安全验证
。 , : 6  空气净化 ! 】 6.1《  一般规》定 — ,。 , 6.1《.1  《洁净的生《产环境是生产—工艺的需要》是,确保产品的成—。品率和产品质量的可!靠性、长寿》命所必需的》随着我国国》民经济的发展各【行各业对《生产环境的温—度、相对《湿度和洁净》度的要求也越—来越高例如大—规模和超大》规模集成《电路的发展很快在】1980年时其集成!度只有64kB【而到目前集成度已】提高到1GB;【64kB集成—电路前?。工序生产《所要求?生产环境的洁净【度等级?只有4?级和:5,级而1G《B集成电路》前工序生产对生产环!境洁净度等》级的要求提高到1级!和2级(0.1【μm) — ,    》 不同的生产—工艺、不同》的生产工序》对,生产环境的要求也是!。不相同的因此确定洁!净室的空气》洁净度等级》时应根据不同工【艺、不同工序—对环境的《洁净度要求而—定  】   根据不同生】产工艺、不》同生:。产工序对环》境洁:净度的不同要求【该,高则高该《低,则低尽量缩》小高洁净度等级部分!的面积以局部高等级!净化和全室较—。低等级净化的—洁净室系统代—替,全室高等级净化【的洁:净,室系:。统既:。能确保?不同生?产工:艺对环境的要求又】能大幅度地降—低初投资和》运行费用 —     】例如对于生产1【G,。B超大规模集—成电路前工序的【洁,净室来说在整个生产!过程中只有少数【工序(制《。版、光?刻等)对环》境的洁净度等级要求!最,高为1?级或2级《而其他大部分工序只!。要求5级、》6级甚至只有7【级不需?将全部洁净室—都设计为1级—或2级 《。 6.1.!4,  人是洁净室内】主要的发《尘源作?业人员进入洁净【室必须穿着与—洁净室的空气洁净度!等,级相:适应的洁净》。工作服由于洁净工作!服的透气性较差为了!。保证作业人员的【工作环境提》高劳动生产率在【洁,净室生产工艺对【环境的温、湿—度,没,。有特殊要求时洁【净室内的温度主要】是为了作业》。人员的舒适因此洁】净室温度《。冬季为2《0℃~22》℃夏季为2》4℃~26℃湿【度冬季为30%~5!0,%夏季?。为50?%~70%比较【适宜由于洁净—室(区)的温度、】相对湿度首先应按生!产工艺要求确定【只有在生《产工艺无要求时才能!。按本条的规》。定根据作业人员的】舒适度确定但在本规!范实施中《因洁净厂房生产【的产品多《种多样作业人员多】少和工作条件也不相!同所以强制执行有】困难为此本次—修订改为《推荐:性条文 》。 6.—1,。.5  《本条为强《制性:。条文现行国家—标准:采暖通风与空气【调节设计规范GB】 50019中对一!。般工业?厂房:的新:鲜空气?量的规定为每人每小!时不小于《30m3《由于新鲜空气量是】确保洁净室(—区,)作业人员健康的重!要条件之一所以本】次,修订中对洁净室(区!。)的:新鲜空气量规—定为应取补》。偿,室内排风量》和,保持室内正压值【所需新鲜空气量【。之和保证《供给洁净室(区)】内每人每小》时的新?鲜空气量不小—于4:0m3两项中—的最大值 —