？ 1：0.4  特种气】体系统 — 10【.4.1  —特种气？体应采？用外购钢瓶气体【、液态气《体供应？在电子？工厂内应设置储存、！。分配系？统， ， 1—0.：4.2  》洁，。净厂房内特种气体】的储存分《配，间应采用耐火极【限不低于2.0【h不燃烧《体的隔？墙与洁？净，室(区)分》隔隔墙上的门窗【应为甲级防火门窗】 ？ ： 10.《。4.3  》洁净室(《区)内可燃》或有毒的特种气体分！配，系统的设置应符合下！列规定？ 1【  特种气》体钢瓶(含硅烷【或硅烷混合物)【应设置？在具有连续机械【排风的特气柜中；】 》 2  排风—机、泄漏报警—、自：动切断阀《均应设置《应急电源《。； 3】  一个特气分配】。系统供多《台生：产设备使用时应设】置多路阀门箱—。； — ，4  可燃性、【氧，。化性特种气体管道】。的设：置应符合本规范第1！0.1和10.2】。节的有？关规：。定 【10.4.4  特！种气体分配》系统：应设置吹扫盘并应符！。合，下，列规定 】 1  应设置应急！切断装置；》 》 2  应设—置过流量控制—装置 】3  应设置—手动隔离阀；— 》 ，4  吹《。扫气源不宜采—用常用气体系—统； 》 5  不相】容特种气体的—吹扫盘不得共—用吹扫气《瓶 ： 》10.？4，.5  硅烷或【硅烷混合物的气【瓶，。应存放在洁净厂房】。建筑外的储存区内】储存区的设置—应符合下列规定 ！ 1》  ：储存区应至少三【面敞开气瓶应—固定在钢《制，框架上？； ？ ？ ，2  气瓶》或气：瓶组与周围的构【。筑，物或围？栏的间距应大于3.！0m； 《 ： ？3  储存区—顶棚的高度应大于】3.：5m 《