5.—2  ？工艺设备与工艺管道！ 【 5.？2.2  本条规定！是为了保护洁净用】。房的室？内环境工艺设备及相！关机械设《备进：入，房间前？应清洁检查有—无不宜进入洁净环】境的材料 】 5.2.—3  本条规定【是为了便于对—排出物进行收集处】理 》 5.2.5 】 穿过？洁净用房的》工艺管道其穿管处】的密封是保》证，。室内空？。气参：。。数(尤其是静—压差、含尘浓度【、沉降？菌浓度等《参数)的重要一【环实践表《明采用？套管方式《是行之有《效的管材与套管间】应采用微孔海绵、】有机硅橡胶》、橡胶圈及环—。氧树脂冷胶》等进行密封》 ？ ？5.：2.8？  这些设施包【。括相应装《置制备、配置—清，洗剂、消《毒剂及？纯蒸汽的装置及【循环输送管路等 ！