。 6 —。 空气净《化 ？ 6！．1  一般规【定， 《 6．1．1！。  洁净的生产环】境是生产工艺的需要！。是确保？产品的成品率和【产品质？量的可靠性、长【寿命所必需》。的随着我国国民【经济的发展各行【各业对生产环境的温！度、相对湿》度和洁净度的要求】也越来越《高例如大规模和超】。大规模集《成电路的发展很快】在1980年时【其集成？度只有64kB而到！目前集成度已提高】到1GB；64k】B集成电《路前工？序，生产所要求生产环境！。的洁净度等级只有4！级和5级《而1G？。。。B集成？。电路前工《序生产对生》产环境洁净度—等级：的要求提高到1【级和：2，级(0？.1μm) — 》    不》同的生产工艺、不】同，的生产工序对生【产环境的要求也【是不相同的因—此，确定洁净室的空【气洁净度等级时应】根，据不：同工艺、不同工序】对环境的《洁净：度要求而定 】   》。  ：根据不同《生产工艺、不同生产！工序对环《境洁净度的不同要】。求该高则高该低则】低尽量缩小》高洁净度等级部分】的面：积以局部《高等级净化和—全室较低等级净【化的洁净室系—统代替全室》高等级净化的洁【净室系统既能确【保不同生产》。工艺对环境的要求又！能大：幅度地降低初投【资和运行费用 【    】 例：如，对于：生产1GB超大【规模集成电路—。前工序的《洁净室来《说在：整，个生产过程中只有少！数工序（制版、光】刻等）对环境的【。洁净度等级要求【最高为1级或2级】而其：他大：部分工序只要求5】级、6级《甚至只有7级—不，需，将全部洁《净室都设计为1【级，或2级 — 6．1—．4  人是洁【净室内主要》的发尘源作业人员】进入洁净室》必须穿着与洁净【。室的：空气洁净度等—级相适应的洁净工】。作服由于洁净工作服！的透气性较差为【了保证作业人员的】工作环境提高劳动生！产率在洁《净室生产工艺—对环境的温、湿【度没有特殊要—。求时洁净室内—的温度主要是为了】作，业人员的舒适—。因此洁净室温度冬】季为：2，0，。℃～22℃夏季【。为24℃《～26？℃湿度冬季为3【0％～50％—夏季为50％—～70？％比较？适，宜由于洁净室—（区）的温度、相】。。对湿：度首：。先应按生产工—艺要求确定只—有在生产工艺无【要求时才《能按本条的规定【。。根据作业人员的舒适！度确定但在本规【范实施中因》洁净厂房生产的产】品多种多样作业【人员多少和工—作条件也《不相同所以强制执】。行有困难为》。此本次修订改为推荐！性条文 《 《。 6：．1．5  本【条为：强制性？条文现行国》家标准？采暖通风与空气调】节设计规范GB【 ，5001《9中对一般工业【厂房的新鲜空气【量的规定为每—人每小时《不小于？30m3由》。于新鲜空气量是确保！洁净室？（区）？作业人员健康的重要！条，件之一所以本次【修订中对洁》净室（区）的新【鲜空气量规定—为应取补偿室内排】风量和保持室内【正压值所《需新鲜空气量之和保！证供：给洁净室（区）内】每人每小时的—新鲜空气量》不小于4《0m3两项中的最大！值 ： ，