9．4．1  洁净厂房宜设置净化空调系统等的自动监控装置。

9．4．2  洁净室净化空调系统宜选用变频调速控制的风机。

9．4．3  净化空调系统的电加热器应设置无风、超温断电保护装置。当采用电加湿器时，应设置无水保护装置。