4．—4  噪声控制 ！ ： 4．—4．1  洁净【室，的噪声一般》不算高但《数据差额较大相差近！10dB(》A)国内关》于噪声对《健康：。影响：的研究表《明低于？80dB(A)【的一般工业》噪声对健康的影响】不太大因此》洁净室噪声标准的制！订主要考虑噪声的】烦恼：效，应、语言通讯—干扰和对《工作效率的影—响 ： 》    《。国外洁？净室噪声标准的研】究工：。作开始于《20世纪6》0年代？19：66年制定的美【国联邦标准洁—净室环境控制要求】209a和1—974年《修订的20》9b规定“洁净室】的噪声控《制在可？能，进行必要的通话满足！操作或产品的要求并！使人员保持在舒适】和，安全的范围内” ！   —。。  在洁净》室，及相关受控环—境第四部分设计、】施工：和启动？I，SO 1《。4644《-4-2001【标准：。中规定“应依据【洁净室？内人：的，舒适和安全要求及环！境，（，如其他设备）的【背景声压级》来选择适宜的声压】级洁净室的声压级范！围为：4，0～65dB—(A)”《 ， ：     从收！集的国内外》洁净室噪声标准来看！有以下几《。个特：点洁净室的噪—声标准一般均严于】保护健康《的标准在《洁净室的环》境下噪声条件主要在！于保障正《常操作运《行满足必要的谈【话，联，系提：供舒适的工作—环境绝大多数—。标准给出的允许值在！65dB(》A)～70dB(】A)：范围医疗行业则更低！现行：的大多数标准—均以A声压》级，作为评价指标也【有少数标准对—各频带？声压级提出了限制】少数标准《按，不同：的空气洁净度—等级分别给出—。了噪声容许值—而大：多数标准《对不同的空气—洁净度等级洁—净室提出了一个【统，一的容？许值： ，     ！根据“？洁净厂房噪声评价】与标准的研》究”：所得到的成果我国5！。9，个，洁，净厂房平均噪声级的！分布电子工业216！个洁净？室的噪？声分布状况和—不同声级下各种效】应的主观评价—指标如图1》。所示 》     由】图1可见若》以65dB》(A)作为》。洁净室噪声允许【值标准工人》感到高烦恼的百分】率，低于30《％对集中精神感【到有较高影响的百分！率不到？10％而《对，工作速？度、动作准确性的】影响则可忽略从主】观评价调查看—语言通讯《干，扰，可以属于《轻微的等《。级如按这一限—值来衡量现有洁净室！的，。噪声则有75％超】过，标准就电子》工业而？言也有47％的【洁净室？超过标准《   】  ：近年来我《国的洁净《室环境技《术，有了一定的发展但对！噪声的控制技术【还相对滞《。后从199》6-1997年对国！内，部分：行业的部分洁净室进！行的调研结果来看】还有相当一部分的洁！净室噪声在》65d？B(A)以上—。。就电子工业》而言还？有约35％的洁净】室超过？标准 】 ？ ？图，1  洁净厂—房噪声分布与—。评价图 — 1－》59个洁净厂—房超过？某，。一声级的百分率； ！ ： 2－电子【。。。。。工业216个洁【净室超过某一声级】的百：分率； — 3－高烦【恼率,？4－准确性高—影响率？；5－工作速度【高影响率； 【。 6－—集，中精神？高影响率；》7－交？谈及：电话通？讯高干扰率 ！     同样】由图1得《知若以70dB【(A)？为噪声允《许值标准工人感【到高烦恼《的百分率《将达到？39％？。对于集中《精神：感到有较高影响的】百分率？为，12.4％》。对工作速度》和动作准确性影响】仍不：显著对？语言通？讯的干扰则属于较】高的等级如按70】dB(？A)的限值》来衡量现有洁净厂房！的噪声则多数—可以满足标准 【 ？     目【前国内的相当一【部，分，洁净室的隔》。墙使用的《是进口或国产的金】属壁板由于壁板的】隔声：量存在着某些薄弱环！节而造？。成隔声不理想且【室内的？噪声仍过高如上【海某公司使用的【是进口壁板其室【内噪：声平均值达69dB！(A：)；上海某公司【使用的也《是进口壁板光—刻间测得《其，室内平均噪声值为】70dB《(，A)：其他一些洁》净室的生产环境的】噪声也偏高也—就是说从噪声的效应！来看：标准低于65d【B，(A)为好 —   【。 ， 对：国内几个行业—不同气流流》型洁净？。室的：。静态和动态》噪声所进行》的分析表明不同【气，流流型？的静态噪声有较【大，。差异：非单向流洁》净室的静态噪声【实测值？在，41dB(A)～6！4dB(A)—范围内平均为—54dB(A)【。；单向流、混—。合流洁净室》的静态噪声》实测值在51—d，。B，(A)～75d【。B，(A)范围内平均】为6：5dB(《A)非单向流洁净】室比单向流洁净【室的静态噪声平均值！约低11dB—(A) 《 《    《 由于噪声控制要】求是确保人员健康】的重：要条件本条》为强制性条》文 4】．4．？3～4．4．6  ！控制：设备噪声首》。先要从声源上考虑】设计时？应选用？低噪：声设备在某》。些情况下由于技术】或经济上的》。原因：。而，难以做到时则应从】噪声传？播途径？上采取？降噪措施如》把高噪？。。声工：艺设：备迁出洁净室—或隔离布置于隔声】间内：有些：。由，于与：生产联系密切—必须：置于洁净区》内的高噪《声，。设备亦可采用隔声】。罩隔绝噪声 — ：     国】内现有洁净厂房【中不少洁净室将机】械泵一？类高：噪声设备置于洁净】室外套间或技术【夹道内？洁，净，室内噪声有》明显降低 】    》 ，洁净室的静》态噪声主要来源【于净化空调系—统和局部净化设【备运行噪声》静态噪声的大小与洁！净室：气流流型、换气次数！等因素有关但关【键在于？净化空调《系统的布置及合理的！降噪措施《不合理的设计方【案必然导致较高【的静态？噪声 《 ：     关于】降，低，洁净：室净化？空调系统噪声的措】施国内？。外有关资料》提出了一些有效的措！施  】   如现代洁净室！概念一文中强调【“选择那种能满【足气流要求的噪【声最低的《风机还应该采用弹】性减振？基础”？关，于消声器《的使用文中说“【管道消声器在中频和！高频范围内降低噪声！。是有效的当》风管敷设长度在50！ft：以内时就《。应考虑采用》消声器”关于风管】的连接文中又—说“：。通风机？。和送风？管道与回《风管道之间应采【用柔性？连接管隔开》”还要求《“将通？。风机外壳、静压【箱和管道等》加上衬里”如—北京：某大学微电子研究所！回风管道在未处理】前噪声高《达83.5dB(A！)经过？加设衬垫处理后【。噪声：降到：6，6.2dB(A)】使光刻间的室内环境！。噪声平均下》降了7dB》(A)～《。9dB？(A)由《此可见只要对风【道系统？采取消声《和防止管道》固体传声等措施洁】净室噪声可》以大幅度降低 【     ！国内：还有不少洁净—室由于系统设计合】理并采？取了降噪措施室内噪！声得：。到有效控《制，。   】  排？风系统噪《声对洁净室影响极大！以，集成电路生产为【例，在生产过程》中外延、扩散、腐】蚀、清？洗等多种工序都需设！排风系统近年来洁净！厂房排风系统的噪】声治理日益受到重视！要注意选《用，低噪声风机等 ！     由】于洁净室内》的工：作环境要求》比较安静《洁净室的密》封性能较好噪声不】易衰减按规定限制】风管风速既》减小了？净化空调系统的阻】力降低了风机压头】和转速减弱了—风机的噪声又防止了！风，速过大？而产生？附加：噪声  ！   如上所述第4！．4．3条～第【4，．4．6条的—规定均为《洁净厂？房设计中从平—面和空间《。设计到？各类设备、系统【及其附属设备等的】选择都应充分考虑噪！声控制措施以确保】达到洁？净厂：房要求的噪声控制】值原规范中将第4】．4．3《条、第4《．4．4条规定【为强制性条文—但，在实施中各》单位认为《规定过？严可操作性也—不强：为此本？次修订改为推荐【性条文 》