安全验证
6》  空气净化—。 ! 6.1  一般规!定 !6.1.1  【洁净的生产环—境,是生产工艺的需【要是确?保产品的《成,品率和产品质量的可!靠性、长寿命所必】需的随?。着我国?国民经济的发展【各行各业对生产环境!的温度、相对湿度和!洁,净度的要求也越【来越高例如大规【模和超大规模集【成电路的发展很【快在:1980年时其【集,成度只有6》。4kB而到目前集成!度已:提高到1GB;6】4kB集成》电路前工序生—产所要求生产环【境的洁净度等级只】有4级和5》级而1GB》集成:。电路前?工,序生产?对生产环境洁—净度等级的要—求提高到1级和2】级(0?.1μm) 】 ?    不同的生】产工艺?、不同的生产工【序对生产环境的【要求也是《不相同的因此确定洁!净室的?空气:洁,净度等级时应—根据不同工艺、不同!工序对环《境的洁净度》要求而定 — 《  :  :根据不同《生产:工艺、不同》生产:工序对环境洁净度】的不:同要求该高则高【该低则低尽量缩小】高洁净度等级部分】的面积以局》部高等?级,。净化和全《室较低等《级净化?的,洁净:室系统代替》全室高等《。。级净化的洁净—室系统?既能确保不》同生产?工艺对环境的要求又!能大幅?度地降低初》投资和运行费用【 》     例如对于!生产1?GB超?大规模集《。成电:路,。前,。工序的洁净室来说】在整个生产过—程中只?。有,少,数工:序(制版《、,光刻等)《对环境?的洁净度等级要求】最高为1级或2【级而:其他大?部分工序只要—求,5级、6级甚—至只有7《级不:需将全?部洁净?。。室都设?计为1级或2级【 —6.1.4  人是!洁净室内《主,。要的:发尘源作《业人员?进,入洁净室《必须:穿着与?洁净室?的,空气洁净度等—级相适应的洁净工作!服由于?洁净工?作,服,的透气性较》差,。为了保证《。作业人员《的工作环境》提高劳动生产率在】洁净室生产工艺【对环境的温》、湿度没有》特殊:要求时洁净室—内的温度《主要是为《了作:。。业人员?的,舒适因?此洁净室《。温度冬季为20℃~!22℃?夏季为24℃~【26:℃湿:度冬季为30—%~50《%夏季为50%~7!0%比较适宜由【于洁净室(区)的温!度,、,相对湿度首》先应按生产工艺要求!确定只有在生产工艺!。无要求时才》能按本条的规—定根据作业》人员的舒适度—确定但在本规—范实施中因洁净厂】房生产的产品多种多!样作业人员多少【和工作条件也不相同!所以强制执行有【困难为此《本次修订改为推荐性!条文 ? 6.1.!5  本条为强制性!条文现行国家标【准,采,暖,通,风与空?气调:节设计?规范:GB ?50019》中对一般工业厂【房的新?鲜空气量《的规:定为每人每小时不小!于30?。。m3由于新鲜空气】量是确保洁》净室(区)作业【人员健康的重要【条件之一《所,以本次?修订中对洁净室(区!)的新?鲜空气量规》定,为应取补《偿室内排风量—和保持室内正压值】。所需新鲜《空气量之和保证供给!洁净室(《区)内每人每小时】的新鲜空气量不小】于40m3两—项中的?最大值? :