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《4.5  微—振控制 《 :。 4.【5.1?  有微振控—。制要求的洁》净,厂房设计应考虑【建筑:结构的选型及地【面(:楼面)的构造做【法如增加基础及上】部结构垂《直及横?向刚度?增加地?面(楼面)刚度【能有效减小振动【影响此外还》。应考虑隔振缝设【置及其有效的—构,造措施壁板与地面】及顶棚?采用柔性连接—等均能?减小:振动传递《即,减,小了对精密设备、】仪器仪表的》振动影响《 ,    】 在洁净厂》房设计中应首先考】虑对强振源采取【隔振措施以减小强振!源对精密设备—、仪:器仪表的振动影【响在此基《础上精密设备、仪器!仪表再根据》各自的容许振—动值采取被》动隔振措施就大【致能够?达到预定目的 【     !在原规范中本条为强!制性:条文虽?然,明确:规定本条只用于有】微振控制要求—的洁净厂房但由于没!有量化的规定容【易引起执行》不准确的问题实施】以来确有此种—。情况发生为此本次修!订将本?条改为推荐性条文 ! , 4》.5.4  精【密设备、仪器仪表】的被动隔振措施由隔!振台座及隔》振器(或《隔振装置《)组成根据隔振设】计计算需要设—定隔振台座为不变】形刚体为此应对隔】。振台座的形状、几】何尺寸及材》。质选用等《方面:加以考虑使之具有足!够的刚?。。度 》     某【些,精密设备、仪器仪】表在:运,行时由?于,移动部?。件位:置变化或加工—、测试?件的:质量及质心位—置变化使各隔振器】的变形量不相等隔振!台座发?生倾斜导致精密【设备、仪器仪表难以!正常:工作为此应》设置校正倾斜装置使!隔振台座保持原有】的水平度以保证精密!设备、仪器仪表的】正常运行 !     隔振系】统阻:尼过小会产生较大】的自振以及受外界突!。发干扰(如对隔振台!座,的冲击、室内气流的!。扰动影响等)造【成,隔振台?座晃动?这,种振动值有时会【大于:精密设备、仪器仪】表的容许振动—值影响?其正常运《行为:此应增大《隔振系统阻》尼值才?能减小此类》振动通过多》项,工程实践表明隔振】。系统阻尼比不小【于0.?15是比较恰当的】 ? , 4.5》.5  空气弹簧的!垂直向、横》。向刚:度很低使隔振系【统具:有很低?的固有振动》频,率同时它具有可【。调节阻尼《值的特性隔振系【统可获得《需要的?阻,尼,因此隔振系》统具有良《好的隔振效果当【配用高?精度控制阀时—可自动校正》隔振台?座的倾斜《由于空气弹簧具有】其他:隔振材料及隔振器不!可替代?的优越性《已被:我国及国际工程界普!遍,采用作为精》密设备、仪器仪【表的隔振元件 【    】 用于被《动隔振措施的—空气:弹簧隔振装置由空气!弹簧隔振器、高精】度控制阀《、仪表箱及》气源组成由》于,空气弹?簧隔振?装置在校正隔—振台座倾斜时—会,排出:气体(如压缩空气、!氮气等)《因,此对:。气源应进行净—化处理使其达到【洁净室的空气洁净】度等级才能保证排出!的气体?不,致对洁净室造—成污染 》