6  【空气：净化 ！ ： 6．1  —一般规定 ！ ， ， 6．1．》1  洁净的生【产环境？是生产工艺的需要】是确保产品的成【品，率和产品质量的可靠！性，、长寿命所必需的随！着我国国民经济的】发展：各行各业对》生产环境的》温度、相对》湿度和洁净》度的要？求也越来越高例如】大规：模，和超：大规模集成电路【的发展很快在19】80年时其集成度】只有64kB而到】目，前集成度已》提高：到1GB；6—4kB集成电路前】。工序生产所要求生产！环境的洁《净度等？级只有4级和—5级：而1GB集成电路前！工序生产对生产环境！洁净度等级的要【求提高到1》级和2级(0.1】μm)？   】  不同的》生产工艺、不同的】生产工序对生产【。环境的要求》也是：不相同的因此确【定洁净室的》空气洁？净度等级《时应根据不同工【艺、不同工序对环】境的洁？净度要求而定—    ！ 根据不《同生产工艺、不【同，生产工序对环境洁】净度：的不同？要求该高则高该低】则低尽量缩小高洁净！度等级部分的面【积以：局部高等级净化和】全室：较低等级净》化的洁？。净室系统代替—全室：高等级净化的洁净】室系统既能确保不同！生产：工艺对环境的要求又！。。。。能大幅度地降低初投！资和：运行费用 【  《   例如对于【生产1G《B超大？规模集成电》。路前工序《。的洁净室《。。来说在整个》生产过程中只—有少数工序（制版、！光刻等）对环境的洁！净度等级要求最高】为1级或2级而【其他大部分工序只要！求5：级、：6级：甚至只有7级不需】将全部洁《。净室都设《计为1级《。或2级 《 6—．，1．4  人是【洁净室？。内，主要的发《。尘源作业人员进【入洁净室必》须穿着与洁净—室的空气洁》净度等级相适应的】。洁净：工作：服由于洁净工作【服的透？气性较差为》了保证作业人员的工！。作环：境提：高，劳动生产率在洁【。净室生产《工艺对环境的—温、：湿度没？有特殊要求时洁净】室，内的温度主要是为了！。作业人员《的舒：适因：此洁净室温度冬【季为20℃》～22℃夏》季为24《℃～26℃湿度冬季！。为，30：％～50％夏—季为5？0，％～70％》比较：适宜由？于，洁净室（区）的温】。度、相？对湿度？首先应按生产工艺】要求确定只有—在生产工艺无—。要求时才能按—本条的规定根据作】业人员的舒适度【确定但在《本规范实施中因【洁净厂房生》产的产品多》种多样作业人员【多少和工作条—件也不相同所以强制！执行有困难为此本次！修订改为推荐性条文！ 6．】。1．5 《 ，本，条，为强制性条文现行】。国家标准采暖—通风与？。。。空气调节设计—规范G？B 50019中】对一般工业厂—。房的新鲜《空气量的规定—。为每人每《小时不小于30m3！由于新鲜空气—量，是确保洁净室—（区）作《业人员健康的重【。要条件之一》所以本次修》订中对洁净室—（区：）的新？鲜空气？量规定为应取补偿】室内排风量》和保：持室：内正压值所需新【鲜空气量之和保【证供给洁净室—（区）内《每人每？小时的新鲜空气【量不小于40m【3两项？。中的：最大值 》