： 4．《4  噪声控制 】 — 4．4《．1  洁净—室的噪声一般不算】高但数据《差额较大相差—近10dB(A)】国内关于噪声对【健康影响的研究表明！低于80d》B(A)的》一般工业《噪声对健康的影响不！。太大因此洁》净，。室噪声标准的—制订主要考虑噪【声，的烦恼效应、语言通！。讯干扰和对工—作效率的影响— ：   —  国外洁净室噪】声标准的研》究工作开始于—。2，。0，。世纪60年代1【966年制定的【美国联邦标准洁净室！环境控制《要求：209a和》1974年修订的2！09b规《定“洁净《。室，的噪声控《制，在可能进行必—要，的，通话满？足操作？或产品的要》求并使？人员保持在舒适和安！全的范围内》”  】。   在洁净—室及相关受控环境】第四部分设计、【施工：和，启动ISO 14】644-《4-20《01标？准中规定“应依据】洁净：室内人的舒适和【安全：要求及环境（—如其他？设，备）：的背景声《压级来选择》适宜的声压》级洁净室《的声压级范围为【40～65》d，B(A？)” 《    【 从收集的国内【外洁净室噪》声标准来看有以【下，几，个特点洁净室的噪声！标准一般均严于保】护健康的标准在【洁净室的《环境下噪声条件【主要在于保障—正常操？作运行满足必—要的谈话联系—提供舒适的工—作，环境：绝大多？数标准给《出的允许值在65d！B(A)～70【。dB(？A，)范围医《疗行业则更低现行的！大多：数标准均以》A声压级作为评价指！标也有？少数标准对》各频带声压级提出】了限制少数标—。准按不同的空气【洁净度等级分别给出！了噪声容许》值而大多数标准【。对不同的空气洁【净度等？级洁净室提出了一】个统一的容许值 ！ 《    根》据，“洁净厂房噪声评价！与标准的研究”所得！到的成果我国5【9个洁净厂房—平均：噪声级的分布电子】工业216个洁净室！的噪声分《。布状况和不同声【级，下各种效应的—主观评价指标—如，图1所示 【 ：     由图1】。可，见若以65dB【(A)作为洁—净室噪声允》许值标准工人感到】高烦恼的百分率【低于30％》对集中精《神感到？有较高影响的—百分率不到》10％而对工作速】。度、动作准确性的影！响则可忽略》从主观？。评价：调查看语言通讯【干扰可？。以属于轻微的等【级如按这一限值来衡！量，。。现有洁净室的噪【声则有75％超过】标，准就电子工业而言也！。。。有47％的洁净室】超过：标准 【    《 近年来《。。。我国的洁净室环境】技术有了《一定：的发展但对噪声的控！制，技术还相对滞—后从：。19：9，6-19《97年对国》内部分行业》。的部分洁《净室进行的调研结】果来看还《有相当一《部分的洁净室噪声】。在65dB(—A)：以上就电《子工业而言》还有约3《5％的洁净室超过】标，准 【 图1】  洁净厂房噪声分！布与评价图》 ： 1－5【9个：洁，净厂：房超过某一声—级的：百分率； 】 2？－电子工业》216个洁净室【超过某一声级的百】分率； 【 3－高烦—恼率,4－》准确性高《影响率；5－工作】速度高影响率； 】 6－集】中精神高影响率；7！－交谈及电话通讯高！干，扰率  ！   ？同样由图1》。得知若以70d【B(A)《为噪：声允许值标》准工人感到》高烦：恼的百？分率将达到》3，9％对于集中精【神感：到有较高影响的百】分，率为：12：.4％对工》作速度和动》作准确性影》响仍不显著对语言】通讯的？干扰则属于较—高的等级如按70d！B(A)的限值来衡！量现有？洁净厂？房的噪声则多数可以！满足标准 ！。     》。目前国内的相当【一部分洁净室的隔】墙使用的是进—口或：国产的金属壁板由于！壁板的隔声量存在】着某些薄弱环—节而造成隔声不理】想且室内的噪声仍过！高如上海某》公司使用的》是，进口壁板《其室内噪声平均值】达，69dB(A)；上！海某公司使用—的也是进口壁—板光刻间测得其【室内平？均噪声值为7—0dB(《A)其他《一，些洁净室《的生产环境的噪【声也偏高也》就是说从噪声的效】应，来看标准低于—65d？B(：。A，)为好 ！    《对国：内几个行业不同气流！流型洁？净室的？静态和动态噪声所进！行的分析表明不【同气流流型》的静态？噪声有较大差异【非单向流洁》净室的静《态，噪声：实测值？在4：1d：B(A？)，～64？dB(？A)范围《内平均为《54dB(A)【；，单向流？、混合流洁净室【的静态噪声实—测值在？5，1dB？(，A)：～75dB(A)】范围内平均为6【5dB(A)非【单向流洁净室比【单向：流洁净？室的静态《噪声平均值约低11！dB(A) ！。  ？   由于噪声控制！要求是？确保人员《健康的重要条—件本条为强制性条】文 ？。 4．4．3！～4．4．6  】控制设备噪声首【先要从声源上—考虑设计时应选用低！噪声设备在某些【情，况下：。由于：。技，术或：经济上的《原因而？难，以做：到时则应《从噪声传播途—径上采取《。降噪措施如把高噪声！工艺设备迁出洁【净室或隔《离布置于《隔声间？。内有些由于与生产】联系密切必须置【于洁净区内的高噪】。声设备亦可采用隔】声罩隔绝噪声 ！。 ？   ？ 国内现有》洁，净厂房中不少洁【净室将机械泵一类高！噪声设备置于—。洁净：室，外套间或技术夹道内！洁净室内噪声有【明显降低 】     洁净室！的静态噪声》主，要，来源：于，净化空调系统和局部！。净化设备运行噪声静！。态噪声？的大：小与洁净室气—流流型、换气次【数等：因素有关《但，关键：在于：净，化空：。。调系统的布置—及，合理的降噪措—施不合理的设—计方案必然导致【。较高的静态噪声【 —    关》于降低洁净室—净化空调系》统，噪声的？措施国内外有—关资料提出了一【些有效的措施 【  —。。   如《现代洁？净，室概念一文中强调】“，选，择那种？能满足气流》。要求的噪声最低的风！机还应该采用—弹性减振基》础”关于消声—器的使用文中说“】管道消声器》在中频和《高频范围内降低噪声！是有效的当》风管敷设长》度，。在5：0ft以《内时就应考虑采用】消声器”关》于，风管的连接文—中又说“通风机和送！风管道与回风管【道之间应《采用柔性《连接管隔开》”，还要：求“将通风机—外壳、静压箱和【管道等加上》衬里：”如北京某》大学微电《子研究？所回风管《道在未处理前—噪声高达83—.5dB(A)经】过，加设衬垫处理后噪声！降到：66.2dB(A】)使：光刻间的室内环【境，噪，声平均下降了7d】B(A)～9dB(！A)：由此可见只要对风】道系：统采取？消声和防止管道固体！传声等措施》洁净室噪《声可以大幅度降【低 》   《 ， 国内还《有不少？洁，净室由于系统设【计合理并采取了降噪！措施室内噪声得【。。到有效控制 】   》  排风系》统噪声对洁净室【。影响极大《以集：成电路？生，产为例在生》产过程中外延、【扩散：、腐蚀、《清洗等？多种：工序都需《设排风系统近年来】洁净：厂房排风系统的噪声！治理日益受》到重视要注意选用低！噪声风机等 ！     由【。于，洁净室内的工作【环境要求比较—安静洁净室》的，。密封：。性，能，。较好噪声《不易衰减按规—定，限制：风管风速既减小了】净化空调系统的【阻，力降低？了，风机压头和转速减】弱了：风机的噪声又—。防，止了风速过大而【产生附加噪声 ！    — 如上所述第4【．4．3条》。～第4．4．6条】的规定均为洁净厂】房设计中《从平面和空》间设计？到各类设备、系【统及其附属设备【等的：选，择都：应充分考虑噪—声，控制措？施以确？保达到洁净厂房要】求的噪声控制值【原规范中将第—4．4．3条、第4！。．4．4条规定【为强制性条文但【在实施中各单—位认为规定》过，严可操作性也不强为！。此本次修订改—为推荐？性条文 《。 ，