9》．5  静电防【护及接地《 ， 【9．5．1  【洁净厂房应根据工】艺生产要求采取静电！防护：措施 【 ，9．5．2 — 洁净室（区）内的！防静电？地面其性能应符【合下列规定 ！     1【  地面的》面层：应具有导电性—能并应保持长时间】性能稳定《 ，  —   2 》 地：面的面层应采用静电！耗，散性的？材料：其表面？电阻率应为1.0×！10：5Ω/□～1—.0×？1012《Ω，/□或体积》电阻率为1》。.0×1《04Ω·cm～【1.：0×1011—Ω·：cm ？  —。   3《 ， 地面？应设有导电泄放措施！和接地？构造其对《地泄：放，电阻值应为》1.0×105Ω】～1.0×》109Ω《 9．】5．3  洁净【室的净化空》。调系统？应采：取防静电《接地措？施 9．！5．4？  洁净室内可能】产，。生静：电，。危害：的设备、《流动液？体，、气体或粉》体管道应采取防静】电接地措施其—中，有爆炸和火灾危险】场所的设《备、管道应》符合现行国家标【准爆炸？和火：灾危险环境电力装】置设计？。。规范：GB 5005【8的：有，关规：。定 9．！5．5？ ，。 防静？电接：地系统应分别按不同！要，求设置？接，地连接端子在一个房！。间内应设《置等电？位的接地网格或闭】合的接地铜排环 ！。 《  ：  在防静电接地系！统各个连接部—位之间电阻值—应小于0.1Ω ！ 9．5【．6  《洁净厂房内》不，同功能的接地系统的！。设计均？应遵循等电位联结】。的原：则其：中直：流接：地系统不能与交【流接地系统》混接直流工作接地】的接地干线应—单独绝缘《敷设并应《使用绝缘《屏蔽：电缆 ？ 9．5】．7  接地系统】采用综合接地—方，式时：接地电阻值应小【于或等于1Ω选【择分散接地方式时各！种功能？接地系统《的接地？体必须？远离防雷《接地系统的接—地体两者应保持2】。0m以上的间距洁净！厂，房的防雷接地系统设！计应：符合现行国家标准建！筑物防雷设计规范】G，B， 5005》7的：有关规定《 ：