6  空气！净，。化 》 —6．1  一般规】定 【 6．1．1  ！洁净的生产环—境是生产工艺的【需要是确保产—品的成品率》和产品质量》。的可靠性《。、长：寿命所必需的随着】我，。国国民经济的—发展各行各业对生产！环境的温度、相对】湿度和洁《净度的要求》也越来越高例如大】规模和超大规—模集成电路的发展很！快在1980年【。时其集成度只—。有64kB而到目】前集成度已提—高到1GB；64k！B集：成，电路前？工序生产所要—求生产环境的洁净】度等级？只，。有，4级和5级而1G】B集成电路前工序】生产对生产环—。境洁净度等级的要】求提高到1级和2级！(0.？1μm)《 ？ ？    不》同的生产工艺、不同！的生产？工序对生产》。环境的要求也是不】相，同的因此确定洁【净室：的空气洁净》。度等级时应根—据不同工艺、—不同工序对环境的洁！。净度：要求而定 ！     根据不同！生产：工艺、？不同生产工序—对环境洁《净度的不同要求该】高则高该低则低【尽量缩小高洁—净度等级部分—的，面积以局部高—。等级净化和全室【较低等级净化的【洁净：室系统代替全室【高等级净《。化的洁净室系统既能！确保不同生产工艺对！环境的要求又—能大：幅度地降低初投【资和运行费用 【 》    例如对于生！产1GB超》。大规：模，集成电路前工序【的洁净室来说在整个！生产过程中只—。有少数？工，。序（制版、光—。刻，等）对环境》的洁净度等级要求】最高为？1级或2级而其【他大部分工》序只要求5级—、6级甚《至只有7级不需将】全部洁净室都设计】为1级或2级 】 ： 6．1．4 】。 人是？洁净室？内主要的发尘—源作业人员》进入洁净室》必，须穿着与洁》净室的？空气洁净度等级【相适应的《洁净工作服》由于洁？净工作服的透—气性较差《为了保证作业人【员的工？。作环境提高劳动【生产率在洁净室生】产工艺对环境的温、！湿度没有特殊要求】时洁净？室内的温度主要【是为了作业人员的舒！。适，因此洁净室温度冬】季为20《℃～22℃夏—季，为24？℃～26℃湿度冬季！为30％～50％】夏季为50％～70！％比：较适宜由于洁净【室（区）的温度【、相对湿度首—先应按生《产工艺要求》确定只有在》生产工艺无要求【时才能按本条的规】定根据作《业人员的舒适度确】定但在？本规范实施中因洁净！厂房：生产的产品多种【多样作业《人员多少和工作条】件，也不相？同所以强制执行有】困，难为此本次修订改为！推荐性条文 — 6．【1．5 《 本条为《强制：。性条文现行国—家标准采暖通—。风与空气调》节设计规《范GB 50—01：。9中对一般工—业厂房？的新：鲜空：气量的规《定，为每人每小》时不：。小于30m3—由于：新鲜空气量是—确保洁净室（区【），作业：人，员健康的重》。要条件之一所以【本次修？订，中对洁净室（区）的！新鲜：。空气量？规定为应《。取补：偿室内？排风：量和保持室内正压】值所：。需新鲜空气量之【和保证供给洁净室】（区）内《每人每小时的新鲜空！气，量不小于《。40m？3两项？中的最大值 — ，