9．5【  静电防》护及接地 ！。 9．5．1 ！ 洁净厂《房应：根据工艺生产要求采！取静：电防护措施 ！ ：9．5．2  洁净！室（区）内》。的防静电地》面，其性能应符合下列规！定 —     1 【 ，地面的？面层应具有导电性】能并应保持长时间】性能稳？定 ？   —  2 《 地面的面层应采】用静电耗散性的材料！其表面电阻率应【为1.0×105】Ω/□？～1.0×》1012Ω/—□或：体，。积电阻率《为1.0《×104Ω·cm～！1.：0×1011Ω·】cm： 》  ：   3  地面】应设有导电泄放【措施和接地构造其对！地泄放电阻值—应为1.0》×10？。5Ω～1.0×【109Ω 》 ： 9．5．3】  洁净室的净【化空调系统》应采取防静电—接地：。措施 《。 《9，．5．4  洁净室！内可能？产生静电危害的设备！、流动液体、气【体或粉体《。管道应采取》防，静电接地措施其【中有爆炸和火灾危】险场所的设》备、管道应符—合现：行，国家标准爆》炸和火灾危险环境电！力装置设《计规：范GB 《5005《8的有关规定 【 》。9．5．《5  ？防静电？接地系统《应分别按不同要【求设：置接地连接端子在一！个房间内应设置等】电位的接地网格【或闭合的接地铜【排环 《 ？    《 在防静电接地系】统，各，个连接部《位之间电阻值应小】于0.1Ω ！ 9．5．6  ！洁净厂房内不—同功能的接地系【统的：设计均应《遵循等电《位，联结的？原则其中直》流，接地系统不能—。与交流？接地系？统混接？直流工作《接地的接《。地干线应单独—绝缘敷设并应使【用绝缘屏蔽电缆 】 9．5】。．7  接地系【统采用综合接地方】式时接地电阻值应】小于或等于1Ω选】择，。分散：。接地方式时各种功能！接地系统的接—地体必须远离防雷】接地系统的》接地体？两者应保持20【m，以上的间距洁净厂房！。的防雷接地系—统设计应符合现行国！家标准？建筑物防雷设—。计规范GB 5【。0057的有关规定！。 ：