？ 9．5  静电防！。护及接地 — ， 9．【5，．1  洁》净厂房应《根据工艺生产要求】采取静电防护措施】 —9．5．2 — 洁净室（区）内】的防静电地面其【性能应？符合下？列规定 】    《 1  地面的面层！应具有？。导，电性能并应》。保持：长时：间，性能稳定《 ：   —  2  地面的】面层应采用静电耗】散，性的材料其表面电阻！率应为？1.0×105Ω】/□～1《.0×10》12Ω/□》或体：积电阻率为1.0】×1：04Ω？·cm？～1.0×1011！Ω·cm —     3！  地面应设—有导：电泄：放措：施和接地构造其对地！。泄放电？阻值应？为1.0×10【5Ω～1.》0×109Ω— 9．】5．3  》。。洁净：室，。的净化空调系统应】采取防静电》接地措施 】 9？．5．4 》 洁净室内可能产生！静电危？害的设备、流动液体！、气体或粉体—管道应采取》防静电接地措施其】中有爆炸和火灾危】险场：所，的设备、管》道应符？合现行国《家标：准爆炸和火灾危险环！境电力？装置设计规范GB ！50058的有【关规定 【 9．5．—5  防静》电接：地系统应分别按不】同要求设置接—地连接端子在一个房！间内：应设置等电位的【。接，地网：格，或，。闭合：的接地铜排环 【 ：     在】防静电接地系统各个！连接部？位之间电阻值应小】于0.1《Ω 9．！5．6？  洁净厂》房内不？同，功能的接地》系统的设计均应遵】循等：电位联结的原则其】中，。直流接地系统不【能，与交流接地系统混】接直：流，工作接地的接地【干线应单独绝缘敷设！并应使？用绝缘屏蔽电缆【 9【．5．7  —接地系统采用综合接！。地方式时《接地：电阻：值应小于或》等于1Ω选择分【散接地方《式时各种功能接地系！统的接地《体必须远离防雷接地！系，统的接地体两—者应保持20m以上！的间距？洁净厂？房的防雷接地系【统设计应符合现【行国家标准建筑物防！雷设计规范GB 】500？5，。7的有？关规定 》