4．4【  噪声控制 ！ 》4．4．1  洁】净室的噪声一般不】算高但？数据差额较大相差近！10d？B(A)国内—关于噪？声对健康影响的研】究表明低于80dB！(A)的一般工【业噪：声对健康的影响不太！大因此洁净室噪【声，。标准的制订主—要考虑噪《声的：烦恼效？应，、语言通讯干扰【。和对工作效率的影】响 — ，    国外洁净室！噪声标？准的研？究工作开始于2【0世纪60年—代，1966年》制定的美《国联邦标准洁净室】环境控制要求209！a和1？974年修订—的209b规定“洁！净室的噪声控制【在，可能进行必》要的：通话：满足操作《或产：品的要求并使人员】保持在舒适和安【。全的范围《内” —     在洁】净室：及相关受《控环境第四部分【设计、施工和启动】ISO 1464】。4-4-200【1标准中规定“应】依据洁？净室：。内，人的舒？适和安全要》求及环境（如其【他设备）的》背景声压级来选择】适宜：的声压级洁净室【。的声压级范》围为40《～，65dB(A—)” 《     】从收集？的国内？外洁净？室噪：声标准？来看有以下几个特】。点洁净室的噪声【标准一般均严于保护！健，康的标准在洁—。。净室：的环境下噪声条件】。主要在？于保障正常操作运】行满足必《要，的谈话联系提供舒】适的工作环境绝大】多数标准给》出的：允许值在65dB】(A)～70d【B(A)范围医【疗行业则更低—现行的？大多数标准均以【A声：压，级作为评《。价指标也有少—数标准？对各频带声》压，级提出了限制少数标！准按：不，同的空气洁》净度等级分别—给出了噪声容—许值而大多数标准】对不同的空气洁净】度等：级洁净室《提，出了一个统》一，的容：许值： ？     根据！“洁净厂房》噪声评价与标准的】。研究”？所得到的成》果，我国5？9个洁净《厂，房平均噪声级的分】布电子工业》216个洁》。净室的噪声分—布状况和不》同声级下《各种：效应的主观评价指标！如，图1所示 ！  ：  ： 由图1可见若以】65dB《。(A)作为》洁净：室噪声允许》值标准工人感到【高烦恼的百分—率低于30％对集中！精神感到有较高影响！的，。百，分率不到1》0％而对工》作速度、动作准【确性的？影，响则可忽略从主观】评，价调查看《语言通讯干扰可【以属于？轻微：的等：级如按这一限值来】衡量现有洁净—。室的噪声则有75】％超过？。标准就？电子工业而言—也有：47％的洁净室超过！标准 —  ？   近年来我国的！洁净室环境技术有】了一定的发展但对】噪声的控制技—术还相对《滞后从1996-1！997年对国—内部分行《业的部分洁净室进行！的调研结果》来看还有相当一部分！的洁净室噪声在65！dB(A《)以上就电》。子，工，业而言还有约3【。。5％的洁净室超过】标准 ？ ？ 】图1  洁净厂【房噪声分布与评【价图 》 1－59个】洁净厂房超过某【一声级？的百分率； 】 2－》电子工业216个洁！净室超过《某一声？级的：百分率； ！ 3－高《。烦恼率,4－准确】性高影响率；5【－工作速度高影【响率：； ？ 6－—集，中精神高《影响率；7－交谈】。及电：话通讯高干》扰率 《     同！样由图1得》知若以70》dB(A)为—噪声允许《值标准工人感到高烦！恼的百分率将达到3！9％对于集中精【神感到？有较高影响的百【分率为12.4【％对工作速》度和动作准确—性影响？仍不显著对语言通讯！。的，干扰则属于较高【的，等级如按70—dB(A)的限【值，来衡量？。。。现，有洁净厂房》的噪声？则多数可以满足【标准 】    目》前国内的相当一部】分洁净室《的隔墙使用的—是进口或《国产的金属壁板由于！壁板的隔声量存【在着某些薄弱环【。节而造成隔》声不：理想且室内》的噪声仍过高如上海！。某公司使用的是【进口壁板其室—内噪：声，平均值？达69dB(—A)；？。上海某公司使用的也！是进口壁板光刻【间测得其室内平【均，噪声值为《70dB(》A)其？他一些洁净室的【生产环？境的噪？声也偏高也》就是说从噪声的效应！来，看标准低于65【dB：(A)为好 【  》 ，  对？国内几个行业不同气！。。流流型洁《净室的静态和—动态噪？声所进行的分析表明！不同气？流流型的《静态噪声有较大差】异非单？向流洁净室的静态噪！声，实测值在《41dB《(A)～64dB(！A)范围内平—均为54dB(A】)；：单向流、《混合：流洁净？室的：静态：噪声实测值在51d！。。B(A)～75dB！(A)范围内平均为！65dB《(A)非单》向流洁净室比—单向：流洁：净室的？静态噪声平均值约低！11dB(A) 】 ： ，     由【于噪声控《制，要求是确保人员健康！的重要条件本条为】强制性条文 ！ 4．《4．3？～4．4《．6  控制—设备噪声首先要从】声源上考虑》设计时应选用低噪声！设备：在某些情况下—由，于技术或经济—上的原因而难以做】到时则应从噪声传】播途径上采》取降噪措施如—把高噪？。声工艺设《。备迁出？洁净室或隔离布【置于隔声间内有【些由于与生产联系】密，切必须置于》。洁净区内《的高噪声设备亦【可采用隔声》罩隔绝噪声 ！ ，    《 国内？现有洁？净厂房中不》少洁净室将机—械泵一类高噪—声设：备，置于洁净室外套间或！技术夹道内》洁净室？内噪声有明》显，降低 【 ，。    洁净室【的静态噪《声主要来《源于净？化空调系统和局【部净化设备运行噪声！静态噪声的》大，小与洁净室气—流流型、换》气次：数，等因素有关但关【。键，在于净化空调系【统的布置及合理【。的降：噪措施不《合理的设计》。。方案必然导致较【高的静态噪声 】 ：。     关【于降低？洁净：室净化空调系统【噪声的措《施国内？。外有关资料提出【了一：些，有效的措施 — ？   《  如现代洁净室】概，念一文中强调“选】择，那种能？。满足气流《要求的噪声最低的】风机还？应该采用弹性—减振基础”关于消】。声器的使《用文中说“管道【消声器在《中频和高频范围【内降低噪《声是有效的当—风管敷设长》度在50《ft以内时就应考】虑采用消声器”【关于风管的连接文】中又说？“通风机和送风【管道与回风管道【之间应采用柔性【连接管隔开”—还要求？“将通风机外壳、静！压箱和管道等—。加上衬里”如—北京某大学微电【子研究所回》风管道？在，未处理前噪声高达8！3.5？dB(A)经过【加设衬垫处理后噪】声降：到66.《2dB(A)—使光刻间《的室内环境噪声【平均下降了7dB(！A)～9dB—(A)由此》可见只要对风道系统！采取消声和防止【管道固体《传，声等措施洁净室噪声！可以大幅度降—低， ： 《   ？ 国内还有》不少：洁净室由于系统设】计合理并《采取了降《。噪措施室内噪声【得到有？效控制 【 ， ，    排》风系统噪声》对洁净？室影响极大以集【成电路生产为—例在生产过》程中外？延，、扩散、腐蚀、清洗！等多种工序都需设排！风系统近年来洁【净，。厂房排？风，系统：的噪声治理日益受到！重视要注意选用【低，噪声风机《等， —    由》于洁净室内的工作】环境要求《。比较安静洁净室的】密封性能较好噪声不！易衰减按规定—限制风管风速—既减小？了净：化空调系统》的阻力降《低了风机《压，头，和转速？减弱：。了风机的噪声又防】止，了风速过《大而产生《附加噪声 【 ，     如【。上所：述第4．4．3条】～第4．4．6【条的规定均为—洁净厂房设》计中从平面和—。空间设计到各类设】。备、系统及》其附：属设备等的选—择都应充分考虑【噪声控？制措施以《确保：达到洁净厂房—要求的噪声》控制值原规范—中将第4．》4．3条、第4．4！．4条规定为强制性！。条文但在实施—中各单位认》为，规定过严可操—作性也不强为此本次！修，订，。改为推？荐性：条文 《