6  空气！净化 】 6．—1  一般规定【 6！．1．1  洁净的！生产环境《是生产？工艺的需要是确【保产品的成》。品，率和：产品质量的可靠性、！长寿命？所必需的《随着我？国国民经济的发展各！。行各业对《生产环境的温—度、：相对：湿度和洁净度的要】求也越来越高例如大！规模和超大规—模集成电路的—发展很快在1980！年时其集成度只【有64kB》而到目前集》成度已提《高到1GB》；，64：kB：集，成电路前工序生【产所：要求生产环境的【洁净度等级只—有4级和5级而1G！B集成电路前工序】生产对生产环境洁】净度等级《。的要：求提高到1级和【2级(0.1μm】) 【    不同的【生，产工艺、不同的生】产，工序：对生产环境的—要求也是不》相同的因此确定【洁净室的空气洁净】度等级？时应根？据不同工艺》、不同工序对—环境：。的洁净度要》求而定 —。    — ，根据：不同生产工艺—、不同生产工—序对环？境洁净度的不同【要求该高则高—该低则低《尽量缩小《高洁净度《等级部分的面积以】局部高？等级净化和全室较低！。等级净化的洁净室系！统代替全室高等【级净化？的洁净室系统—既能确？保不同生产工艺对】环境的要求》又能大幅度地—降低初？投资和运行费用 】     ！例如对于《。生产1？GB超大规》模集成电路前工【序的洁净室来说在】整个生产《过程：。中只有少数工序【（制版、光》刻，等）对环《境的洁净度》等级要？求最高为1级—或2：级，而其他？。大部分工序只要求5！级、6？级甚至只有》7级不需将全—部洁净室都》设计为1级或—2级 6！．1：．，。4  人《是洁净室内主要的发！尘源作业人员进【入洁净室必须穿【着与洁净室的空气】洁净度等级相—适应的？洁净工作服由于洁】净工作服的透—气性较差为了—保证作？业，人员的工作环境提】高劳：动生产率《在洁净室生》产工艺对环境的温】、，湿度没有特殊要求时！洁净：室内的？温度主要是》为了作业人员的舒适！因此洁净室温度冬】季为20℃～22℃！。夏季为24》℃～26℃湿度【冬季为30％～50！。％夏季为50％～】7，0，％比较适宜由于洁净！室（：区）的温度》、相对湿《度首先应按生产【工艺要求确定—只有在生产工—艺无：要求时？才能按本《条的规定根据作【业人员的舒适—度确定但在本规范】实施中因洁》净厂：房，。生产的产品多种多】样作业人员多少和】工作：条件也不相同所以】强制执行有困难【为此本次修订改为推！。荐性条文 】 6．1．5 】 本条为强制性条】文，现行国家标准—采暖通风与空气调】节设计规范》GB 5001【9，。中对一般工业厂房】的新鲜空气量的规定！为每人每小时不小于！。3，0m3由《于新鲜？。空气量是确保洁净室！。（区：），作，业人员健康》的重要？条件之一所》以本次修订中对洁净！室（：区）的新鲜空气量规！定为应取补偿室内排！风量：和保：持室：内正压值所》需新鲜空气》量之和保证供给洁】净室（区）内每人】每小时的新》鲜空气量不小—于40m3》两项中的最大值 ！