， 6  空气净！化 ！ 6．1  一般！规定： 】6．1．1 — 洁净？的生产环境是生产】工艺的需《要是确保产》品的成品率和产品】质量的可《靠性、长寿命所必】需，的，随着我国《国民经济的发展各】行各业对生》产环境的温度、相对！湿度和洁净》度的要求也越来【。越高：例如大规模》和超：大规模？集成电路的》发展：很快在1《980年时其集【成，度只有64kB【而到目前集成度已提！高到1？GB；64kB集】成电路前工序生产】所要求生产环—境的洁净度等级【只，有4级？和5级而1G—B，集成电路《前工序生产》对生产环《境洁净度等级的要求！提高到1级和2级(！0.1？μm) ！ ，。   不《同的生？产工艺、《不同的？生产工序对生产环】境的要求也是不【相同的因《。此确定洁《净，。室的空？气洁净度等级—时应根据《不，同工艺、不》同工序对《环境的？洁净度？要求而定 【。 ？    根》据不同生产工艺、不！同生产工序对—环境洁净度的—不同要求该高则【。高该低？则低尽量《缩小：高洁净？度等级？部分的面积以局【部高等级净化和【全室较？低等级净《。化的洁净室系统代替！。全，室高等级净化的【洁净室系统既—能确：保不同生产》工艺对环境的要【求又能大幅度地降】低，初投资？和运行？费用 》。   》  例？。。如对于生产1GB】超大规模集》成电路前工序的【洁净：。室来说在《整个生产过程中【。只有少数工序（制版！、光刻等）对环【。境的洁净度等级要】求最高为1级—或2级而其他大【。部分工序《只要求？5级：、6级甚至》只有：7级不需将全—部洁净？室都设？计为1级或2级 】 6．【1．4  人—是洁净室内主要【的发尘源作业人员进！入洁净室必须穿着】与，洁净室的空气洁【。净度等级相适应【的洁净工作服—由于洁净工》作服的透气性较差】为了保？证作业人员的工【。作环境提高劳动【。生产率在洁净—室生产？工艺对环境的温、】湿度没有特殊要【。求时洁净《室内的温度》主要是？。为了作业人员—的舒适？因此洁净室温度【冬季为20℃～【22℃？夏季为24》℃，～26℃湿度冬季】为30％《～50？％夏季为50—％～70％比较【适，宜由于洁净室（【区）的温度、相对湿！度首先应按生产工艺！。。要求：确定：只，有在生产工艺—无，要求时才能按本条】的规：。定根据作业人员的舒！适度确定但》。在本规范实施中【因，洁净：厂房生产的产—品多种多样作业【人员多少和》工作条件《也不：。相同：所以强制执行有困难！为此本次修订—改为推荐《性条：文 —。 6：．1．5 》 本条为强制—性条文现行国家标】准采暖通风与空【气调节设计规范GB！ 50？01：。9中对一般工业厂房！。的，新鲜空气量的规定为！每人每小时》不小于？30m3由》于新鲜空气量—是确保洁净室（【区）作业人员—健，康的重要《条，件之一？所，以本次修订》中对洁净室（区【。）的新鲜空气量【规定为？应取补偿室》内排风量和保—持室内？正压值所需》新鲜空气量之和【保证供给洁净室（区！）内每人每》小时的？新鲜空气量不小【于4：0m3两项中的最】大值 《