6  【空气净化 ！ 《 6．1 》。 一般规定 【 》 6．1．》1 ： 洁净的《生，产环：境是生产工艺的【需要是确保产品的】成品率和产品—质量的可靠性、【。长寿命所必需—。的，随，着我国国《民经济的发展各【行各业？对生产？环境的温度、相对湿！度和洁净度的要【求也越来《越高：例如大规模和超大】规模集成电》路的发展很快—在1980年时【其集成度只有64】kB而到目》前集成度已提高到1！G，B；64k》B集成？电路前工序生产所要！求生产环境的洁净度！等，级只有4级和5【级，而1GB集成电路】前工序生《产对生产环境—洁净度等级的要【求提：。高到：1级和2《级，(，0.1μm)— ： ： ， ， ，   不同的生产工！。艺、：不同的生《产工序对生产环境】的要求也是》不相同的《因此确定洁净室的】空气：洁净度等级时应【根据不同工艺—、不同工《序对环？境，的，洁净度要求而定 ！    【 根据不同生—产工艺、不》同生产工序对环境洁！净度：。的，不，同要求该高》则，高该低则《低尽量缩小高—洁净：度等：级部分的面积—。以局部？高等：。级净化和全室较低等！级净化的洁净室系】统代替？全室：高等：。级净化的洁净室【系统既能《确保不同生》产工艺？对环境的要求又能】。。大幅度地降低初投资！和运行费用 【  》   例如对—于生产1G》B超：大规模集成电路前】工序的洁净室来说】在整个生产过程中】只，有少数工序（制版】、光刻等）对环【境，的洁净度等级要求】最高为1级或—。。2级而其他大—部，。分，工序：。只要求5《级、6？级甚：至只有7级不需将】全部洁净《室都设计为1—级或2级 — 6．1【．4  人是洁【。净室内主《要的发尘源作—业人员进入》洁净室必须穿着【。与洁净室《的，空气洁净《度，等，级相适应的洁净【工作服由于》洁净工作《服，的透：气，性较差为《了保证作《业人员的工作环【境提高劳动生—。产率在洁净室生产工！艺对环境的温、【湿度没有特殊—要，求时：洁净：室内的？温度主？要，是为：了作业？。人员的舒适因此【洁净室温度冬—季，。为20？。℃～：。22℃夏季为—24℃～26℃湿度！。冬季：为30％～50％夏！季为50％～70％！比，较适宜由于洁—净室（？区）：的，。。温度、相对湿度首先！应按生产《工艺要求确定只有在！生产工艺无要求时】才能按本条》的规定根据作业人】员，的舒适度确定但【。。在本规范实施中因】洁净厂房《生产的产《品多种多样作—业人员多《。。。少和工作《条件也不《相同所以强制—执行有困《。难为此本次修—订改为？推荐：性条：文， 6【。．1．5  本条为！。强制：性条文现行国家标准！采暖通风与空气调】节设：计，规范：GB 5001【9，中，对一：般工业厂房》的新鲜空气量的规】定为：每人每小时不小于】30m3《由于：新鲜空气量是—确保洁净室》（区：），作业人员健康—的重要条件》之一所以《本次修订中》对洁净室《（区：）的新鲜空》气量规？定为应取补》偿室内排风量和保持！。室内正压值所需新鲜！空，气量之和保证供给】洁，净室（区）》内每人每小时的新】鲜空：气量不小于40m3！两项中的最大值 】 ，