安全验证
6  空】气净化 】 6.1】。  一?般规定 ! 6.1.1 】 洁净的生产环境】是生产?。工艺的需要》。是确保产品的成品】率和产品《质量的可靠性、【长寿命所必》需的:随着我国国民经【济,的,发展各行各业—对生:产环境的温度、相对!湿度和洁净度—。的要求也越来越高】例如大规模和超大】规模集成电路的发】展,很快:在1980年—时其集成度只有【64kB《而,到目前集成》度已提高到》1GB;64kB】。集成电路《前工序生产所—要求生产环境的【洁净度等级只—有4级和5级而【1GB集成电—路,前工序生产》。对生产环境洁净度】等级的?。。要,求提高到1级—和2级(0.1μ】m) 【     不—同的生产工艺、不】同,。的生产工《序,对生产环境的要求也!是不相同的因此【。确定洁?净室的空气洁净【度等级时应根—据不同工艺、—不同工序对环境的】洁,净度要求而定 【 : :    《 根据?不同生产工艺、不同!生产工序对》环境:洁净度的不》同要求该高》则高该低则低尽【量缩小高洁净度等级!部分的面积》。以局:部高等级净》化,和全室较低》等级净?化的洁净室系统代替!全室高等级净—化的洁净室系—。统既能确保不同生产!工艺对环境》的要求又能大幅度】地降低初投资和运行!费用 —  ?   ?例如对于生产1G】B超大?规模集成电路前工序!的洁:净室来?说在整个生产过程】中只有少数工序(】制,版、光刻等》)对环境的洁净【度,等级要求最高—为1级或2级—而其他大部》分工序只要求5【级,、6级甚《至只有7级不—需将全部洁净室都】设计为1级或2【级 —。 6.?1.4  人是洁净!室内主要《。的发:尘源作?业人员进入洁净室必!须穿着与洁》。净室的空气洁净度】等级相适应的洁净工!作,服由于洁净工—作服的?透气性较差为了保证!作业人?员的工作环境提【高劳动?生产率在洁净—室生产工艺对环境的!。温、湿度没有—特殊要求时洁净室】。。内的温度《主要:是为了作《业人员?的舒适?因此洁净室温度冬】季为20℃》~22℃夏季—为24℃~26℃】。。湿度冬季为30【%~:50%夏季为—50%~7》0%:比较适宜由于洁净室!(区)的温度、【相对:湿度首先应按—生产工艺《要求确定只有在生产!工艺无?要,求,时才能按本条的规】定根据作《业,人员的舒适度确【。定但在本规范实【施,中因洁净《。厂房生产的产品【。多种多样作》业,人员多少和工—作条件也不相同所以!强制执?行有困难为》此本次修订改为推】荐性:条文 6!.1.5  —本条为强《制性条文现行国【。家标准采暖通风【。与空气调节设计规】范GB 5》001?9中对一般》工业厂房的》新鲜空气量的规定】为每:人每:小时不小《于30m《3由于新《鲜空气量是确保洁净!室(区)作业人【员健康?的重要条件之一所以!本次:修订:中对洁净室(区)】的新鲜空气》量规定为应取—补偿室内排风量【。和保持?室内正?压值所需新鲜空气量!之,和,保证:供给洁净《室(区)《内每人每小时—的,新鲜空气量不小于4!0m3两项中的最大!值 ?