6  空】气，净化： 【 6《．1  一般规【定 》。。 6》。．1：．1  洁净的生】产环境是生产工【艺的需要《是确保产品》的成品率《。和产品质量》。的可靠性、长寿命所！必需的随着我国国民！经济的发展》各行各？业，对生产环境的温度】、相对湿度和洁净度！的要求也《越来：越高例如大规模和】超，大规模集成电路的】发，展很快在1980年！时其集成度只—有64kB而到目】前集成度已提高到】1GB？；64kB集成电】路前：。工序生产所》要求生产环境的洁净！度等级只有4级和】5级而1GB集成】电路前工《序生产？对生产环境洁—净，。度等级？的要求提高到1级和！2级(？0，.1：μm) 】     不—同的生产工艺、不同！的生产工序》对生产环境》的要求也是不相同】。的因此确定洁净【室，的空气洁《净，度，等级时应根据不同】工，艺、不同工》序对环境的洁—。净，度要：求而定 ！   ？ 根据不同生产工艺！、不同生产工—序对环境《洁净度的不同要【求该高则高》该低：则低：尽，量缩小高洁》净度：等级部分的》面积以局部高等级净！化和全室较低—等级净化的洁净【室系：统代替全室高等级净！化的洁净室系统既】能确保？不同生产《。工艺对环境的要求】又能大幅度地降低】初投资和《运行费用 — ？    《 例如对《于生产1GB—超大规模《集成：电路前工序的洁【。净，室来说在整个生产】过程中只有少数工序！（制版、光刻等）对！环境的洁《净度等级要求最高】。为1级或2》级而其他大部分工】序只要求5级—、6级甚至只—有，7级不需将全—部，洁净：室都设计《为1：级或2级 — ： 6．1．4 】 人是洁净室内主】要的发尘源作业人员！进入洁净室》。必须：穿着与洁净室的空】气洁净？。度等级相适应的【洁净工作服由—于洁净工作服的【透气：性较差为了》保证作业《人员的工作环境【提高劳动生产率在】洁净室生产工艺【对环境？的温、湿度》没有特殊要求时洁净！室内：的温度主要是为了】作业：人员：的舒：适因：此洁净室温度冬季为！2，0℃：。～22？℃夏季为24℃～】。26℃湿度冬季为】30：％～：50％？夏季为50％～7】0％比较适宜—由于洁净室（—区）的温度》、相对湿度首先应按！生产工艺要求确【定，只有在生产工艺无】要求时？才能按本条的—规定：根据作业《人员的舒《适度确定但在—本规范实施中因洁净！。厂房生？产的产品多种—。多样作业人员多【少和工？作条件也不相同所】。以强制执行有困难】为此：本次修订改为推荐】性条文 【 ：6．1．5  本条！为强：制性条文现行国【家标：准采暖通风》与空气调《节设计规范GB 】50019中—对一般工业厂房的新！鲜空气量《的规：。。定为每？人每小时不小于30！m3由于新鲜—空气量是确保洁【净室（区）作业【人员健康的重要条】件之一？所以本次《修订中对洁净室【（区）的新鲜—空气：量，规定为应取》。。补偿室内排风—量和保持室内正【压值所？需，。新鲜空气量之和保证！供给洁净室（区）内！。每人每小时的新鲜空！。气量不小于40m3！两项中的最大值 ！