？ ，9，．5  静电—防护及接地 】 ， 9．—。5．1  洁—净厂房应根据工艺生！产要：求采：取静电防护措施 ！ 《9，．5．2  洁净】室（：区）：内的防静《电地面其性能应符】合下列？规定：  【   1《  地面的》面，层应具有导电性能并！应，保持长时间性能稳】定 —     》2  地面的—面层应采用静—电耗：散性：的，材，。料其表面电》阻率应为1》.0×？。105Ω《/□～1.0×1】。012Ω《/□或体积电—阻率为1.0×1】0，。4Ω·cm》～1.？0×：1011Ω·cm ！   【 ， 3 ？ 地面应设有—导，电泄放措施和—接，地构造其对》地，。泄放电阻《值应为1.》0×105Ω—～1.0×10【9Ω： 9．5！．3  洁净室【的，净化空调系统应【采取防静电接地措】施 》 9？．5．4  洁【净室内可能产生静】电危害的《。设备、流动》液，。体、气体或粉体管】。道，应采取防《静电接地措施—其中有爆炸》。和火灾危险场所【的设备、《管道应符合现行国】家标准爆炸和火灾危！险环境？电力装置设计规范】GB 50058的！有关规定《 《 9．《5．5  防静电】接地系统应分别按不！同要求设置》接，地连接？端子在？一个房间内应—设置等电《位的接地《网格或？闭合的？接地铜排环》 ，。。。 《  ：   在防静电接地！系统各？个，连接部位之间电阻值！应，小，于，0.：1Ω ？ 9．5】．6  《洁净厂房内不同【功能的接《地系统？的设计均《。应遵：循等电位联结—的原则其中直—流接地系统不能与交！流接地系统》混接直流工作接【地的接地《。干，线，应单独绝缘敷设【并应：使用：绝缘屏蔽电缆 【 9．5】．7 ？ 接地？系统采用综合—接地方式《。时接：地电阻值应小于或】等于1Ω选择分【散接地？方式时各种功能接地！。。系统的接地体必【须远离防雷接地系统！的接地体两者应【保持20m以上的间！距洁净厂房的防雷接！。地，系统设计应符合现】行国家标《准建筑物《防雷设计规》范GB 500【57：的有关规定 【