安全验证
6 — 空气净化 【 》 , , 6.1  —一般规定 ! 6.1.1 ! 洁净的生产环境】是生产?工艺的需要是确【保产品的成品率和产!品质量的可靠—性、:长寿命所必需—的,随着我国国》民经济?。的发展各行各业对】生产环境的温度、相!对湿度和洁净度的】要求也越《来越高例如》大规模和超大规【。模集成?电路的发展很快【在198《0,年时:其集:成度只有64kB】而到目前集》成度已提高》到1GB;64【。kB:集成电路前》工序生产所要求【生产环境《的洁净?度等级只有4级【和5级而1GB集成!电路前工序生—产,对,生产环?境洁净度等级的要求!提高到1《级和2级(0.1】μm) 》 : ,  :   不同的生【产工:艺、不同的生产工序!对生产环《。境的要?求也:是不相同《的因此确定洁净【。室的空气洁》。净,度等级时应根—据不同工艺、不同工!序,对环境?的洁净度要求而定】 ? ?    根据—不,同生产工艺》、不同生产工序对环!境洁净度的》不同要求该高则高该!低则低尽量缩小高洁!净度等级部分的【。面积:以局部高等级净【化和全室较低等级净!化的洁净室系统【代替全?室高等级净化的【洁净室系统》既,能确保不同生产工】艺对环境《的要求?又能:大幅度地降低初投资!和运行费用 !     例如】对,。于生产1GB超大规!模集成电路前—。工序的?洁净室来说》在整个生产过程【中只有少数工序(】制版、光刻等)对】环境的洁净度—等级要求最》高为1级或2—。级而其他大部分工】序,只要求5《级、6级《甚至只有《7级不需《将全部?洁净室都设》计为1?级或2级 】 6.1.4  !人是洁?。净室内主要》的发尘?源作业人员进入洁净!。室必须穿着与—洁,净室的空气洁净【度等级相适应的【洁净工作《服由于洁净工作服的!透气性?较差为了保证—作业人员的工—作环境提高劳动【生产率在洁净室生产!。工艺对环境的温、】湿度没有特殊—要,求时洁净室内的温】度,主要是为了作业人员!的舒:适因此洁净室温度冬!季为20℃~2【2℃夏季《为24℃~》26℃湿度》冬季为30%—~50%夏季为【5,0%~70%比【较适宜由于洁净【室(区?)的温度、相对湿度!首先应?按生产工艺要求确定!只有在生产工艺【无要求时才能按本条!的规定根《据作业人员的舒适度!确定:但在本?规范:实,施中因洁净厂房【生产的产品多种多】样作业人员多少【和工作?条件也不《相同所以《强,制执行有困难为【此本次修《订改为推荐性条文 ! 》6,。.1.?5 : 本条为强制—性,条,文现行国家标准【采暖通风与空气【调节设计规》范GB 50019!中对一?般工业厂房的新【鲜空气量的规—定,为,每人每小时不—小于30m3由【于新鲜空气量是确保!洁净室(区)作业】人员健康的重—。要条件之一所以【本次修订中对洁净室!(区)的新鲜—空气量规定为应【取补:偿室:内排:风量和保持室内正压!。值所:需新鲜空《气量之和《保证:供给洁净室(区)】内每人每《小时的新鲜空气【量不小于40m【3两项中的最大【。值 ?