9．4  ！自动控制《 【 9．？4．1？。  洁净厂房—宜设置净《化空调？系统等的《。自动监？控装置 — ： 9．4．2—  洁净室净化空】调系统宜选》用变频调速》控，制的：风机 ？ 9—．，4，。．3  净化空【调系：统的电加热器应设】置无风、超温—断，电保护装置》当，采用电加《。湿器时应设置无水】保护装置《 ：