。 ，。 4．》4  噪声控制【 】4．4？．1  洁净室【的噪：声一般不《算高但数据差额较大！相差近10d—B，(A)？国内关？于噪声对健康影【响，的研究表明低于8】0dB(A)的一般！工业噪声对》。健康的影响不—太大因？此洁净室噪声标准】的制订主要》考虑噪声的烦恼效应！、语言通《讯干扰和对工作效】率的影响 ！     国外【洁净室噪声标准的】研究工作开始于2】0世纪60年代19！66：年制定的《美国联邦标准洁净室！环，境控制？要求209a和19！74：年修订的209b】规定“洁净室—的噪声控制》在可能进行必要【的通话满《足操作或产品的要求！并使人员保持在舒】适和安？全的范围内” 【     ！在洁净室《及相关受《控环境第四部分设计！、施工和启动—。ISO？ 14644-【4，-2001标准中规！定“应依据洁净【室内人？的舒适和安》全要求及环境（如】其他设备）》的背景声压》。级来选择适宜—的声压级洁净室的】声压级范围为40～！65d？B(A)”》   】  从收集的国内】外洁净室噪声标【准来看有以下—几个特？。点洁净室的噪—声标准？一般均严于保—护，健，。康的标准在洁净室的！环境下？噪声条？件主要在于保障正】常操作？运行：。满，。足必要？的，谈话联系提供舒适的！工作：环境绝大多数标准】。给，出的允许《值在6？5dB(A)～70！dB(？A)范？围医疗？行业则更低》现行的大多数—标准：均以A声压级作为评！价指标也有少—数标：准，对各频带声压级【提出了？限制少数标准—按，不同的空气》洁净度等级分别给】出了：噪声：容，许值：而大多数标》准对不同的空气洁】净度：等级洁净室》提出了一《个统一的容许—值  】   根《据“洁净《。厂房噪声《评价与标准的研究”！所得：到，的成果我国59个】洁净厂房平均—噪声级的分》布电子工业21【6个洁净室的噪【声分布状况和—不同声？级下各种效应—的主观评价指标如】。图1：。所示 》     由】图1可见若以6【。5dB(A)作【为洁净室噪声允许值！标准：。工人感？到高烦恼的》百，分率低于30％对】。集中精神感到有较高！影响的百《分率不到1》0，％，而对工作速度、【动作准确性的影响】。则可忽略从》主观评？价调查看语言通讯干！扰可：以属于轻《微的等级《如按这一限》值来衡量现有洁净室！的噪声则有75％超！。过标：准就：电子工业《而，言也有47％的洁净！室超过标准 【 《  ：  近年《来我国的洁净—室环：境技术有了一定【的发：展但对噪《声的控制技术还【相对滞后从1—996-199【7，年对国内部分行【业的部分《洁净室进行的—调研：结果来？看还有相当一部分的！洁净室噪声在65d！B(A)以》上就电子工业而【言还有约35％的】洁净：室超过标《准 —。 《 图《1  洁净厂房噪声！分布与评价》图 》 1－59个洁】净厂房超《过某一声级的百分】率； 【 2－电子工业21！6个：洁，净室超过某一声级】的百分率； 【。 《3－高烦《恼率,4－准确性】高影响率；5－【工作速？度，高影响率《； 《 6－集中精神！高影响率；7－交谈！及电话通讯》高，干扰率 《     ！同样由图1得—知若以70dB(A！。。)，为噪：声允许值标准工【人感到高《烦，。恼的百分率将达到3！9％对于集中精【神感到有较高影响的！百分率为12.【4％对工作速度【和动作准确性影响仍！不，显，著对：语言通讯《的干：扰则属？于较高的《等级如按70d【B(A？)的限值来衡量现有！洁净厂房的噪声则多！。数可以满足标准 ！   —。  目前国内—。的相当一部分洁净室！。的隔墙使用的是进口！或国：产，的金属壁板由—于壁板的《隔声：。量存在？着某些薄弱环节【而造成隔声不理想】且室内的噪声—仍过：高如上海某公司【使用的是进口—壁板其室内噪声平均！值达69dB(【A)；？上海某公司使用的也！是进口壁板光刻间测！得其室内平均—噪声：值为70d》B(A？)其他一些洁净【室的：生产环？境的噪声也偏—高也就是《说从噪声《。的效：应来看标准低于【。65dB(A—)为好 【     对【。国内几个行》业不同气流流型【洁净：室的：静态和动态噪声所进！行的分析表明不【同气流流型的静态】噪声有较大差—异非单向流洁净【室的：静态噪？声实测值在41dB！(A)～64dB】(A)范围内—平均为54d—。B(：A)；单向流、【混合流洁《净室的静态噪声实测！值在51《dB(A《)，～75dB》(A)范围》内平均为65dB】(A)非单向流【洁净室比单》向流洁净室的静态噪！声，。平均值约低11dB！(A：) 【    由于噪声】控制：要求是确保人员【健康的重《要条件？本条为强制性条【文 《。 4《。．4．？3～4．《4．6  控—制设备？噪声首先要从—声源上考虑设—计时应选用低噪【声设备在某些情况】下由于？技术或经济上的【原因而难以》。做到时则应》从噪声传播途—径上采取降噪措【。。施如把？高噪声工艺设备【迁出洁净室》或，隔离布置《于隔声间内有些【由，于与生产联系密切】必须置于《洁净区？内的高噪声设备亦】可采用隔《声罩隔绝噪声— 》    《 国内现有洁净厂房！。中不：。少洁：净室将？机械泵一类高噪声设！备置：于洁净室《外，套间或技术》夹道内洁净》室内：噪声有明显降低【 —。    洁净—室的：静态噪声主要来【。源于：净化空调系统和局部！净化设备运行噪声】静态噪声的大小与】洁净室气流流型【、换气次数》等因素有关》但，关键在？于净化空调系统的布！置及合理《的降噪措施不—合理：的，设，计方案必然》导致较高《的静态噪声 —   【  关于降低—洁净室净《化空调系统》噪，。声的措施国内外有关！资，料提出了一些有效】。的措施 】   ？ ， ，如现代洁净室概念】一文中强调》“，。选择：那种能满《足气：流要求的噪声最【低的风机还应该采】用弹性减振基础【”关于消声器的使用！文中说“《管道消声器在中【频和高频范围内降】低噪声？是，有效的当风管—敷，设长度在5》。0ft以《内，时就应考虑》采用消声器”关【于风管的连接文【中又说“通风机和】送风管道与回风管道！之间应采用柔—性连接管隔开—”还要求“》将通风？机外壳、静压箱和管！道等加上衬里”【如北：京某大学微电子【研究所回风管道【在未处理前噪声高达！8，3.5？。dB(A《。)经过加设衬垫【处理后噪声降到【66.2dB—(A)使光刻—间的：。室内环境噪声平均】下降了7dB(【A)～？9dB(A)—由此可见只要对【风，道系统采取消—声和防止管道固【体传声等措施洁净室！噪声可以《大幅：度降低？ 》     国—内，还有不？少洁净室《由于系统设计合理并！采取了降噪措施【室内噪声得》。到有效控制 — ，  》   排风系统噪】声对洁净室》影响极大以》集成电路《生产为例《在生产过程中外延】。、，扩散、腐蚀、—清洗等多种工序都】需设排风系统近【年来洁净厂房排风】系，统的噪声治理—日益：受到重视要》注意选用低》。噪声风机等 【 《    由于洁净室！内的工作环境要求比！较安静洁净》室的密封性能较【好噪声不易衰减按】规定限制《风管：风速既减小了净【化空调系统的阻力】降低了风机压头【和转速减弱了风机的！噪声：又防止了风速—过大而产生附加噪】声  】  ： 如上所述》第，4．4？．，3条～？。第4．4．6条【的规定均为洁—净厂房设计中从平】面和空？间，设计到各类设备、】系统及其附属—设，备等的选择都应充分！。考虑噪声控制措施】以确保达到洁净【厂房要求的噪—声控制值原规范中】。将第4．4．3条】、第4．4．—。4条规定为》强制性？条文：但在实施中各单位】认为规定过严可操作！性也不强为》此本：次修订？改为推荐性条文【 ：