9．5 】 ，静电防护及接—地 ？ —9．：5，．1  《洁净厂房应根—据工艺生产要求【采取静电防护措施】 《 ：9．5．《2  洁净》室（区）内的防【静电：地面其性《能应：符合下？。列规定 》  》   1 》 地面的面层—应具：有，。导电性？能并应保持长时间性！能稳定 —     【2  地面的面层应！采用静电耗》散性的材《料，其表：面电阻率应》为1.0《×105Ω》/□～1.0×【101？。2Ω：/□或体《积电阻率为1.【0×：104Ω·cm【～1.0×1011！Ω，·cm 《   【  3？  地面应》设有导电泄放措施】和接：地构造其对地—泄，放电阻值应为1【.0×1《。。0，5Ω～1.0—。×，109Ω《 9【。．5．？3  洁净》室的净化空调系【统应采取防静电接地！措施 — 9．5》．4  洁净室【内可能产生》静电：。危害的设备、流动】液体、气体或粉体管！道应采？取，防静：电接地措施》其中有爆炸和火灾危！险场所？的设备、《管道应符合现行【国，家标准爆炸》和，火灾危险环境电【。力装置设计》规范GB 5—00：58的？有，关规：定 ？ 《9．5．5  【防静电接地》系统应分别》按不同要求设—置接地连接端子【在一个房间内应【设置等电位的接地网！。格或闭合的接地【铜排环？。    ！ 在防静《电接地系统各—个连接部位之间电阻！值应小于0.1Ω】 ， ， 9．5．】。。6  洁净厂房内】不同功能的接地系】统的设计《均应遵循等电位联结！的原则其中直流接地！系，统不能与交流接地系！统混接直流》工，作，接地的接地干线应】单独绝缘敷》设并应使用》绝缘屏蔽电缆— 》 9．5．7—  接地系统采用】综合：接地方式时接—地电阻值《应小于或等于—1Ω选择《分，散，接地方式时各种功】能接地系统》的接地体必须远离】防雷接地系统的【接地体？两者：。应保持2《0m以？上的间距《洁净厂房的防雷接】地系统设计应符【。合现行国家标—准建筑物防雷设【计规范GB》。 5005》7的有关规》定 ： ，