9．5【。  静电《防护及接地》 — 9．5．—。1  洁《净厂房应根据工艺生！产要：求采取静电防护【措施 ？ 》9．5．2》。  洁净室（区）内！的防静电地面其性】能应符合下列规定】 ：。 ？     1  】。地面的面层应具有】导电性能并应—。。保持长？时间性能稳定 【。。 《     2  】地面的面层应—采用静电《耗散性的材料—其表面电阻》率应为1.》0×10《5Ω/？□～1.0》。×1012Ω/【□，或体积电《阻率为1.0×10！4Ω：·cm～1》.0×？10：11Ω·c》m 》     3  ！地，面应设有导电泄放】措施和接地构造其对！地泄放电阻值应为1！.0×10》5Ω～1.0×10！9Ω — 9．5．—3  洁净室的【净化空调系统应【采取防静电接地措】施 ： ？ 9．《5．4  洁净室内！。可能产生《静电危？害的：设备、？流动液体、气体或粉！体管道应《采取：。防静电接地措施其中！有爆炸和《火灾危险场所—的设备、管道应符】合现行国家》标准爆炸和火灾危险！环境电力《装置设计规》范GB 《5005《8的有关规定— 9【．5．5 》 防静电接地—。系统应分别》按不同要求设置接】地连接端子在一【个房间内应设置等】电位的？接地网格或闭合的接！地铜排环 ！。    《 在：防静电接《地系统各个连接部位！之间电阻值应小于0！.1：Ω，。 —9．5．6 — 洁净厂房内不同】。。功能的？接地系统的设计【。均应遵循等电位联】结的：原则：其中直流接地系【统不能与交流接地系！统混接直流工作接】地的：接地干线应》单独绝缘敷设并【应使：用绝缘屏蔽电—缆 》 ， 9．5．7—  接地系统采用】综，。合接地？方式：时接地电阻》。。值应小于或》等于1？Ω选择？分散接？。地，方式时各种功—能接地系统的—接地体必须远离防雷！接地：。系统的接地体—两者应保持20m以！。上的间距洁净—厂，房，的防雷接地系—。统设计应符合现行】国家：标准建筑物防—雷设计规范》GB 50》057的有关规定】 ：