，。 10.4  ！特种气体系统 【 《 1《0.4.1》  特种气体应采】用外购钢瓶气体、】液态气体供应—在电子工厂内应设】置储存、分配系【统 ： ？ 10.4.【2  洁净厂房【内特种气体的—储存分配间》应采用耐火极—。限不：低于2.《0h不燃烧体的隔墙！与洁净室(区)【分隔隔？墙上的门《窗应为甲级防火门窗！ ， ：。 10.4.3！。。。  ：洁净室(区)内可】燃或有毒《的特种气体分配系】统的设？。置应符？合下：列规定 》 《1， ， 特种气体钢瓶(含！硅烷或硅烷》混合物)应设置【在具有连续机—械排风的《特气柜中； — ， 2  排风！机、泄漏报警、自】动切断阀均应设【。置，应急电源《； 3 ！ 一个特气》分配系？统供多台生》产设备使用时应【设置多路阀门—箱； 【 4  可燃性【、，氧，化性特种气体管道的！设置：应符合本规范第【10：.1和10》.2节的有关规【。定 1】0.4.4》  特种气体—分，配系统应《设置吹扫《盘并应？符合下列规定— —1  ？应设置应急切断装置！。； ： 《 2  应设置过】流量控？制装置 《 ？ 3  》应设置手动隔离阀；！ —4  吹扫气源【不宜采用常用气体】系统； 《 ？ 5  不相【容特种？气体的吹扫盘不得】共用吹？扫气瓶 — 1《0.4.5》 ， 硅烷或硅烷混【合物的气瓶应存放在！洁净厂房建》筑外的储存》区内：储存区的设》。置应符合下列规定 ！ 1  】储，存区应？至少三面敞开气【瓶应固定在钢—制框架上； ！ 2  气瓶【或，气瓶组与周围的构筑！物或围？栏的间距应大于3】。.0m； 【 ？。3  储存区—顶，棚的高度应大于【3.5m —