9．4【  自？。。动控制 】。 9．4．【。1，。  洁净厂房—宜设置净化空调系统！。等的自动监控装置】 ？ 9．4．2】  洁净室净化【空调系统《宜选：用变频调速控—制的风机 》 9．4】．3：  净化空调系统】的电加热器应设置无！。风，、，超温断电保》护装：置当采用电加—湿器：时应设置无水保护】装置 《