6  空】气，。净化 — ： 6．1  ！一般规定 》 ，。 ， 6．1】。。．1 ？ 洁净？的生产环境是生【产工艺？的需：要是确保产品的成】品率和产品质量的】可，靠性、长寿命所必需！的随着我国》国民经济的发—展各行各业对生产环！境的温度《、，相对湿度和洁净度】的要求也越来—越高例如大规模【和超大规模集成电】路的发展很快在【1980年时—其集：成度只有64—kB而？到目前集《成，度已提高《到1GB《；64kB》集，成电路前工序生产】所要求生产环—境的洁净度等级只有！4，级和5级而》1G：B，集成电路前工—序生产？对生产环境洁净【度等级的要求提【高到1级和2级【(0.1μm—)   ！  不同的》生产工？艺、不同的生—产工序对生产环【境的要求也是不【相同的因此确定【洁净室的《空气：洁净：度，等级时？应根据不同工艺【、不同工序对—。环境：的，洁净度要求而定 】 ？ ：    根据不同生！。产工艺、不同生产工！序对环境洁净—度的不同要求该高】则高该低则低尽量】缩小高洁净度等级部！分的面积以局—。部高等级《净，化和全室较低等级净！化的洁净室系统代替！全室高等级净—化的洁净室系统【既能确保不同生【产，工艺对环《境的要求又能—大幅度地降低—初投资和运行费用】 —    例》如对于？生产1GB超大规】模集成电路前工【序的洁净室来说在】整个生产过》程，中只有少《数，工序（制版、光刻等！）对环？境的洁净《度等级要求最—高为1级或2级而】其他大部分工—序只要求5级、【6级甚至只有7级】不需将全部洁净室都！设计为1级或2级】。 《 6．1．4 】 ，人，是洁净室《内，主要的发尘源作业人！员进：入，洁净室必须穿—着，与洁净室的空—气洁净度《等级：相适应的《洁净工作服》由于洁净工作服的】。。透气性较《差为了保证》作业人员的工—作环：境提：高劳动生产》率在洁净《室生产工艺对环境的！温、湿度没有特殊要！。求时洁？净室内的温度—主要是为了作业【人员的舒适因此洁】净室温度冬季为【20：℃～22℃夏季【为2：4℃～26℃—湿度：冬季为30％—～50％夏季—为50％～70％】比较适？宜由于洁净》室（区）的温度【、相对湿度首先【。应按生产《工艺要？求，确定只有在生产工艺！无要求时才能按本】条的规定根据作业人！员的舒适《度确定但《在本规范实施中因】洁净厂房生》产的产品多种多样作！业人员多少和—。工作：条件也不相同所以强！制，执行有困难为此【。本次修订《改为推荐性条文【 —。6．1．5  【本条：为，强制性条文现行【国家标？准采暖通风与空【气调节设计规—范GB？ 50019中【对一般工《业厂房的新鲜空气】量的规？定为每人每》小时不小于》30m3由于新鲜】空气量是《确保洁净室（区）】作业人员健康的【重要条件《之一所？以本次修《订中：对洁净？。室（：区）的？新鲜空气量规—定为应取补偿—室内排风量》和保持室《内正：压值所需新鲜空气量！之和保证《供给洁？净室（区）内—每人每小时的新鲜空！气量不小于40【。m3两项中》的最大值 —