， 9．4 【 自动控制 】 9．4】．1  洁》净厂房？宜设置净化空—调系统等的》。自动监控装置 【 9—．，4．2 《 洁净室净化—。空调系统宜选用变】频调速控制》的风机 ！9．4．《3  净化空—。调系统的电》。加热器应设置无风、！超温断？电保：。护装置当采》用电加湿器时应设置！无水：保护装置 —