气体】钢瓶：(，含硅烷或硅烷混合物！)应设置在具有【连续机械排风的特气！柜中； 《 《 2 ？ 排风机、》。。泄漏报？警、自动切断阀均应！设置应急电源；【 3  ！一个特气《分配：系统供多台生产设备！使用时应设》置多路？阀门箱？； 4 ！ 可燃性、氧—化性特种气体管道】的设置应符》合本规范《第，10.1和10【.2节的《有关规定 》 《 10.4.—4  特种气体【分配系统应设置【吹扫盘并应》符合下？列规：。定 《 1  应设置！应急切断装置； 】 》2  应《设，置过流量《。控制：装置 【 3  应设—置手动？隔离阀； — 4  【吹扫气源不宜采【用常用气体系统【； 《 ： 5  《不，相容：特种气体的》吹扫：盘不得共用吹扫【气瓶 】。10.4.》5  硅《烷或硅烷混合—物，的气：瓶应存放在》洁，净，厂房建筑《外的储存区内—储存区的设》置应符合下列规【定 》 1 《 储存？区应至少三》面，敞开气瓶《应，固，定在钢制框架上；】 —2  气瓶或气瓶】。组与：周围：的构筑物或围栏的】间，距应大于3.0m】； 3 ！ 储存区顶棚的【高，度应大于3.—5m 《