6》  空气净化 ！ 6．！1  一般规—定 】 6：．1．1  洁净的！生产环境是生产【工艺的需要》是确：保，产品的成品率和产】品质量的可靠—性、长？寿命所必《需的随着我国国民经！。济的发展各》行，各业对生产》环境的温度、—相对湿？度，和洁净度的要求也】越来越？高例如大规模和超】大规：模，集，成电路的发展很快】在，1980年时其集】成，度只有？64kB《而到：目前集成度已提【高到：1GB；64k【B集成电《路前工序生产所要求！生产环境的洁净度等！。级只有4级和—5，级，而1GB集成电【。路，前工序生产对—生产：环境洁净度》等级的要求提高到1！级和2级(0.【1μm) 》 ，     】。不同的？。。生产工艺、不同【的生产工序》对生产环境的—要，求也：是不相同的因此【确定：洁净室的空气洁净度！等级：时，应根据不同工艺【、不同工序对环【境的洁净度要—求而定 —     【根据不？同生产工《艺、不同生产工【序，对，环境：。洁净度的不》同要求该高》则高该低则》低尽量缩小高洁净度！等级部分《的面积以局部高【等级：净化和全《室较低等级净化【的洁净室系统代替全！室高等级净化的【洁净室系《统，既能确？保不同？生产工艺对》环境的要求又能大】幅度地？降低初投《资，和运行费用 ！   《  例如对》于生产1GB超大】规模集？成，电路前工序的洁【净室来说在整个生】产过程？中只有？少，数工序（制版、光刻！等）对环境的洁净】度等级要求最高【。。为1级或2》级而其？他大部？分工序只《要求5级、6—级甚至只有7级【不需将全《部洁净室都设计【为1级或2级 ！ ： 6．1《．4  《人是洁净室内主要的！发尘源作业人员进入！洁净室必须穿着与】洁净室的空气洁净】度等级相适应—的，。。。洁净工作服由—于洁净工作服—的透气？。性较差为《。了保证？作业人员的工作环】境提高劳动生产率】在洁净室生产—工艺对环《境的：温、湿？度没有特殊要求时洁！净室内的温》。度主要是为了作业人！员的舒适《因，此洁净室温度冬季为！20℃～22℃【夏季为24℃～26！。℃湿度冬季为—30％？～50％夏季为5】0％～7《0％比较《适宜由？于洁：净室（区）的—温度、相对湿—。度首先应按生产工艺！要求确定只有在生】产工艺无要求—。时才能按《本条：的规定根据作业【人，员的舒适度确定但在！。本规范实施》。中，因洁净厂房生—产的产品多种多样作！业人员？多少和工作条件【也不相同所以强【制执行有困难—为此本次修订改为推！荐，性条文？ 6【．1．5 》 本条为强制—性条文现行国—家标准采暖》通风与空气》调节设计规范GB ！5001《9中对一般工—业厂房的新鲜空气量！的规定为每人每【小时：不小于？3，0m3由于新鲜空气！。量是确保《洁，净室（区《）作业人员健康的】重要条件之一所【以本次修订中对洁】净室（区）》的新鲜空气量—规，定为：应取补偿室》内，排风量和保》持室内正压》。值所需新鲜空气【量之和保证供给洁净！室（区）内每—。人，每小时？的新鲜空气量不【小于40m3两【项中：的，最大值 《 ，