。 4．4【  噪声控制— ： —4．4．1  【洁净室的噪》声一般不算》高但数？据差额较大》相差近10》。dB(A)国—内关于噪声对健康】影响的研究》。表明低于80—dB(A《)的一？般工业噪声对—健康的影《响，不太大因此洁净室噪！声，标准的制订》主要考虑噪》声，的烦恼效应》、语言通讯》干扰和对工》作效率的影响— ： ？  ：   国《外洁净室噪声标准的！。研究工作开始—于20世《纪60年代1—966？年制定的美国联邦】标准洁净《室环境控《制要求2《0，9a：和1974》年修订？的209b》规定“洁净室的噪】声控：制在可能进行必要的！通话：满足：操作或产品的要求并！使人员保持在舒适】和安全的范》围内” 【 ，     在—洁净室及相关受控环！。境第四部分设计、】施工和启动ISO】 1：4644-4—-200《1标准？中规定“应依—据洁净室内人的舒适！。。和安全要求及—环境（？如其他设备）—的背景声压级来【选择适宜《的声压级洁净—室的声？压级：范围为40》～6：。5dB(A)”【 《  ？ ，  从收集的国内外！洁净室噪声》标，准来看有以》下几个特点洁净室的！噪声：。标准一？般均严于保护健康】的标准在洁净—室的环境下》噪，声条件主《要在于保障正常【操，作运行满足必要【的谈话联系》提供舒适的工作【环境：绝大：多数标准给出的允】许值在65d—B(：A)～？70dB(A)范】围医疗？行业则更低现行的】。大多数标准均以【。A，声压级作《为评价指标也有少数！标准对各频》带声压级《提出了限制少数标】准按不同的》空气洁净《度，等级分别给出了【噪声容许值而—大多数标准对不同的！空气洁净度等级洁】。净室提出了一个统一！的容许值 》    】 根据“洁》净厂房？噪声评价《与标准的《研究”所得到的成果！我，。国5：9个洁？净厂房？平均噪声级的分【布电子工业21【6个洁净室》的噪声？分布状况和不同声级！下各种效应的—主观评价指标如【图1所示 》 ， ，     由图！1可：见若以？65：d，B(A)作为—洁净室噪声》允许值标准》工人感到高烦恼的百！分率低于30％对】集，中精神感《到有较？高影响的百》分率不？到10％而对工【作速：度、动作准》确，性的影？响则可忽略从主观】评价调？查，看语言通讯》干扰可以属于轻【微的等级如按这【一限值来衡》量现有？洁净室的噪声则【有7：。5％超过标》准就电子工业而言】也有4？7％的洁净室超过标！准 ：。 ： ：  ：   近年来—我国的洁净》室环：境技术有《了，一定：的发展？但对噪声的控制技术！。还相：对滞后？从1：996？-1997年对国】内部分？行业的部分》。洁净室进行的调【研结果来《看还有相《。当，一部分的洁净室【噪声在65d—B(A)以上就电】子工业而言》还有约35％—的洁净室超过标准 ！ 》。 —。图1 ？ 洁净厂房噪声分】布与评价图 【 ？ ，1－59个洁净【厂房超？过某一声《级的百？分率； — ？2－电子工》业216个洁净室】超过某一声级的百】分率：。。； 《 ， ：3－高烦恼率,【4－准确性高影响】率；：5－工作《速度高影响率；【 》 6－集中精—神高影响率；—7－交谈及电—话通讯高《干扰率？    ！ 同样由图》1得知？若以70dB(A】)为噪声《允，许值标准工人感到高！烦恼的百《分率将？达到39《。％，对于集中《精神感到有较高影】响，的百分率为12.】。4％对？工作速度和动—作准确性影响仍不显！著，对语言通讯的干扰】则属于？较高的？等级如按《70dB(A—)的：限值来衡量》现有洁净厂》房，的噪声则多数可【以满足标准 】     目】前国：内的相？。当一部分洁》净室的隔墙使用的是！进口或国产的金【属壁板由于壁板的】。隔声量存在着某些薄！弱环节而造成隔声】不理想且室内的噪】声仍过高如上海【某公司使用的—是进口壁板其室【内噪声平均》值达69d》B(A)；上海【某公司使用的—也是进？。口壁板光《刻，。间，。测得其室《内平均噪声值为【70dB(A)其】他一些洁《净室的生产环境的噪！声也：偏高也就是说—从，噪声：的效：应来看标准》低，于6：。5dB(A》)为好 【     对国】内几：。个行业不同》气流流型洁》净室的静态和动态】噪声所进行的分析表！明不同气流流型【的静态噪声有较大差！异非单向流洁净【室的静态噪》声实测值《在41dB(A【)～64《。dB(？A)范围内平均为】54dB《(A)；《。。单向流、混合—。流洁净室的静—态，噪声实测值》在51d《B(A)～》。75dB《(A)范《围内平均为》65dB(A)【非单向？流洁净室比》单向流洁净室的静态！。噪声平均值约—低11d《B(A) —     】由，于噪声控《制，要求是确保人员【健康：的重要条《件本条为强制性条】文， ， ？ 4．4．3～】4．4．6》  控制《设备噪声首先—要从：声，源上考虑《设计时？。应选用？低噪声设《备在某些情况—下由于技术》或经：济上的原因而难以做！到时则应从噪—声传播途《径上采取降噪措施】。如把高？噪，。声工艺设备迁出洁】净室：或隔离布置于隔声间！内，有些由于与生产联系！密切必须置于洁净区！内的高噪声设备亦可！采，用隔声罩隔》绝噪声？   】。  国内现有—洁净厂房中不少洁净！室将机？械泵一类高噪—声设备？置于洁净室外套【间或技术夹》道内洁？净室内噪《声有：明显降低《 《     洁净室！的静态噪声主要来】源于净化空调系【统和局部净化—设备运行噪声静态噪！。声，的大小与洁净室气】流，流型、换气次数等】因素有关但关键【在于：净化空调系统的【布，置及：合理的降噪》措施不？合理的设计方案必】然导致较高的静态】。噪声 【    《 关于降低洁—。净室净？化空调系统噪声的】措施国内《外有：关资料提出了一【些有效的措施 【 》    如现—代洁净室概念一文】中强调“《选，。择，那种能？满，足气流要《求的：噪声最低的风机还应！该采用弹性减振基础！”关于消声器的使】用文：。中说“管道消声器在！中，频和高频范》。围内降低噪声是有效！的当风管敷》设长度？在50？ft以内时就应【考虑采用消》声器：”关于风管的—连接文？中，又说“通风》机和送风管道与回】风，管道之？间应：。采用柔性《连接：。管，隔开”？。还要求“将通风【机外壳？、静压箱和管道等】加上衬里”如北京】某大学微电》子研究所回风管【道在未处理前噪声】高达：83.5dB(A)！经过加？设衬垫处理后噪【声降到66.—2dB(A)使【光刻间的室内环境噪！声平：均下降了7》dB(A)～9【dB(A)由—此可见只要对风道】系统采取《。。消声和防止管道固体！传声等？措施洁净室噪声【可以大幅度》降低 》 ，     —国内还有不少—洁，净室由？于系统设计合理【并采取了降噪措施室！内噪声得到有效控】。制 《     排】。风系统噪《声对洁净室影响极】。大以：集成：。电路生产为》例在生产过程—中外延？、扩散、腐蚀、【清洗等多种工序都需！设排风系统》近年来洁《净厂房？排风系统的噪声治】。理日益受到重—视要注意《选用低噪《。。声风：机等 【     由—于洁：净，室内的？工作环境要求比较安！静洁净室的密封性】。能较：。好噪声不易衰减按】规定限制风》管风速？既减小了净化—空调系统的阻力降低！了风机压头和转【速减弱了风机—的噪声？又防：止了风速过大而产生！附加：噪声 ？  —。   如上所述【第4．4．3条～第！4．4．6条的规】定均为洁净厂房设计！中，从平面和空间—设计到各类设备、系！统及其附属设备等】。的选：。择都应充《分考虑噪声控制措施！。以确保达到洁—净厂房要求》的噪声控制值原【规范：中将第4．》4．3条、第4．】4．4条规定为【强制性条文但在实】施中各单位认为规定！过，。严可操作性也不强】为此本次修订改【为，推荐性条文 【