《4．4 《 ，噪声控制 》 ？ 《4．4．1》 ， 洁净室的噪声一般！不算高但数据差额】较大相差近10d】B(A)国内关于】噪声：。对健康影响的研究表！明低于80》dB(A《)的一般工业—噪声对健康的影响】不太大因此洁—净室噪声标准的【制订主要《考虑：噪声的烦恼效应、语！言通讯干《扰和对工作效率【。的，。影响 — ：    国外—洁净室噪声》标准：。。的研究工作开始于2！0世纪60年代1】966年制》。定的美国联邦—。标准洁净室》环境控制要求209！a和1974年修订！的，209b规定“【洁净：室的：噪声：控制：在可能进行必—要的通话《满足操作或》产品的要《求并使人员保持在舒！适和：安，。全的范围内》” ？ 《。   ？ 在洁净室及—相，关受：。控环境第四部分设计！、施工和启动IS】O 146》44-4-》2，001标准中规【。定“应依据洁—净室内人的舒适和安！全要：。求及：。环境（如其他设【备）的背景声压级】来选择适宜的声压】级洁净？室的声压级》范围：。为40～65d【。B(A)” 】     从】收集的国内外洁【净室噪声标准来看有！以下几个特点洁【净室：。的，噪声：标准一般均严于保】护健康的标准在洁】净室的环境下噪【声条：件主要？在于保障正常—操作运行满足—必要的谈话》联系提供舒适—的工作环《境绝大多数标准给】。出的允许值在65d！B，(A)～70dB】(A)范围》医疗行业则》更低现行的》大多：数标准均以A声压级！作，为评价指标也有少】数标：准对：各频带声压级提出了！限制少数标准按不同！的空气洁净度等【级分别给出了噪声】容，。许值而大多数标准】对不同的空气—洁净度等级洁净【。室，提出了？一个：统一的容《许值 《 ，    — 根据“洁净厂房噪！声评价与标准—的研究”所》得到的成果我国59！。个洁净厂房平均噪声！级的分布电子—工业216个洁净室！的噪声？分，布状况和不同—声级下各种效应的】主观：评，价指标如图1所示 ！  —   由《图1可？见若以6《5dB(A)作为洁！净室噪声允许值标】准工人？感到高烦恼的—百分率低于3—0％：对集中？精神感到有较高影】响的百分率不到10！％而对工《作速：。。度，、动：作，准确：性的影响则可—忽略从？主观评价调查看语】。。言通讯干扰可以属】于轻微的等级如按】这一限值来衡量现】有，洁净室的噪声则有】75％超过》标准就电子工业而言！也，有47％的洁—净室超过标准 】 ，。 ，     近年】来我国的洁》净室环境技术有了一！定的发展但对噪声的！控制技术还相对【滞后从199—。6-1997—年对国内《。。部分行业的部—分洁净室进行的【调研结果来看还有相！当一部分的洁净室噪！声在65dB(【。A，)以上就《电子工？业而言还有约35】％的洁净室超过标准！ 》 【图1  《洁净厂？房噪声分布与评价】图 1－！59个洁净厂房【超过某一声级的【百分率；《 2－电！子工业216个洁净！室超过某一声级的百！分率； 《 》3－：高烦恼率,4—－准确性高》影响：率；5－工作速度高！影响率？； 《 6－集中精】神高影响率；7－】交谈及电话》通，讯高干扰率》    ！ 同样由《图1得知若以—70dB(A—)为噪声允许—值标准工人感—到高烦？恼的百分率将达到】。39：％对于集《中精神？感到有较高影响的】。百分率为12.4％！对工作速度和—动作准确性》。影响仍不显著—对语言通讯的干【扰则属于《较高的？等级如按《70d？B(A)的限—值来：衡量现有《洁净厂房《的噪声则多》数可以满足标—准   ！  目前国内的相当！一部：分洁：。净室的？隔，墙使用的是进口或】国产的？金属：壁板由于壁板—的隔声量存在—着某些薄弱》。环节：而造：成隔声不《理想且室内的噪声】仍过高如《上海某公司使用【的是：进口壁板其室内【噪声平均值达69】dB(？A，)；上海某》。公司使？。用的也是《进口：壁板光刻间测得其】室内平？均噪声值《为70？dB(A《。)其他一些洁—。净室的生产》环境的噪声》也偏高也就是说【从噪声的效应来【看标准？低，于65dB(A)】为好 】    《。对国内几《个行业不同气流流】型洁净室的》。静态和动态噪声【所进行的《分，析，表明不同气流流型的！静，态噪声有《较大差？异非单向流洁净室】的静态噪声实测值】在41dB(A)～！64dB(A)范围！内平均为54dB】(A)？；，单向流、混合—流洁净室的静态【噪，声实测值在51d】B(A)～75【dB(A)范围内】平均：为65dB》。(A)非《单，向流：洁净室比单向流【洁净室的静》态噪：声平均值约》低11dB》(A) 【     由【于噪声控制》要求是确保人员健康！的重：要条件？本，条为强制《性条文 — ： 4．4．3—～4．4．6  】控制设备噪声首先】要从声？源上考？虑设计时应》选用低噪声设备【在某些情况下由于】技术或？经济上？。的原因而难以做【到，时则应从《噪声传播途径上采取！。降噪措施如把—高噪声工艺设备【迁出洁净室或隔离】布置于隔声间—内有些由于与生【产联系密切必—须置：于洁净？区内：。的高噪声设备亦【可，采用隔声《罩隔绝？噪声  ！   ？国，内现有洁净》厂房中不少》洁净室将机械—泵一：。类高噪声设备置于】洁净室外套间—或技术夹道内洁净室！内噪声有明显降【低  】  ： 洁净室的》静态噪声主要来源于！净化空调系统—。。和，局部净化设备运【行噪声静《态噪声的大小—与洁净室气流流型、！换气次数等》。因素有关但关—键在于净《。化空调？系统的布置及合理】的降噪措施不—合理的？设计方案必然导致较！高的静？态噪声 —    — 关于降低》洁净室净化空调系】统噪：声的措施国内外有】关资料提出》了一些有效的措施 ！ ，   —  如现代洁净室概！念一文中强调“【选择那种能满足气流！要求的噪声最低【的风机？还应该采《用弹性减振基—。础”关？于消声器的使—用文中说“》管道消声器在—中，。频和高频范》围内降低噪声是有效！的当风管敷设长【度在50ft以内时！就应考虑采》用消声器”关于风】管的连？接文中？又说“通风机和送风！管道与回风管道之间！应采用柔性连接管】隔开：。”，还要求“将通风【机外：壳，、静压箱和》管道等加《上衬：里”如北京》某大学？微电子研究所回【风管道在未处理【前噪声高达83【.5dB(A)经过！加，设衬垫处理》。后噪：声降到66.2d】。B(A)《使光刻间的》室内环？境噪声？。平均下降了》7dB？(A：)～9？dB(A)由—此可见只要对风【。道系统采取消声和】。防止管？道固体传《声等：。措施洁净《。室噪：声可以大幅度降低 ！ 《  ：  ：。 国：内还有不少洁—净室由于系统设【计合理并采取了降】噪措施？室内噪声得到—有，效控制 】     排风系】统噪声对洁》净室影响极大以集】成电路生《产为：例在生产过程—中，外，延、扩散、腐蚀、清！洗等多种工序都需设！排风系统近》年来洁净厂房—排风系统的噪声治】理日益受到重—视要注意选》用低噪声风机—等 ：。   【  由于洁净室内】的工作环境要求【比较安静洁》。净，。。室的：密封性能较好噪【声不易衰减》按规定限《制风：。管风速既减小了净化！空调系统的阻力降低！了风：机压头和转速减弱】了风机的噪声—又防止了风速过【大而产生附加噪声】   】  如上所述第4】。．4．3条～第4．！4．6条的》规定均为洁净—厂房设计中》从，平面和空间设—。。计到各类设》备、系？统及其附属设备等的！选择都？。应充：分考虑噪《声控制措施以确【保达到洁《净，厂房要？求的噪？声控制值原规—范中将第《4．4．3条—、第4．《4．4条规定为【强制性条文但在实施！中各单位《认为规定过严可【。操作性也《不，强为此本次修订改为！推荐性条文 【